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4.2.2主要性能指标
使用扩散炉时须满足一定的环境要求:环境温度5℃~40℃;相对湿度<75%;海拔不超过2500m;电网电压波动不超过额定值±10%;环境洁净度不劣于1000级;有良好的抽风排毒系统,每管抽风量3000~5000L/min;无高频及较强的磁场干扰。
扩散炉的工作条件要求如下:供电方面要求使用50Hz的三相电,并须配备中线与地线,专用接地线的接地电阻≤3Ω,单台(3管)总功率≤100kW;供水方面要求使用4英寸管供自来水(水压0.1~0.3MPa)作为冷却用,另外制备去离子水用作清洗及工艺;供气方面需要使用N2、O2、压缩空气(若设备使用气动阀则需要使用压缩空气),进气压力为0.3~0.6MPa,气体纯度99.99%,气源柜、废气室、净化台及炉体柜顶部均应接入排毒、排气管道。
扩散炉的主要性能参数如下:(1)炉膛有效内径为Ф300mm(适用于6英寸方片、8英寸圆片);(2)温度控制范围为400℃~1100℃;(3)恒温区精度及长度为≤±1℃/800mm(801℃~1100℃)、≤±1.5℃/800mm(400℃~800℃);(4)单点温度稳定性为≤±1℃/4h;(5)升降温速率可控范围为爬升速率≤15℃/min、下降速率≤5℃/min;(6)具有超温、断偶、短路报警和保护功能;(7)具有自动斜率升降温及恒温功能;(8)采用碳化硅桨悬臂自动送片机构进行送片,舟速20~500mm/min连续可调,到位精度≤±10mm;(9)工艺过程由工控计算机全自动控制,可直接在触摸屏上操作,每管可存储100条工艺曲线。
4.2.3扩散炉的工作原理
图4.6系统控制原理示意图
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