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概述
前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。本章将着重阐述镀膜设备———等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,简称PECVD)。PECVD作为太阳电池生产线上的关键设备之一,其市场需求相当大,所以PECVD技术在70年代以来已成为研究的热点,并将不断成长为一项成熟的技术。PECVD与一般的CVD方法相比既有相同之处,又有它独特的优势。以下将详细介绍PECVD装置的原理、特点、结构参数、性能指标、操作规范和保养维修等。
图6.1PECVD的结构示意图
6.2PECVD的工作原理和特点
目前太阳能光伏市场上用的PECVD设备,国外的主要有德国centrotherm和日本岛津的镀膜设备;国内的主要有生产型管式PECVD,接下来就该管式PECVD的工作原理、结构性能参数、操作调试过程和维护保养工作做一个详尽的介绍。图6.1为PECVD的结构示意图。化学气相沉积(CVD)是反应气体在一定条件下分解并发生化学反应,最终生成固态物质沉积在基体表面继而形成薄膜的一种技术。在工艺上与其他薄膜沉积技术相比,具有沉积速度快、膜层质量好等优点,且已广泛应用于电子、光电子、表面改性等领域。该技术的缺点是沉积工艺温度过高,一般在(900℃~1200℃)之间,被处理的基体在高温下易变形、基体晶粒长大、致使基材性能发生改变,甚至某些相对低熔点的合金基材:如(Al合金)无法涂覆,而PECVD在很大程度上改进了CVD的这些缺点。PECVD技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜。PECVD方法区别于其他CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子,它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程,生成活性很高的各种化学基团,因而显著降低CVD薄膜沉积的温度范围,使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温下实现。其化学反应方程式为
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9月23日、24日,2022年光伏新时代论坛暨第十一届“北极星杯”2022年度光伏影响力品牌评选颁奖典礼在南京举行,光伏产业链企业、行业机构、发电集团、资深专家等一百多家企业和机构代表参加了论坛活动。福建金石能源有限公司战略副总裁金屹应邀出席,产线项目部总经理庄辉虎受邀作《大腔室PECVD对异质结
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近日,第十九届中国可再生能源大会公布“2024年太阳电池中国最高效率”榜单,包括34.6%晶硅-钙钛矿叠层电池效率世界纪录、27.30%单晶硅太阳电池(HBC)效率世界纪录、27.0%全背接触太阳能电池(TBC)效率纪录等6项隆基电池效率世界纪录入选。截止目前,隆基已实现在高温单晶硅太阳能电池、低温单晶硅太阳能
近日,光伏科学与技术全国重点实验室主任高纪凡带领的科研团队与南京大学谭海仁教授团队组成的课题组,在国际顶尖学术期刊《自然通讯》(NatureCommunications)(《自然》(Nature)子刊)上发表研究论文,首次提出了一种在空气中可规模化制备钙钛矿/晶体硅叠层太阳电池的溶剂工程方法。研究揭示了在
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3月13日,阿拉善盟生态环境局阿拉善右旗分局发布关于2025年3月11日作出的建设项目环境影响评价文件审批决定的公告。根据公告,阿拉善盟生态环境局阿拉善右旗分局对阿拉善右旗景新能源有限公司景新塔木素40万千瓦防沙治沙光伏项目作出审批决定,原则同意该项目建设。批准时间为2025年3月11日。本项目建
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2025年3月11日上午,中原环保股份有限公司郑州新区污水处理厂分布式光伏源网荷储一体化项目举行开工仪式。中原环保股份有限公司党委书记、董事长梁伟刚出席开工仪式。项目设计单位、施工单位、监理单位等参建单位到场参与,共同见证这一时刻。郑州新区污水处理厂分布式光伏源网荷储一体化项目是顺应能
3月3日,江苏省连云港市发展和改革委员会公布连云港市分布式光伏接入电网可开放容量。文件提出,连云港市发展改革委组织国网连云港供电公司动态测算全市电网承载能力,全面评估全市分布式光伏可开放容量,现将评估结果(数据截止到2025年2月28日)向社会公开。根据文件,连云港市分布式光伏可开放容量
3月12日,上海浦东新区发改委发布《对浦东新区政协七届四次会议第187号提案的会办意见》。《意见》中指出,大力推进光伏项目建设。2024年,浦东新区新增光伏装机容量达到25万千瓦,“十四五”期间已累计完成55万千瓦,计划“十四五”完成60万千瓦以上。原文如下:对浦东新区政协七届四次会议第187号提
3月13日,棒杰股份发布公告称,公司于近日收到苏州环秀湖逐光企业管理合伙企业(有限合伙)(简称“环秀湖逐光”)的《关于要求棒杰股份履行回购义务的函》,环秀湖逐光要求棒杰股份回购其持有的全部或部分棒杰新能源股权,且在接到该函的60日内支付全部回购价格。如果棒杰股份怠于履行回购义务,每迟延
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