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6.5.2PECVD的维护保养
要正确规范地使用该设备,除了使用前进行必要的调试、使用过程中的正确操作之外,还需要对该设备定期进行保养及其维修,一般分为以下几个方面:
1.保持真空度。工艺完成后,不继续做工艺时,必须保持工艺管内为真空状态,每天做工艺时可查看各真空压力表读数,以便确定工艺管密封是否良好。
2.保护气路。在做完工艺后,必须按说明书要求去操作。当环境温度较高时,产生的反应物会堵塞质量流量计,所以千万不要让工艺气体留在管路中。
3.保护罗茨泵机。为了保护罗茨泵机组的寿命,要经常更换机械泵油,只要油泵观察窗发现油黑了就必须更换。设备用在生产线上一般5天必须更换一次油(干泵机组例外)。
4.定期进行酸洗。为了良好的工艺、优良的沉积膜,工艺管要定期进行酸洗,在生产线上至少一个月洗一次。
5.全面检查设备。一个季度对设备进行一次性能的全面检查,检查各种功能是否正常可靠。
6.保持环境温度。本设备必须有良好的工作环境,环境温度必须在20℃以下,由于SiH4的燃点非常低,在常温下会自燃,在28℃以上会发生反应,所以必须定期检查环境温度。
7.保持罗茨泵排风管道的畅通。罗茨泵的排风管道必须畅通,而且管路也不能太长,否则由于排气不畅而发生爆鸣,严重时油泵观察窗会爆破。因此要定期进行检查排风管道的畅通工作,工艺完成后要对通道进行排风。
8.罗茨泵轴承加油嘴必须保持始终有油。(作者罗玉峰、张发云、廖卫兵)
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1月12日,金辰股份发布公告称,公司非公开发行A股股票募集资金金额不超过100,000万元(含100,000万元),将主要用于“金辰智能制造华东基地项目”及“高效电池片PVD设备产业化项目”,募集资金投资项目主要围绕公司主营业务展开。(一)金辰智能制造华东基地项目公司拟在江苏省苏州市太湖国家旅游度假
11月29日,金辰股份发布关于部分募集资金投资项目增加实施主体、实施地点及延期的公告。(一)年产40台(套)隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目增加实施主体、实施地点及延期的情况及原因公司拟增加募投项目“年产40台(套)隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目”
9月23日、24日,2022年光伏新时代论坛暨第十一届“北极星杯”2022年度光伏影响力品牌评选颁奖典礼在南京举行,光伏产业链企业、行业机构、发电集团、资深专家等一百多家企业和机构代表参加了论坛活动。福建金石能源有限公司战略副总裁金屹应邀出席,产线项目部总经理庄辉虎受邀作《大腔室PECVD对异质结
2022年,由于光伏技术的逐渐成熟,产品加速从P型向N型的过渡。从光伏技术发展角度来看,TOPCON和异质结是目前热点。业界通常认为:TOPCON是面向过去的技术,表现为和传统电池PERC兼容性较好,兼容PERC设备,设备投资成本也低;异质结面是向未来新技术,效率更高,发电能力更强,未来还可以发展钙钛矿/
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TOPCon是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触太阳能电池技术,2013年由德国Fraunhofer太阳能研究院首次提出。TOPCon电池结构为N型硅衬底电池,在电池背面制备一层超薄氧化硅,然后再沉积一层掺杂硅薄层,二者共同形成了钝化接触结构,有效降低表面复合和金属接触复合。计算表明,TOPCon电池
近日,隆基绿能科技股份有限公司西咸新区分公司隆基股份中央研究院一期中试项目环境影响评价公众参与第一次信息公告。公告显示,隆基绿能科技股份有限公司西咸新区分公司将在“陕西省西咸新区泾河新城永乐镇北流村、南流村,原点大道以南,泾干三街以北,原点西一路以西,原点西二路以东”范围内建设12
北极星太阳能光伏网获悉,12月29日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称“中微公司”)发布公告称,公司拟以上海理想万里晖薄膜设备有限公司(“理想万里晖”)投前估值36亿元为交易价格,以公司自有资金现金方式向理想万里晖投资1亿元人民币,交易价格在评估结果32.99亿元的基础上溢价9.12%,认购理想万里晖新增注册资本424.0028万元人民币,公司持股比例由3.6929%增加至4.7735%。
日前,安徽华晟新能源宣布与薄膜设备制造商上海理想万里晖达成了一项全新的战略合作,双方致力于开发大产能异质结专用PECVD设备。据介绍,双方团队计划在10层CVD设备上采用新技术进行量产及工艺可行性方面进行研究,开发更低成本、更大产能的CVD设备。目前,华晟正在做前期厂务动力设施的施工准备工作,设备计划于今年11月份搬入现场。
金辰股份与晋能科技携手合作开发新型HJTPECVD工艺及电池技术。
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近期,中国科学院合肥物质科学研究院固体物理研究所能源材料与器件制造研究部研究员潘旭团队、中国科学技术大学教授肖正国课题组合作,在钙钛矿太阳能电池研究中取得进展,制备出理想带隙为1.33eV的铅锡混合钙钛矿作为太阳能电池吸收层,通过定向锚定策略(STA)对钙钛矿空位缺陷进行精确钝化处理,获
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2020年9月21日,中国可再生能源学会光伏专业委员会(CPVS)在昆明举行的2020中国可再生能源学术大会暨第二届云南绿色能源国际论坛上发布了2020年太阳电池中国最高效率(CPVSBestResearch-CellEfficiencies)。(来源:微信公众号“中国光伏专委会”)2020太阳电池中国最高效率表*(t),totalarea;(da),de
6月23日,我国成功发射北斗系统第55颗导航卫星,这也是北斗三号系统最后一颗全球组网卫星。自此,北斗三号全球卫星导航系统星座部署完成,历时20多年的北斗导航系统建设完美收官。据了解,其中太阳电池阵是卫星的唯一供电能源,蓄电池组是卫星储能装置。(来源:微信公众号“元一能源”)上午9点43分,
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近日,山东电建一公司新能源公司市场开发传来捷报,中标国家首批“沙戈荒”大型风光基地——华能陇东能源基地庆阳风光综合新能源示范项目首批A1、A2风光项目两个光伏标段,实现陇东能源基地“5连中”、中标总容量“破百万千瓦”,为2024年高质量发展注入一针“强心剂”。华能庆阳风光综合新能源示范项
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随着全球能源结构的深度转型,光伏发电正逐步成为绿色能源领域的中坚力量。在这背后,如何确保光伏组件的性能与效率,始终是业界关注的焦点。传统的光伏组件测试方法不仅需要复杂的设备,还伴随着繁琐的操作流程,已成为制约光伏行业进一步发展的瓶颈。为了突破这一难题,便携式光伏组件测试仪应运而生
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