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6.4.2设备调试前的检查工作
1.对水冷法兰通水,检查是否有漏水现象或水流是否畅通。
2.检查运动情况,首先检查步进电机前进后退是否反相,再检查到位是否停止,快慢是否可调,最后检查在运动过程中是否有卡壳现象。
3.检查照明灯经过运输是否损坏。
4.检查真空管道是否连接好,确认无漏气口。
5.检查电阻炉功率板、触发板各部位引线接头是否松动,瓷件是否损坏。
6.检查各种接插件、对接件是否有错。
7.检查各种开关是否处于“停电”或“关”状态。
8.检查热偶插入深度及正、负极是否有错。
6.4.3设备的调试
在各种检查确认无误后整机上电,各个控制单元分别通电检查仪表、按钮、电磁阀、风机、泵等在方向和对应关系上是否正常,在有关人员认可的情况下可开机运行。
1.温度调试
当对PECVD通上电时,本机有黄、绿、红三色灯泡指示,然后按下“上电开关”,待两分钟后按炉体“加热”开关即可,记下各温区的升温电流的大小(用钳形表测量),并记下升温时间、到达设定温度时间。当各温区到达预计温度时,对两个温控仪表进行一次自
整定,然后对中间一个仪表再整定。待数分钟后若3个温区仪表显示非常平稳时,认定为PID各个参数合适,若发现某个仪表不稳就再进行一次自整定。下面分别介绍各个温区的温度调试测量。
(1)拉恒温区
将测量热偶端点置于炉膛正中间,待数分钟后视测量仪表的mV值(要求是6位数字电压表测才能满足测量精度)。然后将此mV值对照热电偶分度表,换算出温度值,发现控温仪表显示值与实际值有偏差时,通过调节控温仪表修正“Pb值”得到校准。用此方法再测恒温区的两端点。经过2至3次的重复,将这3点调到满意的程度。最后将测量热偶置于恒温区的尾端,充分等待炉温的稳定,一般情况下mV表的显示值在±1μV范围内变化视为炉温的稳定。
(2)精拉恒温区
在粗拉恒温区的基础上开始精拉恒温区,一般要求检测人员每隔3~5分钟测一个点,每点间距为50mm,然后找出最大值减去最小值再除以2,这就定义为恒温区正负温度值。恒温区精度定义:(测量最大值-测量最小值)/2。
(3)控温精度的测量
控温精度被定义为在恒温区中某一点的温度精度。通常是指在恒温区的中点随时间的测量,时间的长短按合同指标。这种方法目前是国内外通用的一种方法。具体测量方法是:在恒温区调好后,将测量热偶的一端置于炉膛正中点,待稳定后记录一次值,然后每隔10分钟记录一次,最长记录24小时共记录144次,将144次当中的最大值减去最小值再除以2即为控温精度的正负值。
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