来源：工控网2012-07-02

我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去psg设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显;国产...据中电四十八所提供数据显示，在10个太阳能光伏电池制造生产线设备中，国产设备已能提供其中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、去磷硅玻璃(psg)设备、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-06-29

曾参与创办无锡尚德、南京中电以及河北晶澳等企业，开发了精确二次对准技术、新绒面制绒技术、非接触式印刷技术以及多种新型结构电池，其领衔的研发团队已获得美国发明专利37项。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-06-19

曾参与创办无锡尚德、南京中电以及河北晶澳等企业，开发了精确二次对准技术、新绒面制绒技术、非接触式印刷技术以及多种新型结构电池，其领衔的研发团队已获得美国发明专利37项。最重要的是他缔造了光伏界首富。

来源：solarzoom2012-06-11

制绒之前先采用rca法清洗硅片，用以确保制绒的均匀性。最后用1%的hf溶液去除硅片表面的氧化层。实验过程中，通过改变本征层厚度、沉积气压、射频功率、氢稀释度和硅片清洗工艺制备不同的非晶硅薄膜。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-30

三洋双面hit电池结构图晶硅/非晶硅异质结结构：增加开路电压，提高转换效率光伏技术：hit电池工艺制程1.硅片清洗制绒2.正面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和p型非晶硅薄膜3.背面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-29

但晶硅电池不同于lcd、led、半导体等其它行业，晶硅电池的衬底需要经过制绒以提高光能的吸收，但是，无论是多晶酸制绒形成的凹坑，还是单晶碱制绒形成的金字塔，其粒子线度都是在微米级别，对入射光具有米氏散射效应

来源：PV-Tech2012-05-25

希望凭借高效铜电镀电极技术取代现有的网印银浆技术，并采用纳米制绒技术，优化减反射层，降低类单晶电池的反射率。昱晶在申请中表示该计划成功后将大幅降低生产成本，预计铜电极太阳能电池的效率可达18.5%。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

概述前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-21

本文主要介绍光伏制造清洗制绒设备的运行条件、保养与维护、技术发展。...表３．１１清洗制绒设备的维护与保养周期3．6清洗制绒设备的技术发展方向随着技术的革新与实际应用后的改进，目前国产太阳电池设备总体的技术状况是：虽然已基本具备整线装备能力，但自动化水平较低；从光伏产业发展趋势来看

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-17

表３．３晶体硅清洗制绒设备的槽体结构分布情况图３．６槽式制绒设备工艺流程示意图 3．3．2晶体硅清洗制绒设备的主要结构晶体硅清洗制绒机用于硅片在扩散前的硅片处理。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-16

表３．１国外清洗制绒整线设备生产厂商表３．２国内主要清洗制绒整线设备生产厂商（作者罗玉峰、张发云、廖卫兵）...但在全自动制绒清洗设备方面，国内已经能够制造，并接近国际水平，初步具备参与国际竞争的条件。表３．１和表３．２以下分别为国外（内）主要清洗制绒整线设备生产厂商。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-15

3．1．2晶体硅表面制绒原理硅片经过初步清洗去污后，要进行表面的制绒处理。按腐蚀液的种类不同，硅片的制绒可分为碱性制绒和酸性制绒两类。

来源：北极星太阳能光伏（独家）2012-05-14

本章主要讨论清洗制绒（碱性制绒和酸性制绒）的基本原理及其清洗制绒设备的主要结构、工艺流程、维护和发展方向。...清洗制绒作为太阳电池生产中的第一个工序，该工序主要用于硅片在扩散前的硅片腐蚀处理。目的是为了在硅片上获得表面绒面结构，这种绒面结构对提高晶体硅对光的吸收率有着重要的作用。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-08

多晶硅制绒是损伤层的去除和制绒面同时进行的，控制的主要参数是制绒深度，为保证损伤层的去除干净，制绒深度必须要够，但不能过大，制绒深度不够导致损伤层去除不净，腐蚀坑过深过窄，制绒深度过大导致腐蚀坑过大，大的不规则腐蚀坑洞较多

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-04

，在制绒过程中，会出现异常图7硅片表面因为有油污等存在，制绒后未能长出金字塔结构的绒面图8由于原始硅片手指印和有误的存在，在制绒过程中无法去除，在pecvd工序会引起色斑（作者张光春）

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-03

记者随后从多个渠道找到了几位赛维的供应商，分别来自清洗制绒、广告印刷、备品备件、办公用品甚至水处理等行业。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-27

光陷结构和表面清洗将制绒后的织构表面层使用硫酸和双氧水进行氧化，然后使用使用浓度为1%的氢氟酸进行60到180秒的腐蚀，这样可以去除缺陷层来使粗糙度降低，接近抛光硅的效果。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-26

本文主要介绍hf/hno3体系腐蚀的基本规律hf/hno3腐蚀体系在晶体硅太阳能光伏电池工艺上的应用：酸制绒、去背结和边缘结、背面抛光、选择性发射极电池图1化学反应各种反应条件对腐蚀的影响(1)添加剂的影响

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-25

2实验156156cm、电阻率0.5-3p型多晶硅片经历制绒、扩散和去磷硅玻璃后，centrotherm管式pecvd(40khz)制备sinx：h薄膜，采用sentech的se400测试监控氮化硅在633nm

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-25

图１铸造多晶磕蜀出躺醐瞎惦受损伤的硅片表面情况２．２电池的加工工艺原因２.２.１制绒工艺１）润洗污染：在多晶硅片酸制绒的生产过程中，润洗系统内部会生成不溶性盐类，在对硅片进行润洗的过程中会污染硅片的表面