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概述
前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。本章将着重阐述镀膜设备———等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,简称PECVD)。PECVD作为太阳电池生产线上的关键设备之一,其市场需求相当大,所以PECVD技术在70年代以来已成为研究的热点,并将不断成长为一项成熟的技术。PECVD与一般的CVD方法相比既有相同之处,又有它独特的优势。以下将详细介绍PECVD装置的原理、特点、结构参数、性能指标、操作规范和保养维修等。
图6.1PECVD的结构示意图
6.2PECVD的工作原理和特点
目前太阳能光伏市场上用的PECVD设备,国外的主要有德国centrotherm和日本岛津的镀膜设备;国内的主要有生产型管式PECVD,接下来就该管式PECVD的工作原理、结构性能参数、操作调试过程和维护保养工作做一个详尽的介绍。图6.1为PECVD的结构示意图。化学气相沉积(CVD)是反应气体在一定条件下分解并发生化学反应,最终生成固态物质沉积在基体表面继而形成薄膜的一种技术。在工艺上与其他薄膜沉积技术相比,具有沉积速度快、膜层质量好等优点,且已广泛应用于电子、光电子、表面改性等领域。该技术的缺点是沉积工艺温度过高,一般在(900℃~1200℃)之间,被处理的基体在高温下易变形、基体晶粒长大、致使基材性能发生改变,甚至某些相对低熔点的合金基材:如(Al合金)无法涂覆,而PECVD在很大程度上改进了CVD的这些缺点。PECVD技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜。PECVD方法区别于其他CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子,它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程,生成活性很高的各种化学基团,因而显著降低CVD薄膜沉积的温度范围,使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温下实现。其化学反应方程式为
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11月29日,金辰股份发布关于部分募集资金投资项目增加实施主体、实施地点及延期的公告。(一)年产40台(套)隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目增加实施主体、实施地点及延期的情况及原因公司拟增加募投项目“年产40台(套)隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目”
9月23日、24日,2022年光伏新时代论坛暨第十一届“北极星杯”2022年度光伏影响力品牌评选颁奖典礼在南京举行,光伏产业链企业、行业机构、发电集团、资深专家等一百多家企业和机构代表参加了论坛活动。福建金石能源有限公司战略副总裁金屹应邀出席,产线项目部总经理庄辉虎受邀作《大腔室PECVD对异质结
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日前,安徽华晟新能源宣布与薄膜设备制造商上海理想万里晖达成了一项全新的战略合作,双方致力于开发大产能异质结专用PECVD设备。据介绍,双方团队计划在10层CVD设备上采用新技术进行量产及工艺可行性方面进行研究,开发更低成本、更大产能的CVD设备。目前,华晟正在做前期厂务动力设施的施工准备工作,设备计划于今年11月份搬入现场。
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近年来钙钛矿材料在光伏领域的潜力不断被人们发掘,单结钙钛矿太阳能电池效率屡创新高。为进一步提高光电转化效率,研究者进一步制备了一系列基于宽带隙钙钛矿的叠层太阳能电池,比如钙钛矿/硅叠层太阳能电池,钙钛矿/钙钛矿叠层太阳能电池等。相较于其他种类的叠层太阳能电池,钙钛矿/有机叠层太阳能
近日,第十九届中国可再生能源大会公布“2024年太阳电池中国最高效率”榜单,包括34.6%晶硅-钙钛矿叠层电池效率世界纪录、27.30%单晶硅太阳电池(HBC)效率世界纪录、27.0%全背接触太阳能电池(TBC)效率纪录等6项隆基电池效率世界纪录入选。截止目前,隆基已实现在高温单晶硅太阳能电池、低温单晶硅太阳能
近日,光伏科学与技术全国重点实验室主任高纪凡带领的科研团队与南京大学谭海仁教授团队组成的课题组,在国际顶尖学术期刊《自然通讯》(NatureCommunications)(《自然》(Nature)子刊)上发表研究论文,首次提出了一种在空气中可规模化制备钙钛矿/晶体硅叠层太阳电池的溶剂工程方法。研究揭示了在
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12月20日,北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾(2024年12月16日-12月20日)。政策篇涉及光伏!工信部等四部门联合发文12月17日,工业和信息化部、生态环境部、应急管理部、国家标准化管理委员会等四部门联合印发《标准提升引领原材料工业优化升级行动方案(2025—2027年)》的通知。方案提出到2027年
12月19日,内蒙古自治区能源局下发关于做好2025年内蒙古东部电力交易市场中长期交易有关事宜的通知。根据通知,预计2025年蒙东电网区内电力市场交易电量规模约351亿千瓦时(含工商业线损),按照用电侧类别划分,直接交易251亿千瓦时,电网公司代理交易100亿千瓦时(含工商业线损);按照发电侧类别划
12月20日,国家能源局发布1-11月份全国电力工业统计数据。其中,11月我国光伏新增装机25GW,1-11月光伏累计新增装机206.3GW。截至11月底,全国累计发电装机容量约32.3亿千瓦,同比增长14.4%。其中,太阳能发电装机容量约8.2亿千瓦,同比增长46.7%;风电装机容量约4.9亿千瓦,同比增长19.2%。1-11月份,
近日,内蒙古自治区气象局印发风电和光伏发电资源普查试点工作方案。该方案明确,将根据内蒙古自治区资源禀赋特点,自治区气象局面向全区12个盟市开展陆上风电、地面光伏发电普查工作,旨在通过试点工作建设,全面摸清内蒙古自治区风电和光伏发电资源状况,获得以县域为单位的风能太阳能资源量,优化完
12月20日,内蒙古自治区能源局印发关于做好2025年内蒙古电力多边交易市场中长期交易有关事宜的通知。通知明确,符合电力市场入市条件的蒙西电网现役燃煤机组、风电(暂不含分散式风电)及光伏发电(暂不含分布式光伏和扶贫光伏)项目,可按要求直接参与市场。根据通知,预计2025年蒙西电网区内电力市场
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