登录注册
请使用微信扫一扫
关注公众号完成登录
我要投稿
以下简要介绍扩散炉的几个重要单元的结构和工作原理。
1.温控器
每管配置有3个温控器,温控器带有抑制超调功能和智能自整定PID调节系统,有多种信号输入方式,可方便地与炉体的控温热电偶组成温度控制系统,对炉体的恒温区实现精确控制。仪表窗口上方显示的是测量值,下方显示的是设定值。通过启动自整定功能,温控器能自动调整演算出一组最合理的PID控制参数。仪器各参数可手动输入,也可通过温控器提供的RS485通讯端口,与同样具有RS485通讯协议的计算机主机进行连接,计算机可通过指令自动设置并运行温度控制器的部分参数,所需的工艺参数可在触摸显示器上直接操作与显示。
2.推舟净化单元
净化单元由净化风机、初效过滤器、高效过滤器组成。启动风机,1000级的环境空气经过二级过滤器后,可获得洁净的100级水平层流净化区。一般在进出舟时,要求启动净化。这样,一方面可以为硅片进出提供高洁净区;另一方面可以将高温热气流驱散,以免灼热的气流将过滤器及净化台顶部烤焦。
推舟部分由导轨、丝杠、碳化硅悬臂桨固定座、石英炉门、不锈钢炉门及步进电机驱动系统等组成,用于在该局部高洁净区平稳地向反应管中推进、拉出工艺片。由于进、出舟的纯直线行程达1800mm,所以在运行中要求平、直、无抖动。推舟部分采用了直线导轨副配合丝杠副进行传动,直线导轨副与丝杠副在实际应用中处于平行线上,直线导轨副作导引,丝杠作传动,从而从结构上保证了固定其上的碳化硅悬臂桨及石英舟的平稳运行。
上述推舟系统的运动过程,均通过计算机进行控制,可在触摸显示器上的手动或程序自动进行。
3.加热炉
炉膛用Φ8mm电热线材绕制,其有效工作内径为Φ300mm,可放置外径为Φ280mm的石英工艺管。恒温区长800mm。炉口加有内凹台阶,并伸进炉体40mm,以防止炉内热焰直接作用于炉体端盖的不锈钢环使其氧化和变形。炉体采用主、从三段加热,分别控制。每段都设置有控制热电偶,对每段加热区进行自动控制。炉子用低压大电流供电,为了延长炉体的使用寿命,暂不用时可设置炉温为500℃~600℃自动保温,并设置好超温报警保护,以防不可预见的故障烧坏炉体。
4.功率部件
功率部件由特种变压器、空气开关、交流接触器、保险丝、可控硅等组合而成。温控器的输出信号输入到过零触发板上,产生脉冲触发功率部件中的可控硅,从而控制炉子每段的加热温度。功率变压器设置有2档工作电压,一开始设备接的是低电压的一档,当炉丝老化,电阻变大,温度升不上去时,可将控制电压换到高电压档,以保证炉
体还可继续使用。由于一般采用的是低电压供电,因此炉子的工作电流将会比较大,但一般不会超过115A,如果工作电流达到120A,可能与电网电压偏高有关系,需要引起注意。此时可用钳形电流表监测炉体加热电流,同时用小起子调节可控硅触发板上相应段的电位器,将加热电流控制在90A左右(炉口端应适当加大些,调在100A左右为好)。
5.送气单元
逆时针旋转截止阀,可打开进气通道。顺时针旋转减压阀,并根据仪表指示,可调节进气压力,一般情况下进气压力设置在0.3~0.5MPa较合适。气源柜的供电由柜子底层电气转接板上的空气开关控制,当发现控制柜某层没有电源时,应检查相应层的空气开关是否合上。
自动控制时,控制单元经PCL-726板卡送出控制信号驱动16024D-A固态继电器,再由16024D-A固态机电气驱动相应的电磁阀,经PCL-726板卡送出D/A信号控
制气体流量,同时经PCL-812PG板卡的A/D通道采样检测实际流量,所有气路的气体流量设定值和检测值均在触摸显示器上显示。
6.超温保护系统的原理
CH402及F400温控器本身均具有超温、断偶报警功能。安全起见,在恒温区中心控温热电偶的旁边,还有一支温度监测热电偶接至CH402温度保护器,专门用于超温保护。
当炉温度超过保护设定值时,超温段相应温控器(或温度保护器)的报警指示显示灯亮,计算机上也有显示,保护系统会在发出声光报警的同时切断炉体加热功率部件的电流。
7.系统温度控制原理
