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太阳能光伏PECVD镀膜设备

2012-05-24 11:09来源:北极星太阳能光伏网关键词:PECVD太阳电池光伏收藏点赞

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6.4PECVD设备的安装、调试及其制作过程

在使用本设备制作薄膜时要注意3个方面的问题,使用前的调试、制作薄膜的程序和使用完后的归位工作。接下来分3个方面介绍该设备的调试及其操作程序。

6.4.1PECVD设备的安装和调试工作

该设备的安装过程大致分为9个部分,下面就这几个步骤逐个进行简单的说明。

1.设备进入净化间前须清扫,擦干设备内外灰尘、污渍,工艺管、真空管道应按微电子规范进行清洁处理。

2.设备进入净化间后按要求摆放好,先装电阻炉部分,炉体架装上地脚并调平稳,然后将炉体上架,再装工艺管,装工艺管时注意轻拿轻放,小心不要碰坏石英管。同时装石英管时在石英管下部垫上光滑的塑料布或其他光滑材料,以防划伤石英管。要从炉口放入向后推,千万不能从尾部向前推,以免碰坏石英管的真空密封磨口。如果要清洗石英管时,要反过来进行。两端法兰按水冷法兰、气路法兰顺序装配。

3.靠拢净化台,调地脚螺钉,高度与炉体架一致,连接好各种控制线,再装配推舟系统。在装配时要特别细心,防止错装漏装密封圈而影响真空系统。

4.摆好真空机组,最好垫上一块橡皮,打上四个地脚螺钉,防止机组振动而造成工艺管损坏。用快卸卡箍管道连接好,再装上压力传感器等。

5.气路由管道连接,将各气路分别对应连接,并按规定压力送入本机。

6.将设备排风口、排废口、泵组排气口与用户管道连接好,如果用户备有尾气处理装置,必须事先确认与本设备所用气体种类、流量的相容性及安全性。

7.连接水路系统,最好有循环水装置,否则本机在工作时容易烧坏密封圈。

8.接地,将各机柜连接起来接入电网的零线。出于使用过程中的安全性考虑,高频电源单独接一根大地线,要将地线埋入地下1.8米以上,并放入木炭、水、盐各3公斤。

9.整机引入三相功率线,线径用35mm的多股铜线。

投稿与新闻线索:陈女士 微信/手机:13693626116 邮箱:chenchen#bjxmail.com(请将#改成@)

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