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7.4.2.3 、将厚度测量仪探头置于硅片中心位置1(见图1)(偏差在±2mm之内),测量厚度记为t,即为该片的标称厚度。
7.4.2.4 、移动平板上的基准环,直到探头处于扫描开始位置为止。
7.4.2.5 、指示器复位。
7.4.2.6 、移动平台上的基准环,使探头沿曲线和直线段1-7扫描(见图2)。
7.4.2.7 、沿扫描路线,以μm为单位,记录被测量点上、下表面的各自位移量。对于直接读数仪器,记录成对位移之和值的最大值与最小值之差,即为该硅片总厚度变化值。
7.4.2.8 、仅对仲裁性测量要重复7.4.2.5-7.4.2.7操作达9次以上。
7.4.2.9 、放置基准环使探头处于停放位置,然后取出试样。
7.4.2.10 、对每个测量硅片,进行7.4.2.2-7.4.2.9的操作步骤。
8 、测量结果计算
8.1 、直接读数的测量仪,对分立点式测量,选出t1、t2、t3、t4、t5中最大值和最小值,然后求其差值;对扫描式测量,由厚度最大测量值减去最小测量值,将此差值记录为总厚度变化。
8.2 、倘若仪器不是直接读数的,对每个硅片要计算每对位移值a和b之和,同时,检查和值,确定最大和最小值。根据下列关系计算总厚度变化(TTV):
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