输入的三相380V的交流电经电源转接板后,分为4路:一路给控制柜供电,一路给气源柜供电,一路给净化台供电,还有一路则经变压器降压、可控硅整流后作为炉体的加热电源。其中控制柜和气源柜为单相供电,而净化台和炉体柜则为三相供电。
置于炉体侧壁内的3支控温热电偶将检测到的温度值分别送给相对应的温控器,温控器将热电偶测得的温度值与设定温度值比较并经PID运算后,输出相应的模拟电流值给可控硅触发器A4,A4根据各温控器控制电流的大小,分别给出相应的过零触发信号,控制3个双向可控硅的通断时间,形成对3段炉丝加热功率的独立控制,从而达到自动控温的目的。
特别声明:北极星转载其他网站内容,出于传递更多信息而非盈利之目的,同时并不代表赞成其观点或证实其描述,内容仅供参考。版权归原作者所有,若有侵权,请联系我们删除。
凡来源注明北极星*网的内容为北极星原创,转载需获授权。
北极星氢能网获悉,经国务院批准,国务院关税税则委员会21日对外发布公告,2024年将调整部分商品的进出口关税。根据公告,2024年1月1日起,我国将对1010项商品实施低于最惠国税率的进口暂定税率。其中,将降低燃料电池用气体扩散层等关键设备和零部件的进口关税,这将更好满足国内生产需要,加快推进我
中央气象台持续发布暴雨黄色预警:预计,7月17日14时至18日14时,广东大部、海南岛大部、广西东部和中南部以及苏皖中北部等地的部分地区有大到暴雨,其中,广东西南部、广西东南部、海南岛北部等地有大暴雨,局地特大暴雨(250~300毫米);上述部分地区伴有短时强降水(最大小时降雨量30~60毫米,局
6月29日,蜂巢能源基于下游整车厂客户要求,联合中国汽车工程研究院股份有限公司(简称“中汽研”)对龙鳞甲电池开展了热扩散测试,电池整包最终顺利通过热扩散测试。热扩散试验是动力电池安全测试重点项目,主要考验电池包里单个电芯发生热失控,是否造成扩散,威胁电池整包安全。在测试过程中,当加
北极星储能网获悉,6月9日,工业和信息化部副部长辛国斌在2023世界动力电池大会发布致辞指出,工信部将与有关各方共同推动动力电池技术创新,共同提升产业链、供应链稳定性和绿色发展水平,让科技创新成果更好造福各国人民。一是支持产业协同创新。发挥龙头企业和各类创新平台作用,支持上下游开展联合
4月12日,江淮汽车集团发布钇为品牌及DI平台,首款车型钇为3定位为纯电小型车,计划于今年二季度上市。钇为品牌将搭载江淮自研的零热扩散蜂窝电池,该电池采用46系列大圆柱、无极耳电芯,采用仿生学设计,可实现热隔离、电隔离及热电解耦,并实现10分钟补能300km。此外,钇为品牌还规划有钇为X3、钇为5
乌克兰能源部扩大了禁止出口商品的清单。因此与动力煤、石油和天然气一样,炼焦煤不能再从该国出口。做出这一决定是为了确保供暖季节的需求,特别是为热能发电积累足够的燃料储备;乌克兰的国家标准允许在火力发电厂、火力发电厂和锅炉房的混合物中使用炼焦煤。(来源:微信公众号“丰矿煤炭物流”ID:
文章亮点利用正渗透浓缩并回收藻酸盐驱动溶质钙离子反向扩散是有益的正渗透膜上回收物特性解析设计并制作新型的FO膜是重点研究方向文章简介资源回收是未来污水处理技术的发展方向。藻酸盐是高附加值的生物聚合物,因其凝胶强度高、增稠性好、保水能力强、有生物相容性等特点,作为增稠剂、乳化剂、稳定
由国际氢能燃料电池协会(IHFCA)提出,上海碳际实业集团有限公司、中国科学院大连化学物理研究所牵头发起的《质子交换膜燃料电池气体扩散层测试方法》标准已按《中国汽车工程学会标准(CSAE)制修订管理办法》有关规定通过立项审查,现正式列入中国汽车工程学会标准研制计划,起草任务书号为:2022-18
燃料电池的技术进步取决于材料。国产关键材料能否突破,对于国内燃料电池行业未来发展非常关键。
期中国气象局国家气候中心与生态环境部中国环境监测总站联合开展了2021年2月及3-5月大气污染扩散气象条件趋势预测会商。主要预测结论如下:一、2021年2月气候趋势预测预计2021年2月,欧亚中高纬大气环流为弱经向型环流,锋区偏北,冷空气路径偏东,强度总体偏弱。大气环流阶段性变化特征明显,上旬和下
