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在太阳能光伏行业方面:
七星电子在高效薄膜设备及工艺、晶硅自动化技术方面,已掌握核心技术,以良好的质量与服务装配了国内外多条生产线。涉及光伏的主要产品包括:单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、PECVD、制绒清洗机、去PSG清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。尤其在光伏大规模生产线上得到大量使用,其技术水平、产能、成本控制及自动化程度都已达到世界领先水平。
七星电子研发的SSD8571A扩散炉,采用了高精度、智能化、多点控温技术,保证了对炉内温度控制的快速稳定,确保了控温数据的快速反应以及准确性。自动压力平衡装置,使炉内外压差为定值,且可根据工艺需求改变设定,从而提高了工艺均匀性以及工艺扩展性。设备单片COO下降20%,单位综合能耗下降20%以上,设备安全运行时间实属国内领先,设备维护成本低廉。在客户现场运行的实验数据一直处于国内领先水平,甚至赶超国际一线厂商的水准。该设备实现了MES与设备端的数据交互。
同时,七星电子研发的SSP8471A管式PECVD为单管产能全球最高设备,电池片转换效率高,属于世界先进水平。该设备具有独特的射频引入方式,且全自动运行并预留倒片接口。设备工艺均匀性高,差异小于 3%,配备了全自动上下料系统,碎片率≤0.1%(人为失误及隐痕裂片除外)。此外,UPTIME≥95% (总时间-正常维护时间-异常停机)/总时间。该设备也实现了MES与设备端的数据交互。
气体质量流量计:
七星电子是中国气体质量流量计产品的领先制造商。产品国内目标市场占有率达80%。2010-2011年,已实现燃料电池用气体流量控制器研发、投产,技术处于国际先进水平。且12英寸集成电路气体质量流量控制器也已完成研发,进入小批量生产阶段。
由七星电子自主研发的CS系列质量流量控制器产品,通过了省部级新品鉴定,该系列产品的各项技术指标均已达到国际一流标准,产品技术填补了国内空白。其中,CS200系列气体质量流量计产品在核心技术上取得了新的突破,它采用恒功率传感器、全金属密封结构、基于VCP的阀控技术、全数字信号处理和控制方法以及数字化高精度的生产标定工艺,所有设计符合SEMI标准,已经取得了CE认证。该产品目前已经在光伏行业内应用于100多条大型生产线中,得到了用户的高度认可。CS300系列产品专为半导体行业设计生产,除了具备CS200产品的性能之外,其与气体接触的零件表面均经过电化学抛光处理,粗糙度达到Ra 5μinch;与气体接触的零件表面化学成分:Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃),具有压力补偿功能,支持1.125,1.5英寸W,C,B型IGS气路系统。
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