太阳能电池多层膜检测难题得到解决

导语：晶硅电池的衬底需要经过制绒以提高光能的吸收，这导致了信噪比被大大削弱以及退偏影响的产生，这些问题一直阻碍着全光谱椭偏仪在晶体硅电池的运用。在SNEC展会上，系科仪器展示的太阳能电池检测工具——RISE型光谱椭偏仪，不但能更精准的对薄膜电池多层减反膜进行测量分析，同时也成功地解决了衬底制绒的晶硅电池多层减反膜的测量分析问题。

自2011以来，行业持续低迷，很多光伏企业将主要精力都放在了提升产品效率，以便使自身更具竞争力。

在提升效率过程中，之于每个工艺的控制就显得格外重要。例如，对于晶体硅电池的核心工艺的PECVD，为了既获得良好的钝化又能有更低的反射，很多厂家都推出了双层氮化硅结构;再如，如何严格监控清洗完成后自然氧化层的状态;又如，许多公司工艺部门都希望获得全波段的NK值以及精确的膜厚等等。

另外，许多著名PECVD厂商也在为如何提升自身的竞争力殚精竭虑，例如，著名管式PECVD厂商Centrotherm就推出了Centaurus技术，平板式PECVD厂商Roth&Rau也依据平板式镀膜的优势而推出了异质结结构，他们也无一例外地采用了多层膜结构。

全光谱椭偏仪自半导体时代以来，一直在各行业普遍运用。因为它具有各方面无可比拟的优势，几乎能为任何应用提供出色的测量精度。但晶硅电池不同于LCD、LED、半导体等其它行业，晶硅电池的衬底需要经过制绒以提高光能的吸收，但是，无论是多晶酸制绒形成的凹坑，还是单晶碱制绒形成的金字塔，其粒子线度都是在微米级别，对入射光具有米氏散射效应，一方面大大削弱了信噪比，另一方面又产生了退偏影响。这两方面的问题一直阻碍着全光谱椭偏仪在晶体硅电池的运用。系科光电科技(上海)有限公司，(简称系科仪器)在上海SNEC展会上成功展出的RISE型光谱椭偏仪，就成功地解决了太阳能电池检测这两方面的问题。

RISE(RotaingIncidenceAngleSpectroscopicEllipsometer)是系科仪器的可变入射角度型全光谱椭偏仪，具有卓越的整体设计，可在可见光及近红外波段(其余波段可选)快速采集数据，进行膜厚、折射率、消光系数等光学参量的分析。同时还能够分析并不理想的样品，如：具有米氏散射或瑞利散射的绒面衬底、具有背板反射的透明衬底、膜层厚度极其薄以及极其厚、非均匀样品等等。无论是吸收还是透明衬底，双层膜还是多层膜分析，皆可一键完成。

RISE同时还适用于多种领域的薄膜测量：晶硅太阳能电池、薄膜太阳能电池、半导体、微电子、触摸屏及LED等。