来源：pvmagazine2018-11-12

、电池制造设备及工艺亟需改进和更新），均未实现大规模量产。...1、实验本文所有的电池片生产工艺均在常规的晶体硅太阳电池生产线上进行：（1）在氢氧化钠、异丙醇、硅酸钠和制绒添加剂构成的碱性溶液中进行制绒，绒面金字塔大小在5μm以内；（2）扩散炉中高温磷扩散形成n型发射结

来源：光伏领跑者创新论坛2018-11-02

制绒后的多晶硅片分别经过常压扩散工艺、低压扩散工艺一、低压扩散工艺二后，在后续的二次清洗、镀膜、丝网印刷工序中使用同样的工艺，使用测试分选机记录的使用3种扩散工艺电池片的电性能参数如表4所示。

来源：OFweek太阳能光伏网2018-08-14

公司系国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。

来源：摩尔光伏2018-05-28

金刚线切割单晶硅片清洗工序是将线锯机床切割完毕的硅片从树脂板上脱离下来，将胶条去除后，将硅片清洗干净。清洗设备主要是预清洗机(脱胶机)和清洗机。

来源：OFweek2018-04-27

2、hit电池工艺流程hit电池的一大优势在于工艺步骤相对简单，总共分为四个步骤：制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备。...hit电池的制备工艺步骤简单，且工艺温度低，可避免高温工艺对硅片的损伤，并有效降低排放，但是工艺难度大，且产线与传统电池不兼容，设备资产投资较大。

来源：摩尔光伏2017-11-14

目前常规多晶硅太阳能电池工艺流程为:硅片检测、清洗制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、镀减反射膜、丝网印刷。丝网印刷正电极是与电池pn结两端形成紧密欧姆接触的导电材料。...即c－tex清洗制绒去除硅片表面的机械损伤层，并在其表面进行凹凸面处理，增加光的折射次数;扩散采用进口ct扩散炉，以液态pocl3作为扩散p源，采用背靠背扩散方式，在硅片表面形成pn结，即在晶体内部实现

来源：国家发改委2015-04-02

3.6切片工序通过切割技术，将硅锭（硅棒）加工成相应尺寸的硅块，然后将硅块切割成一定厚度薄片，并通过清洗去除硅片表面微粉、金属离子等，最终获得表面清洁的硅片的工序。

来源：光伏资讯2014-12-12

硅片切割后，进入电池片生产阶段，此时除了前期对于硅片的清洗制绒外需要各类酸碱和纯水辅料外，扩散还需要用到三氯氧磷气体，pecvd要用到硅烷气体，电极加工要用到银浆和铝浆，这些辅材的消耗量甚至不亚于主原料硅的价值

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2014-06-27

孙云：除了硅原料之外，我认为晶硅电池生产并不是整个产业链都有污染，例如组件封装生产环节几乎就没有污染，扩散过程酸碱清洗、腐蚀制绒、刻槽等工艺会用到一些酸碱性的东西，在排放前需要处理，但还是要比薄膜电池有更大地投入加以防范

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2014-01-02

北极星太阳能光伏网总结了12月31日要闻回顾，工信部公布光伏制造行业109家准入企业名单（表）、北极星编辑推荐（二十九）：十大硅片制绒清洗设备企业、英利、中电电气、昱辉进军电商领域等，详情如下：工信部公布光伏制造行业

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-31

公司自主产品主要有全自动硅芯/硅棒/硅料/硅片清洗设备 、自动硅片脱胶设备、自动单/多晶硅链式制绒清洗设备、自动去磷硅玻璃清洗设备、自动石英管清洗设备、自动石墨舟清洗设备、非晶硅玻璃基片清洗设备等等。

来源：北极星太阳能光伏网2012-12-25

其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分明显。...在光伏产业链中，有实际产能的多晶硅生产商20～30家， 60多家硅片企业，电池企业60多家，组件企业330多家。

来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

七星电子应用在超大规模集成电路硅片制程的铜互连工艺阶段的300mm 65nm铜互连清洗设备，其设备技术指标已达到国际同类产品先进水平。...涉及光伏的主要产品包括：单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、pecvd、制绒清洗机、去psg清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。

来源：时代周报2012-07-27

今年1月4日凌晨，向日葵因电气设备短路发生特大火灾，太阳能电池清洗制绒车间内多台生产设备受损严重，有5台设备基本全损，价值计2000多万元。

来源：时代周报2012-07-26

今年1月4日凌晨，向日葵因电气设备短路发生特大火灾，太阳能电池清洗制绒车间内多台生产设备受损严重，有5台设备基本全损，价值计2000多万元。

来源：时代周报2012-07-12

今年1月4日凌晨，向日葵因电气设备短路发生特大火灾，太阳能电池清洗制绒车间内多台生产设备受损严重，有5台设备基本全损，价值计2000多万元。

来源：工控网2012-07-02

我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去psg设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显;国产

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-30

三洋双面hit电池结构图晶硅/非晶硅异质结结构：增加开路电压，提高转换效率光伏技术：hit电池工艺制程1.硅片清洗制绒2.正面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和p型非晶硅薄膜3.背面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

概述前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。...每片硅片间不均匀性误差在5%之内，同一批硅片间

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-21

本文主要介绍光伏制造清洗制绒设备的运行条件、保养与维护、技术发展。...表３．１１清洗制绒设备的维护与保养周期3．6清洗制绒设备的技术发展方向随着技术的革新与实际应用后的改进，目前国产太阳电池设备总体的技术状况是：虽然已基本具备整线装备能力，但自动化水平较低；从光伏产业发展趋势来看