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二、主要产品用途及特点
三、主要产品工艺流程
(一)单晶硅拉棒生产工艺
单晶硅棒生产以多晶硅料或回收硅料作为原料,经前处理去除表面杂质、单晶控制等环节加工而成,然后作为单晶硅片切割生产原料。单晶硅棒生产工艺流程图如下:
备料:将各种硅原料先采用电阻率型号仪分选进行分档,再用表面喷砂、打磨,然后进行超声波纯水清洗、甩干、烘干等处理方法,使各种硅原料达到单晶硅生产工艺的硅原料要求(电阻率型号明确,硅料表面洁净无杂质,无氧化);
配料:将各种处理好的不同电阻率型号硅原料按规定工艺要求按照一定比例进行配比,同时按照硅单晶的目标电阻率准备好需要掺杂的Si-B合金;
投料:将配好的洁净原料,在洁净环境中按照硅原料大小形状搭配投入石英坩埚中;
单晶拉制:分抽真空、化料、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉、冷却等环节,出炉即为单晶硅棒。
(二)多晶硅铸锭生产工艺
多晶硅锭生产以多晶硅料或回收硅料作为原料,采用定向结晶法制造。
配料:硅原料处理方法同单晶硅原料的处理方法,将各种处理好的不同电阻率型号硅原料按照一定配比进行配比;
坩锅喷涂及烧结:对检验合格的坩埚,加热后用氮化硅溶液均匀的喷涂在坩埚的内壁,在烧结炉中经过最高1050℃约24小时烧结,冷却后待用;
装料及搀杂:按照铸锭工艺要求的目标电阻率掺杂定量的Si-B合金;以求达到需要的电阻率,并将各类原料按照特定的方法,装入坩埚;
多晶铸锭炉熔铸:将装好料的坩埚,平稳吊装入多晶铸锭炉中装好相关的辅助石墨配件,进行抽真空,熔料,长晶,退火,冷却,停炉等环节;
出锭:用行车将成型的多晶锭吊出炉腔,冷却后脱模入库。
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