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太阳能光伏PECVD镀膜设备

2012-05-24 11:09来源:北极星太阳能光伏网关键词:PECVD太阳电池光伏收藏点赞

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2.真空调试

下面简单介绍真空调试的几个步骤:

(1)通上电见“常压”指示灯亮时步进电机前进,直至自动停止运行,这时用一张薄纸试端板是否压紧,根据需要调节推舟座,推舟座在X、Y、Z三个方向上均可调节。

(2)开滑阀泵时气动蝶阀也自动打开。

(3)打开慢抽,可听到电磁阀的响声,这时慢抽通道已被打开。

(4)给电磁挡板阀加6.3公斤以下的压力,再打开主抽阀,待几秒钟后真空度急速上升,约10分钟就可降至10Pa以下。

(5)打开罗茨泵,在3分钟之内真空度即可降到10Pa以下,甚至可抽到1Pa以下。

(6)在真空度到达1Pa以后,关掉主抽阀和慢抽阀,再停罗茨泵后停滑阀泵。

(7)这时根据压力显示仪的压力变化,按时间计算出压升率应≤3Pa/min,否则按上

例原则反复抽真空。

3.推舟调试

推舟过程分为9个过程,依次如下:

(1)水平行程开关共3个,其用途分别是:“后退到位”为推舟后退停止的位置,此位置前后精确度要求不高;“缓冲位”提供水平推舟的增减速的位置,以及开始垂直升降的一个位置,此位置前后精确度要求不高;“前进到位”为提供前进到位信号,是石墨舟与电极连接杆相对接的一个位置,因此此位置要求精确。以上3个位置信号要求保证可靠,否则将导致损坏石英管或推舟系统的后果。

(2)垂直行程开关为一个,即“下位”,提供垂直升降的最下位和给旋转编码器提供归零信号。此位置的确定,以推舟系统悬臂杆离石英管有一定安全距离为准,约5mm以上,同时悬臂杆要能顺利退出。此位置要求精确,否则导致损坏石英管。旋转编码器提供了垂直升降的“中位”和“上位”,“中位”和“上位”的相对点是“下位”,可以在软件里调整,一般不需调整。旋转编码器与丝杆的连接必须为十分可靠的连接,否则会损坏石英管。

(3)汽缸有4个到位信号,“旋转关到位”、“旋转开到位”、“汽缸进到位”、“汽缸退到位”,以上4个信号必须可靠,否则会损坏石英管或石墨舟。

(4)完整“送片”动作的前提是“常压”、“后退到位”、“上位”、“炉门开到位”、“气缸退到位”的条件都满足时才能启动。如果有任何一个条件不满足,请“手动”让各个部件到达相应位置。

(5)完整的“取片”动作前提是“常压”、“后退到位”、“下位”、“炉门开到位”、“气缸退到位”的条件都满足时才能启动。如果有任何一个条件不满足,请“手动”让各个部件到达相应位置。

(6)“手动”情况的各个分解动作要注意石英管与石墨舟的安全,其中“水平推舟”只会在“前进到位”和“后退到位”时才会自行停止,在缓冲点不会自行停止。“垂直升降”只会在“下位”和“上位”时自行停止,在中点不会自行停止。

(7)悬臂杆调成水平的,而不是将石墨舟调成水平,这样更有利于减少由于悬臂杆上、下变形引起的影响。

(8)在每次设备重新上电时务必将推舟系统手动复原至“升降下位”和“推舟退到位”,其中操作一次“升降下位”是为了升降舟软件归零。

(9)在“常压”指示灯亮时,推舟无任何卡壳现象,无任何异常声音为正常。

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