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太阳能光伏扩散制结设备

2012-05-22 16:06来源:北极星太阳能光伏网关键词:扩散太阳能光伏收藏点赞

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4.3扩散炉的操作过程和安全生产规范

4.3.1设备的操作方法

扩散工艺是建立在扩散炉的操作基础上的,以下简要介绍温控仪和计算机的使用。

1.温控仪的使用

一般情况下,温度目标值、升降温速率等均可在计算机上设定,其他参数由手动设置。F400、CH402(加热炉温控器)温度值可直接在计算机上设定,也可通过手动设定。

手动设定温度值(F400、CH402)的方法为:(1)按SET键;(2)按<键移位;(3)按∧键或∨键输入所需的温度值;(4)按SET键确认。

在拉恒温区的过程中,应根据标准热电偶的测量值来对相应控温段温控器的温度显示值进行修正(温控器的温度显示值为该温控器的测量值与修正值之和)。设定温度(F400、CH402)修正,以及设定报警温度值、窗口锁定等的手动操作,均可采用类似温度值(F400、CH402)的手动设定步骤进行。

2.计算机的操作使用

工艺过程中的自动进出舟、斜率升降温、分段恒温、开关电磁阀、质量流量计流量控制等步骤的工艺参数及工艺时间均可预先设置(可预置30条工艺曲线)。选定工艺曲线后,启动运行键,计算机自动按程序完成全工艺过程,并可自动监测和记录工艺过程中的全部参数。

4.3.2试运行准备

在正式开始运行工艺前,须进行以下准备步骤:

1.开启抽风排毒系统。

2.散热器通水。

3.根据工艺需要调出炉子的恒温区。

4.设置好保护温控器的报警温度值,一般以高于炉子工作温度10℃~20℃为宜。

5.装好石英反应管。

6.在外部气体接到设备之前,应确保管道里的气体纯度,最好先用气体清洗管道。接好气,打开手动阀,将减压阀的输出压力调在0.2MPa左右。

7.将装好三氯氧磷的源瓶放置在恒温槽中,并设定好恒温槽的工作温度,启动运行。

8.在计算机上编好工艺运行曲线。

9.装入工艺试验片。

10.运行工艺。

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