来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

七星电子应用在超大规模集成电路硅片制程的铜互连工艺阶段的300mm 65nm铜互连清洗设备，其设备技术指标已达到国际同类产品先进水平。...涉及光伏的主要产品包括：单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、pecvd、制绒清洗机、去psg清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。

来源：工控网2012-07-02

我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去psg设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显;国产

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-30

三洋双面hit电池结构图晶硅/非晶硅异质结结构：增加开路电压，提高转换效率光伏技术：hit电池工艺制程1.硅片清洗制绒2.正面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和p型非晶硅薄膜3.背面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

概述前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。...每片硅片间不均匀性误差在5%之内，同一批硅片间

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-21

本文主要介绍光伏制造清洗制绒设备的运行条件、保养与维护、技术发展。...表３．１１清洗制绒设备的维护与保养周期3．6清洗制绒设备的技术发展方向随着技术的革新与实际应用后的改进，目前国产太阳电池设备总体的技术状况是：虽然已基本具备整线装备能力，但自动化水平较低；从光伏产业发展趋势来看

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-17

表３．３晶体硅清洗制绒设备的槽体结构分布情况图３．６槽式制绒设备工艺流程示意图 3．3．2晶体硅清洗制绒设备的主要结构晶体硅清洗制绒机用于硅片在扩散前的硅片处理。

来源：北极星太阳能光伏（独家）2012-05-14

本章主要讨论清洗制绒（碱性制绒和酸性制绒）的基本原理及其清洗制绒设备的主要结构、工艺流程、维护和发展方向。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-08

图1rena清洗制绒设备1.制绒深度一般在4.20.2um（电子天平称重测得）通过测量制绒前后硅片重量（g），可以计算出制绒深度，根据具体测量情况可以改变工艺参数：槽体温度原则上温度控制在8℃，一般上下浮动

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。

来源：中国电子报2012-02-24

，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

在太阳能电池企业，目前在清洗制绒方式上采用的设备方式一般有三种：一种是效率不高但很实用的手动操作清洗设备；第二种是分体式全自动清洗，即清洗、制绒工序各用相关设备；第三种是目前较流行的一体式清洗机，从研磨片到电池片一步到位

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-25

这套工艺是比较复杂的，先是把切成一小片的硅片用酸液或碱液把表面做腐蚀处理，然后高温通入pocl3（三氯氧磷）、n2（氮气）在规片上形成pn结，然后再在硅片上刻蚀，刻出可以丝印的小槽，清洗干净后镀膜，最后把电极印刷上去

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-23

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，电池制造工序涉及清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。美国gtsolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-21

在未来3-5年内，进一步支持大尺寸、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式pecvd，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和

来源：《光伏信息报》2011-11-14

、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备、等离子体刻蚀机、pecvd、非晶硅玻璃基片清洗设备等。

来源：沈阳众拓公司2011-09-26

，被广泛应用于pecvd、清洗、制绒工艺环节的上下片。...在工作空间内，设备的动态响应速度可以达到80m/s2,最快运行速度可以达到10m/s。

来源：21IC电子网2011-08-10

在实验前经过硅片清洗和制绒，磷扩散，等离子刻蚀，去除磷硅玻璃等工艺。实验用到的气体有sih4，nh3，n2。腐蚀溶液为hf酸。...设备上

来源：中国电子报2011-07-14

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，最关键的工序为电池制造，它包括清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等。...同国际先进水平相比，国产太阳能电池生产设备最关键的几种设备中，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机等达到或接近了国际先进水平，占据了国内绝大部分市场，性价比优势十分明显。

来源：搜狐IT2011-06-16

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