来源：苏州晟成光伏2022-07-26

近期，2022年度江苏省工业和信息产业转型升级专项资金（第三批）拟安排项目公布，晟成光伏“基于pecvd&pvd技术的高效节能topcon电池镀膜设备的研发”项目成功入选关键核心技术（装备）攻关产业化版块...晟成光伏高效节能topcon电池镀膜设备，基于智能制造设计理念，采用具有自主知识产权的硅片清洗技术、pecvd&pvd结合的新型工艺路线及动态镀膜技术，实现topcon电池生产工艺中的界面氧化物生长、本征多晶硅沉积及磷元素原位掺杂三大核心环节高效低能耗生产

来源：苏州晟成光伏2022-06-23

该技术方式可以有效减少甚至避免目前行业内lpcvd设备出现的绕镀问题，以及管式pecvd容易出现的爆膜、石墨舟寿命低及量产不稳定的问题，同时又可以进一步规避采用大尺寸线性离子源依赖进口、造价昂贵和膜层均匀性较差的问题

来源：北极星太阳能光伏网2022-06-23

迈为股份表示，公司本次取得国有建设用地使用权，该地块为公司2021年度向特定对象发行股票的项目用地，将用于建设异质结太阳能电池片设备产业化项目，项目建设周期为3年，项目建成达产后可实现年产pecvd、pvd

来源：华晟新能源2022-04-27

据悉，华晟二期项目将主要生产异质结大尺寸半片电池和高功率组件，组件输出功率覆盖580w-700w区间，转换效率最高达22.5%，尤其适用于工商业分布式及地面电站项目；电池端采用单面微晶电池工艺结合大产能pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2022-04-22

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来源：北极星太阳能光伏网2022-04-20

采用激光切割机、制绒清洗机、pecvd、pvd、丝网印刷机等设备进行新型高效电池中试与研究开发，新型高效电池预计产能1200mw，配套建设辅助工程（动力站、特气站、酸库及碱库等）、公用工程（给水、排水、

来源：北极星太阳能光伏网2022-03-28

据了解，这条生产线选用了迈为独立研发的hjt3.0设备，该设备具有大尺寸、半片、薄片化等优点，尤其在pecvd和pvd两个关键设备中可实现全程无行车，并且支持连续镀膜，可以有效提高转化效率。

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-29

理想万里晖目前主要产品为用于hjt 电池生产的等离子体化学气相沉积 （pecvd）设备，未来根据客户需求提供hjt电池生产线整线交钥匙工程。...理想万里晖成立于2013年5月21日，公司致力于实现太阳能电池异质结领域装备的国产替代及降本增效， 开发的量产型vhf-pecvd设备助力客户获得异质结电池转换效率达26.30%。

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-10

4个环节的设备均选用迈为独立研发的hjt3.0设备，具有大尺寸、半片、薄片化等特点，尤其在pecvd和pvd两个关键设备中全程无行车，并支持连续镀膜，可以有效降低成本、提高转化效率。

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-01

据悉，近日，迈为股份与rec集团签订了400mw hjt异质结电池整线设备订单，将供应pecvd、pvd、丝网印刷等hjt电池核心生产设备，用于rec位于新加坡的400mw hjt电池生产线，该产线将采用

来源：安徽华晟新能源2021-11-11

该产线计划使用华晟开发的单面微晶和双面微晶工艺与迈为开发的大产能pecvd、pvd，并结合最新的自动化智能制造技术，实现对单硅片的全制程数据追踪与工艺自控制，做到业界更先进、更智能、转化效率更高的太阳能电池生产线

来源：晶科能源2021-11-01

而实际上，如清洗制绒环节对洁净度要求较高，且工艺复杂；非晶体硅沉积所需pecvd设备较多，镀膜速度较低；此外，双面银丝印与烧结用量大于高温银浆，银粉价格只会越来越贵，这都让hjt难以逾越的成本关和良率关

来源：理想万里晖2021-09-30

理想万里晖在异质结领域积极延伸产业链，布局整线战略，现已有系列pecvd设备、pvd设备、整线集成及交钥匙服务，目前已有异质结客户12家，通过验收客户9家。

来源：PVInfoLink2021-09-17

总体来说，pecvd+pvd已然成为hjt最主流的路线组合。...hjt 因为没有良率问题的困扰，当前技术路线已经较明确，pecvd法其中主要以rfcvd因为技术成熟度较高且镀膜均匀性较好已经成为制备非晶硅层的主流工艺路线，热丝cvd因为其沉积速率高和对硅片钝化效果好的优势

来源：安徽华晟新能源2021-09-09

日前，安徽华晟新能源宣布与薄膜设备制造商上海理想万里晖达成了一项全新的战略合作，双方致力于开发大产能异质结专用pecvd设备。...据介绍，双方团队计划在10层cvd设备上采用新技术进行量产及工艺可行性方面进行研究，开发更低成本、更大产能的cvd设备。目前，华晟正在做前期厂务动力设施的施工准备工作，设备计划于今年11月份搬入现场。

来源：pv-magazine2021-07-29

然而，pecvd工艺并不常用于钙钛矿沉积。 “可以用很多不同的方式完成钙钛矿镀膜。...技术分歧梅耶博格的hjt生产线基于pecvd（等离子体增强化学气相沉积）工艺，用于生产双结晶体硅(a-si)/非晶硅(a-si)电池。

来源：雪球2021-07-26

目前所有设备商的产能还无法满足大的订单，公司扩产就是为了后期能满足供应做准备；hjt整线产线长度超过400米，pecvd设备线长100米，而且pecvd一个腔体重量要30多吨，需要大的厂房，很难短期就完成扩产

来源：北极星太阳能光伏网2021-07-21

据曹仁贤介绍，目前，我国在硅料生产、硅片加工、电池片生产、组件生产、环保处理、净化工程，以及相关的光伏检测、模拟器等各类生产设备方面，绝大部分已经实现国产化供应，部分产品如湿法清洗设备、制绒设备、扩散炉、管式pecvd

来源：通威集团2021-07-14

通威在topcon技术方面也取得了重大突破，采用210尺寸pecvd隧穿氧化/多晶硅沉积设备和工艺，研发线平均电池效率达到24.10%，同时1gw topcon中试线也正在建设中。

来源：SOLARZOOM光储亿家2021-06-28

近日，首台由金辰自主研发的异质结hjt太阳能电池pecvd非晶硅薄膜设备运抵晋能科技，正式开启了双方就进一步研究开发“基于异质结hjt太阳能电池新型pecvd的非晶硅薄膜工艺及电池技术”的联合战略合作。