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北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)是国内知名电子专用设备供应商,是我国最早的半导体设备研制企业,是我国第一台半导体扩散炉、第一台等离子刻蚀机、第一台气体质量流量控制器研制企业,也是我国最早的半导体清洗设备研制企业,完成国内首条半导体生产线中6项关键设备的研发制造。
七星电子多年来一直承担着国家多项科技重大专项研发任务,先后进行了12英寸立式氧化炉、清洗机及气体质量流量控制器等产品的研发。
目前,七星电子已成长为我国电子专用设备龙头企业之一,是中国电子专用设备工业协会理事长单位、北京电子制造装备行业协会会长单位、SEMI行业协会会员。
在半导体行业方面:
七星电子研制的国内首台300mm立式氧化炉设备,应用于集成电路生产线90/65nm工艺中的20~1000埃氧化膜生长及退火等工艺。该设备重点解决了设备及工厂自动化、氧化炉温度场和气流场分布、颗粒控制、微环境氧含量控制等关键技术问题,采用自主研发的性能优异的MBTC温度控制系统,不仅解决了传统PID温控系统在灵活性和稳定性方面存在的不足,并且在温度场的快速建立及恢复方面具有极佳的特性。全球只有包括七星电子在内的三家企业可以制造该设备。目前,已完成300mm立式氧化炉样机研制,并在中芯国际生产线上完成了大部分的测试及工艺验证工作。
七星电子应用在超大规模集成电路硅片制程的铜互连工艺阶段的300mm 65nm铜互连清洗设备,其设备技术指标已达到国际同类产品先进水平。该设备采用单片多腔室结构,具有占地面积小、结构紧凑、高度自动化、超强稳定性等优点。设备提供工厂集成接口,符合SEMI E15.1,完全AGV,OHT 兼容,满足SECS/GEM和HSMS接口协议。清洗后可达到:无光刻胶和聚合物残留;刻蚀通孔侧壁无铜的残留物;与铜及电介质材料如FSG、SiN等相容性;在铜表面形成保护钝化膜层;缺陷率满足65纳米技术带的要求(如颗粒指标、水印等)。清洗机设备已完成样机研制,即将进入工艺验证阶段。
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