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6.4.4PECVD制作工艺步骤
完成了该设备之前的调试和各个部分的检查之后,在制作薄膜过程中必须理解该工艺的基本步骤和程序。PECVD的工艺步骤流程如图6.3所示。装好基片后自动进舟,进舟到位后对工艺管抽真空,恒温一段时间后进行工艺淀积,这一步是关键工艺,在此过程应保持温度、压力、流量、高频功率等参数的稳定性,淀积工艺完成后再清洗、充氮,保证残余气体未留在反应管内,最后退舟、卸片、装片,进行下一循环,整个工艺流程约半小时。
图6.3PECVD工艺的流程图
6.5PECVD设备的故障分析和维护保养
6.5.1PECVD设备的故障分析
由于该PECVD是一种特殊、专业性很强的设备。它集机械、电子、高频、计算机、真空、气体、传动及温度控制为一体,如使用得当,经常维护,就不容易出故障。如不按使用说明书严格操作,可能会出错,严重时可能会损坏设备,甚至出现人身事故。该设备常见故障分析及其排除方法见表6.4。
表6.4见故障分析与排除
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11月29日,金辰股份发布关于部分募集资金投资项目增加实施主体、实施地点及延期的公告。(一)年产40台(套)隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目增加实施主体、实施地点及延期的情况及原因公司拟增加募投项目“年产40台(套)隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目”
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4月26日,三峡集团2024年光伏固定支架框架集中采购(第一批次)中标结果公布,第一中标人江苏中信博新能源科技股份有限公司、第二中标人金海新源电气江苏有限公司、第三中标人江苏威尔五金股份有限公司、第四中标人江苏国华管塔制造有限公司、第五中标人江苏火蓝电气有限公司。本项目为三峡集团2024年
4月26日,北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾(2024年4月22日-4月26日)。政策篇加速入市!31省区市光伏上网电价作为系关光伏项目收益的关键因素,上网电价受到业内外的高度关注。纵观我国光伏上网电价政策,自2008年商业化电站启幕,历经核准电价、特许权竞价、标杆电价、指导电价+竞争电价多个阶段
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