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硅片厚度和总厚度变化测试方法(GB/T 6618-2009)

2015-02-10 10:03来源:中国新能源网关键词:硅片光伏技术光伏发电收藏点赞

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9 、精密度

通过对厚度范围360μm-500μm,直径76.2mm±0.4mm,研磨片30片,抛光片172片,在7个实验室进行了循环测量。

9.1 、非接触式测量

9.1.1 、对非接触式厚度测量,单个实验室的2。标准偏差小于5.4μm,多个实验室的精密度为±0.7%。

9.1.2 、对非接触式总厚度变化(TTV)测量,单个实验室的2。标准偏差扫描法小于3.8μm,分立点式小于4.9µm;多个实验室间的精密度扫描法为±19%,分立点式为±38%。

9.2 、接触式测量

9.2.1 、对于接触式厚度测量,单个实验室的2。标准偏差小于4.3μm,多个实验室间的精密度为±0.4%。

9.2.2 、对于接触式总厚度变化测量,单个实验室的2a标准偏差小于3.6μm,多个实验室间的精密度为±32%。

10 、试验报告

试验报告应包括下列内容:

a)试样批号、编号;

b)硅片标称直径;

c)测量方式说明;

d)使用厚度测量仪的种类和型号,

e)中心点厚度;

f)硅片的总厚度变化;

g)本标准编号;

h)测量单位和测量者;

i)测量日期。

投稿与新闻线索:陈女士 微信/手机:13693626116 邮箱:chenchen#bjxmail.com(请将#改成@)

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