太阳能光伏扩散制结设备-第11页-北极星太阳能光伏网

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4．3．5安全生产规范

１．安全保护

为了保障安全生产，保证设备稳定运行，须做好以下的安全保护措施：（１）设备一定要有良好的接地。（２）灌装扩散源三氯氧磷时，必须在有良好的通风条件下进行。（３）当扩散炉出现报警时，必须在彻底排除故障后，方可重新开机。（４）进行扩散工艺时，炉口废气室、源柜的排气口，一定要与排风系统相通，保证抽气畅通。（５）进入自动保温状态前，要求设置的最高报警温度小于１１００℃。

２．化学品的安全使用

在扩散制结的工艺中，使用的三氯氧磷（ＰＯＣｌ３）具有易燃易爆的性质，所以必须格外小心。三氯氧磷（ＰＯＣｌ３）又称氧氯化磷，相对密度１．６７，熔点１．２５℃，沸点１０５．１℃，室温下为无色透明液体，有刺鼻味，在潮湿空气中发烟，遇水发生剧烈分解。使用三氯氧磷时必须注意：（１）三氯氧磷的灌装必须在通风良好的操作柜中进行。清洗源瓶前应先倒尽残液，以防发生爆炸。从气路中取下源瓶时先将源瓶进出口上的针阀旋紧好，当不小将源瓶损坏或将源漏在气路板上时应立即处理。在灌源时要将源瓶移到恒温槽外，不要将源溢到恒温槽里，否则将容易造成恒温槽不能正常使用。将装好源的源瓶接入气路中，在运行工艺前一定要打开源瓶上进出口端针阀，尤其是出口端一定要打开，若只打开进口端则容易造成炸瓶的现象。（２）进行扩散时，炉口要有通风罩，通源（即三氯氧磷）前要先开动排风电扇。（３）操作时必须戴好手套及防护面罩，工作完毕后，手套必须用水冲洗干净后才能脱掉。（４）如发生三氯氧磷外溢，应立即擦拭干净，并暂停运行工艺，仔细检查源瓶是否有破损。

4．4扩散炉的维护和保养

4．4．1扩散炉的故障维护

扩散源部分出现故障时，应先关闭相应气路的手动阀，并暂停工艺运行，待确定排除故障后才能继续进行后面的工艺。炉子超温，会自动切断加热部分的电源并发出声光报警，此时应先查找原因，待故障处理后再重新开启加热部分的电源。