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4.3.3常用的扩散工艺
扩散工艺的一般操作程序如下:
1.按试运行的10个步骤做好各项准备。待检查无误后,可按顺序合上总空气开关上电,合上每层的电源开关,开启计算机。此时控制系统自动启动,并完成以下初始化动作:关闭电磁阀,清除流量信号,清除舟信号。在工艺过程中,须保持计算机主机及显示器的电源始终处于开启状态。
2.在计算机上设置好工艺步骤及工艺参数。
3.按下炉体加热“开”按钮。
4.装入工艺片。
5.待炉温稳定后,按下计算机上的运行按钮。
4.3.4注意事项
在扩散炉的操作过程中,须注意以下事项:
1.装片和取片时按下控制柜前下方面板上的“净化”按钮,可在操作台范围内形成高洁净区。需打开照明灯时可按下控制柜前下面板上的“照明”按钮。需开启加热炉排风扇可按下控制柜前下方面板上的“排风”按钮。
2.控制柜面板上“消声”按钮的作用是当扩散炉出现故障、蜂鸣器发出声光报警时,按下按钮使蜂鸣器不再发声。但并不表示故障已经解除,必须在排除故障后将其松开。
为确保扩散炉处于警戒状态,在正常工艺时,须保持该按钮不被按下。
3.急停按钮是当进、出舟出现意外时,手动暂停步进电机转动用的,在正常工艺时应保持该按钮不被按下。
4.碳化硅悬臂桨的位置调好后,其支撑板上的上下、前后以及端头的调节螺钉均不得再随意调节,否则在进出舟过程中易造成石英隔热挡片以及工艺片的损坏,严重的还会直接损坏石英管和碳化硅悬臂桨。
5.主送气管道在接入设备前应先排空,再通入纯净高压气体吹洗干净,否则管道内的不洁净物质会引起气路元器件的堵塞及损坏。
6.压缩空气、氮气、氧气等各种气体的进气压力设定值均应调在0.3~0.5MPa之间,太小会使得气动阀难以开启及使质量流量控制器流量显示不稳定,太大则有可能损坏气路元器件。
7.炉子升温前须先开循环冷却水,否则会引起环境温度升高,致使恒温区出现偏差,并造成炉体加热柜顶部的排风扇损坏。
8.需要关闭整机时,不能简单切断电源。必须首先关闭各路气源,然后关闭计算机系统(要求在屏幕上出现“安全关闭计算机”字样),再关闭面板电源开关,关闭循环水(关闭循环水时要求炉体温度低于600℃),最后关闭总电源。
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