来源：北极星太阳能光伏网（独家）2022-09-13

如金辰股份具备topcon pecvd及hjt pecvd核心设备，捷佳伟创实现perc+/topcon/hjt设备全覆盖，晟成光伏在hjt异质结领域，可提供制绒、清洗制等湿法工艺设备，供制绒、清洗制等湿法工艺设备

来源：广东省工业和信息化厅2022-09-05

重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机

来源：北极星太阳能光伏网2022-09-05

问题八：公司目前 对于n型topcon电池的技术路线选择的是lp cvd路线，公司对于pecvd技术路线有没有相关方案？...公司也积极关注pecvd的技术研发情况，并进行相应的技术储备。问题九：公司上饶9.5gw的perc产线，未来是否可以通过技术改进升级为topcon产线？

来源：北极星太阳能光伏网2022-09-02

双方于2021年起研发高效hjt电池，迈为提供蓝膜片全部工艺制程，在其自主研制的异质结高效电池量产设备（包括清洗制绒、pecvd、pvd等）上完成。

来源：金辰股份2022-08-18

据悉，2020年，金辰股份组建团队开始研发hjt pecvd设备；2021年6月，金辰股份自主研发的首台hjt pecvd设备进驻晋能科技并成功通过设备工艺验证；今年首台基于微晶工艺的hjt pecvd

来源：苏州晟成光伏2022-06-23

针对市面上其他topcon光伏电池背钝化镀膜设备的优缺点进行深入分析，晟成光伏决定采用pecvd镀膜与低损伤pvd镀膜相结合的技术方式来制备topcon电池的背面隧穿二氧化硅膜层和掺杂非晶（碳化）硅膜层...该技术方式可以有效减少甚至避免目前行业内lpcvd设备出现的绕镀问题，以及管式pecvd容易出现的爆膜、石墨舟寿命低及量产不稳定的问题，同时又可以进一步规避采用大尺寸线性离子源依赖进口、造价昂贵和膜层均匀性较差的问题

来源：北极星太阳能光伏网2022-06-23

迈为股份表示，公司本次取得国有建设用地使用权，该地块为公司2021年度向特定对象发行股票的项目用地，将用于建设异质结太阳能电池片设备产业化项目，项目建设周期为3年，项目建成达产后可实现年产pecvd、pvd

来源：华晟新能源2022-04-27

据悉，华晟二期项目将主要生产异质结大尺寸半片电池和高功率组件，组件输出功率覆盖580w-700w区间，转换效率最高达22.5%，尤其适用于工商业分布式及地面电站项目；电池端采用单面微晶电池工艺结合大产能pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2022-04-22

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来源：北极星太阳能光伏网2022-04-20

采用激光切割机、制绒清洗机、pecvd、pvd、丝网印刷机等设备进行新型高效电池中试与研究开发，新型高效电池预计产能1200mw，配套建设辅助工程（动力站、特气站、酸库及碱库等）、公用工程（给水、排水、

来源：北极星太阳能光伏网2022-03-28

据了解，这条生产线选用了迈为独立研发的hjt3.0设备，该设备具有大尺寸、半片、薄片化等优点，尤其在pecvd和pvd两个关键设备中可实现全程无行车，并且支持连续镀膜，可以有效提高转化效率。

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-29

理想万里晖目前主要产品为用于hjt 电池生产的等离子体化学气相沉积 （pecvd）设备，未来根据客户需求提供hjt电池生产线整线交钥匙工程。

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-10

4个环节的设备均选用迈为独立研发的hjt3.0设备，具有大尺寸、半片、薄片化等特点，尤其在pecvd和pvd两个关键设备中全程无行车，并支持连续镀膜，可以有效降低成本、提高转化效率。

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-01

据悉，近日，迈为股份与rec集团签订了400mw hjt异质结电池整线设备订单，将供应pecvd、pvd、丝网印刷等hjt电池核心生产设备，用于rec位于新加坡的400mw hjt电池生产线，该产线将采用

来源：安徽华晟新能源2021-11-11

该产线计划使用华晟开发的单面微晶和双面微晶工艺与迈为开发的大产能pecvd、pvd，并结合最新的自动化智能制造技术，实现对单硅片的全制程数据追踪与工艺自控制，做到业界更先进、更智能、转化效率更高的太阳能电池生产线

来源：晶科能源2021-11-01

而实际上，如清洗制绒环节对洁净度要求较高，且工艺复杂；非晶体硅沉积所需pecvd设备较多，镀膜速度较低；此外，双面银丝印与烧结用量大于高温银浆，银粉价格只会越来越贵，这都让hjt难以逾越的成本关和良率关

来源：理想万里晖2021-09-30

理想万里晖在异质结领域积极延伸产业链，布局整线战略，现已有系列pecvd设备、pvd设备、整线集成及交钥匙服务，目前已有异质结客户12家，通过验收客户9家。

来源：PVInfoLink2021-09-17

hjt 因为没有良率问题的困扰，当前技术路线已经较明确，pecvd法其中主要以rfcvd因为技术成熟度较高且镀膜均匀性较好已经成为制备非晶硅层的主流工艺路线，热丝cvd因为其沉积速率高和对硅片钝化效果好的优势...针对lpcvd良率提升困难的现状，越来越多的设备厂商开始尝试新的技术路线，如pecvd/peald/pvd，尽管新技术路线的设备陆续推向市场，但新技术路线的设备仍缺量产能力验证，topcon 技术路线的争论仍将持续为热点话题

来源：安徽华晟新能源2021-09-09

日前，安徽华晟新能源宣布与薄膜设备制造商上海理想万里晖达成了一项全新的战略合作，双方致力于开发大产能异质结专用pecvd设备。

来源：pv-magazine2021-07-29

然而，pecvd工艺并不常用于钙钛矿沉积。 “可以用很多不同的方式完成钙钛矿镀膜。...技术分歧梅耶博格的hjt生产线基于pecvd（等离子体增强化学气相沉积）工艺，用于生产双结晶体硅(a-si)/非晶硅(a-si)电池。