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6.5.2PECVD的维护保养
要正确规范地使用该设备,除了使用前进行必要的调试、使用过程中的正确操作之外,还需要对该设备定期进行保养及其维修,一般分为以下几个方面:
1.保持真空度。工艺完成后,不继续做工艺时,必须保持工艺管内为真空状态,每天做工艺时可查看各真空压力表读数,以便确定工艺管密封是否良好。
2.保护气路。在做完工艺后,必须按说明书要求去操作。当环境温度较高时,产生的反应物会堵塞质量流量计,所以千万不要让工艺气体留在管路中。
3.保护罗茨泵机。为了保护罗茨泵机组的寿命,要经常更换机械泵油,只要油泵观察窗发现油黑了就必须更换。设备用在生产线上一般5天必须更换一次油(干泵机组例外)。
4.定期进行酸洗。为了良好的工艺、优良的沉积膜,工艺管要定期进行酸洗,在生产线上至少一个月洗一次。
5.全面检查设备。一个季度对设备进行一次性能的全面检查,检查各种功能是否正常可靠。
6.保持环境温度。本设备必须有良好的工作环境,环境温度必须在20℃以下,由于SiH4的燃点非常低,在常温下会自燃,在28℃以上会发生反应,所以必须定期检查环境温度。
7.保持罗茨泵排风管道的畅通。罗茨泵的排风管道必须畅通,而且管路也不能太长,否则由于排气不畅而发生爆鸣,严重时油泵观察窗会爆破。因此要定期进行检查排风管道的畅通工作,工艺完成后要对通道进行排风。
8.罗茨泵轴承加油嘴必须保持始终有油。(作者罗玉峰、张发云、廖卫兵)
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