近期中国气象局国家气候中心与生态环境部中国环境监测总站联合开展了2020年11月及2020-2021年冬季(2020年12月-2021年2月)大气污染扩散气象条件趋势预测会商。主要预测结论如下:一、11月大气污染扩散气象条件预测预计2020年11月欧亚中高纬大气环流分布有利于冷空气路径偏西,冷空气活动次数接近常年
3月14日,北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾(2025年3月10日-3月14日)。政策篇重磅!财政部印发《清洁能源发展专项资金管理办法》日前,财政部下发《关于印发《清洁能源发展专项资金管理办法》的通知,要求规范和加强清洁能源发展专项资金管理,提高资金使用效益。专项资金支持范围包括清洁能源重点
3月11日,在欧洲西北部最大的太阳能贸易展——2025荷兰太阳能光伏展上,爱旭宣布正式启动第三代黑洞系列“满屏”组件的全球量产交付。继2024年Intersolar展首次亮相后,“满屏”组件将面向全球户用及工商业市场正式量产上市。爱旭始终以极限光电转换效率为创新原点,致力于通过革新性技术持续为客户创
北极星太阳能光伏网获悉,3月6日,国能哈密集成创新新能源有限公司正式注册成立,注册资本10亿元,法定代表人赵建宁,公司位于新疆维吾尔自治区哈密市,经营范围包括风力发电技术服务、太阳能发电技术服务、新兴能源技术研发、储能技术服务、电气设备修理等。天眼查资料显示,国能哈密集成创新新能源有
3月9日,华能新能源公司完成发电量2.0189亿千瓦时,首次突破2亿千瓦时大关!今年以来,华能新能源公司坚持量价统筹,通过大力参与跨区交易缓解弃电,紧盯增量项目并网投产,持续提升存量设备发电效率和可利用率,根据功率预测科学部署抢发电量措施,实现稳价增量。截至3月9日,年累计完成发电量93.34亿
2月26日,中冶京诚与新疆恒泰绿能金属铸造有限公司举行《太阳能光伏发电制氢气在氢基竖炉加工金属球团(120万吨/年)绿色高纯精密铸件项目》签约仪式。中冶京诚党委副书记、冶金公司党委书记、总经理李铁,新疆恒泰董事长李闽峰出席签约仪式。仪式上,阿克陶县相关部门及领导表示对双方的合作高度关注
2024年,工商业分布式光伏新增装机88.63GW,同比增长68%;2060年底,工商业潜在光伏装机规模约2010GW。无论是当下开发速度亦或未来开发潜力,工商业分布式光伏无疑成为兵家必争之地。然而,随着政策的不断调整,工商业分布式光伏市场也进入新一轮竞赛。当然,制胜的关键仍然是商业模式的创新。时下讨论
3月7日,北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾(2025年3月3日-3月7日)。政策篇重磅!国家能源局圈定2025年重点工作2月28日,国家能源局召开全国可再生能源电力开发建设月度(2月)调度视频会。国家能源局党组成员、副局长万劲松出席会议并讲话。会议指出,2025年是“十四五”收官之年,也是谋划“十五
3月5日,第二十届中国(济南)国际太阳能利用大会暨第四届中国(山东)新能源与储能应用博览会在山东国际会展中心拉开帷幕。作为一家全球领先的全场景光伏和储能解决方案提供商,首航携户用、工商业、地面电站光储系统解决方案精彩亮相,与来自全球的与会者共襄新能源前沿科技盛宴,共探新能源场景应用
3月5日-7日,2025第20届中国(济南)国际太阳能利用大会暨综合能源展览会(下称“济南国际太阳能展”)在山东济南隆重开幕,华为智能光伏携全场景解决方案重磅亮相,凭借高价值解决方案及旗舰产品,成为本届展会焦点。济南国际太阳能展华为展台重磅亮相,华为成为全场“人气之王”由山东省能源局、济南
欧洲光伏协会(SolarPowerEurope,SPE)宣布启动国际太阳能制造倡议(InternationalSolarManufacturingInitiative,ISMI),旨在推动欧洲光伏产品在全球市场的需求,并增强产业竞争力。该倡议得到了8家欧洲制造商的支持,涵盖设备、组件、支架系统、逆变器及系统连接解决方案等多个领域。目前已参与ISMI的企
