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6.5.2PECVD的维护保养
要正确规范地使用该设备,除了使用前进行必要的调试、使用过程中的正确操作之外,还需要对该设备定期进行保养及其维修,一般分为以下几个方面:
1.保持真空度。工艺完成后,不继续做工艺时,必须保持工艺管内为真空状态,每天做工艺时可查看各真空压力表读数,以便确定工艺管密封是否良好。
2.保护气路。在做完工艺后,必须按说明书要求去操作。当环境温度较高时,产生的反应物会堵塞质量流量计,所以千万不要让工艺气体留在管路中。
3.保护罗茨泵机。为了保护罗茨泵机组的寿命,要经常更换机械泵油,只要油泵观察窗发现油黑了就必须更换。设备用在生产线上一般5天必须更换一次油(干泵机组例外)。
4.定期进行酸洗。为了良好的工艺、优良的沉积膜,工艺管要定期进行酸洗,在生产线上至少一个月洗一次。
5.全面检查设备。一个季度对设备进行一次性能的全面检查,检查各种功能是否正常可靠。
6.保持环境温度。本设备必须有良好的工作环境,环境温度必须在20℃以下,由于SiH4的燃点非常低,在常温下会自燃,在28℃以上会发生反应,所以必须定期检查环境温度。
7.保持罗茨泵排风管道的畅通。罗茨泵的排风管道必须畅通,而且管路也不能太长,否则由于排气不畅而发生爆鸣,严重时油泵观察窗会爆破。因此要定期进行检查排风管道的畅通工作,工艺完成后要对通道进行排风。
8.罗茨泵轴承加油嘴必须保持始终有油。(作者罗玉峰、张发云、廖卫兵)
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11月29日,金辰股份发布关于部分募集资金投资项目增加实施主体、实施地点及延期的公告。(一)年产40台(套)隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目增加实施主体、实施地点及延期的情况及原因公司拟增加募投项目“年产40台(套)隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目”
9月23日、24日,2022年光伏新时代论坛暨第十一届“北极星杯”2022年度光伏影响力品牌评选颁奖典礼在南京举行,光伏产业链企业、行业机构、发电集团、资深专家等一百多家企业和机构代表参加了论坛活动。福建金石能源有限公司战略副总裁金屹应邀出席,产线项目部总经理庄辉虎受邀作《大腔室PECVD对异质结
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近日,隆基绿能科技股份有限公司西咸新区分公司隆基股份中央研究院一期中试项目环境影响评价公众参与第一次信息公告。公告显示,隆基绿能科技股份有限公司西咸新区分公司将在“陕西省西咸新区泾河新城永乐镇北流村、南流村,原点大道以南,泾干三街以北,原点西一路以西,原点西二路以东”范围内建设12
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金辰股份与晋能科技携手合作开发新型HJTPECVD工艺及电池技术。
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太阳电池的未来技术究竟会是什么?今天之所以想简单聊下这个话题,是因为按照目前光伏技术的发展趋势,不出意外的话,在接下来的3-4年内,无论是基于n型TOPCon,硅异质结(SHJ)或者BC技术的单结晶硅电池都会先后达到量产效率极限。笔者认为单结晶硅电池的量产效率极限应该在27.5-27.8%左右,且这三种
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近日,光伏科学与技术全国重点实验室主任高纪凡带领的科研团队与南京大学谭海仁教授团队组成的课题组,在国际顶尖学术期刊《自然通讯》(NatureCommunications)(《自然》(Nature)子刊)上发表研究论文,首次提出了一种在空气中可规模化制备钙钛矿/晶体硅叠层太阳电池的溶剂工程方法。研究揭示了在
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近期,中国科学院合肥物质科学研究院固体物理研究所能源材料与器件制造研究部研究员潘旭团队、中国科学技术大学教授肖正国课题组合作,在钙钛矿太阳能电池研究中取得进展,制备出理想带隙为1.33eV的铅锡混合钙钛矿作为太阳能电池吸收层,通过定向锚定策略(STA)对钙钛矿空位缺陷进行精确钝化处理,获
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12月19日,内蒙古自治区能源局下发关于做好2025年内蒙古东部电力交易市场中长期交易有关事宜的通知。根据通知,预计2025年蒙东电网区内电力市场交易电量规模约351亿千瓦时(含工商业线损),按照用电侧类别划分,直接交易251亿千瓦时,电网公司代理交易100亿千瓦时(含工商业线损);按照发电侧类别划
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12月20日,内蒙古自治区能源局印发关于做好2025年内蒙古电力多边交易市场中长期交易有关事宜的通知。通知明确,符合电力市场入市条件的蒙西电网现役燃煤机组、风电(暂不含分散式风电)及光伏发电(暂不含分布式光伏和扶贫光伏)项目,可按要求直接参与市场。根据通知,预计2025年蒙西电网区内电力市场
北极星售电网获悉,12月20日,安徽电力交易中心发布安徽电力市场结算实施细则(2025年版),本细则适用于安徽电力市场批发侧、零售侧交易结算以及电网企业代理购电结算。关于新型主体结算,虚拟电厂(能源聚合类)聚合分布式光伏发电企业参与市场化交易,参照发电企业结算。分布式光伏发电企业按照分布
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