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6.4.4PECVD制作工艺步骤
完成了该设备之前的调试和各个部分的检查之后,在制作薄膜过程中必须理解该工艺的基本步骤和程序。PECVD的工艺步骤流程如图6.3所示。装好基片后自动进舟,进舟到位后对工艺管抽真空,恒温一段时间后进行工艺淀积,这一步是关键工艺,在此过程应保持温度、压力、流量、高频功率等参数的稳定性,淀积工艺完成后再清洗、充氮,保证残余气体未留在反应管内,最后退舟、卸片、装片,进行下一循环,整个工艺流程约半小时。
图6.3PECVD工艺的流程图
6.5PECVD设备的故障分析和维护保养
6.5.1PECVD设备的故障分析
由于该PECVD是一种特殊、专业性很强的设备。它集机械、电子、高频、计算机、真空、气体、传动及温度控制为一体,如使用得当,经常维护,就不容易出故障。如不按使用说明书严格操作,可能会出错,严重时可能会损坏设备,甚至出现人身事故。该设备常见故障分析及其排除方法见表6.4。
表6.4见故障分析与排除
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