3月5日,在第二十届中国(济南)国际太阳能利用大会暨展览会上,TCLSolar新品牌推荐BC新品发布会隆重举行,全新形象首次亮相国内市场,超高价值BC组件直击效率巅峰,为分布式应用场景带来更优解决方案。品牌形象全面升级三大革新赋能分布式光伏作为重塑全球能源格局的黄金赛道,正以年均25%的复合增长
近日,国内权威的第三方认证机构北京鉴衡认证中心(以下简称“鉴衡认证”)发布了隆基BC二代技术Hi-MO9组件产品海南实证项目报告。■Hi-MO9组件海南实证项目数据显示,应用了BC二代技术的Hi-MO9组件,在户外正常发电量、局部遮挡发电量、立柱遮挡发电量三个核心维度全面领先TOPCon组件,累计单千瓦发
3月13日,协鑫新能源发布公告,宣布终止与承包人签订的EPC协议。公告指出,由于交易方案变动、埃塞俄比亚的许可要求以及工程建设条件尚未满足,导致无法继续进行该协议下的交易。根据终止协议,双方一致同意终止EPC协议,并确认在协议履行及终止过程中没有出现违约、损失或不利影响的情况。截至公告日
3月11日,石英股份发布澄清公告。一、传闻简述2025年03月10日上午,江苏太平洋石英股份有限公司(以下简称“公司”)关注到网络平台发布了关于公司购买甘肃新石英矿的传言,为便于投资者理解和辨别,公司作出澄清说明。二、澄清声明2025年03月06日,公司与甘肃省天水市麦积区签订了投资意向协议,非传
近日,欧盟委员会公布了《清洁工业协议国家援助框架》(CISAF)草案,并启动了公众征求意见程序。该草案将为欧盟成员国提供投资支持,助力能源转型。欧盟于今年2月正式启动《清洁工业协议》,计划投入1000亿欧元推动欧盟的能源转型。根据拟定的国家援助框架草案,欧盟成员国可获得以下支持:可再生能源与
3月11日,韶关武江龙归镇政府与韶关广发光伏发电有限公司正式签署韶关市鸿福新材料科技有限公司分布式光伏发电项目招商协议。据悉,此项目是武江区城乡融合产业园首个光伏项目,总投资3200万元人民币,计划利用鸿福新材料公司约4.72万平方米的厂房及车棚屋顶,建设总容量为5.9MW的分布式光伏发电系统。
3月14日,北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾(2025年3月10日-3月14日)。政策篇重磅!财政部印发《清洁能源发展专项资金管理办法》日前,财政部下发《关于印发《清洁能源发展专项资金管理办法》的通知,要求规范和加强清洁能源发展专项资金管理,提高资金使用效益。专项资金支持范围包括清洁能源重点
2月5日,南通市人民政府关于印发南通市推动科技服务业高质量发展实施意见的通知,通知指出,大力发展光伏、风电、高端装备等专业设备检修与运维技术服务。原文如下:各县(市、区)人民政府,市各直属园区管委会,市各委、办、局,市各直属单位:《南通市推动科技服务业高质量发展实施意见》已经市人民
3月11日,广东肇庆市高要区人民政府印发《肇庆市高要区碳达峰实施方案》。其中提到,大力推进“新能源+储能”项目建设,落实“新能源+储能”标准配置政策,2023年7月1日以后2025年以前新增并网的集中式光伏发电、陆上集中式风电,按照不低于发电装机容量的10%、时长1小时配置新型储能。2025年及以后首
3月14日,InfoLink发布最新硅料、硅片、电池组件排产情况。硅料二月硅料产出约10万吨,三月工作天数相对二月增加,新增产量预计达10.8-10.9万吨,以硅耗量2,000吨/GW折算,约合54.0-54.5GW,环比上升约6-7%,符合预期;硅料跟拉晶的需求呈现产销平衡的态势。后续须格外注意新政策规划。有市场消息指出
截至3月4日,由国网信通股份中电启明星承建的虚拟电厂运营平台已在巴中市平稳运行2个多月,完成充电站、换电站、工商业中央空调柔性负荷、公共照明等行业终端接入,总接入负荷达到5.9万千瓦,聚合可调节负荷达3.8万千瓦以上。2024年12月24日,巴中市虚拟电厂上线启动暨虚拟电厂管理中心在国网巴中供电
请使用微信扫一扫
关注公众号完成登录
姓名: | |
性别: | |
出生日期: | |
邮箱: | |
所在地区: | |
行业类别: | |
工作经验: | |
学历: | |
公司名称: | |
任职岗位: |
我们将会第一时间为您推送相关内容!