来源：北极星太阳能光伏网2024-05-23

2、硅片地块废气：硅片清洗、硅块碱抛、厚片清洗等工序产生酸雾废气经二级碱喷淋处理后由25米高fq2-1排气筒排放；硅块粘棒房工序产生有机废气经二级活性炭处理后由25米高fq2-2排气筒排放；切片工序产生的粉尘经旋流湿式除尘后由

来源：捷佳伟创2023-11-27

发布会下半场，捷佳伟创各事业部研发负责人发布了最新的机台设备，包括硅片清洗一体机、plus系列湿法设备、hjt电池大产能pecvd设备、5in1钙钛矿电池镀膜设备、钙钛矿电池涂布设备以及钙钛矿电池激光划线设备

来源：苏州晟成光伏2022-07-26

晟成光伏高效节能topcon电池镀膜设备，基于智能制造设计理念，采用具有自主知识产权的硅片清洗技术、pecvd&pvd结合的新型工艺路线及动态镀膜技术，实现topcon电池生产工艺中的界面氧化物生长、本征多晶硅沉积及磷元素原位掺杂三大核心环节高效低能耗生产

来源：摩尔光伏2020-03-24

1.引言（来源：微信公众号“摩尔光伏”）硅片清洗工序是将线锯机床切割完毕的硅片从玻璃上脱离下来，将胶条去除后，将硅片清洗干净并分选出等级。清洗设备主要是预清洗机（脱胶机）和清洗机。

来源： 光伏领跑者创新论坛2020-02-11

除此之外，晶体硅太阳能电池生产过程中还涉及其他非关键的自动化等设备，如自动化装卸片机和自动化上下片机、硅片清洗设备等。al-bsf光伏电池片制造环节需要用到六大设备，这些设备均有国内供应商。

来源：摩尔光伏2018-05-28

金刚线切割单晶硅片清洗工序是将线锯机床切割完毕的硅片从树脂板上脱离下来，将胶条去除后，将硅片清洗干净。清洗设备主要是预清洗机(脱胶机)和清洗机。

来源：北极星太阳能光伏网2015-05-11

宝群电子科技（上海）有限公司展示的全自动超声波硅片插片清洗机，是国内唯一实现单晶硅片金刚线切量产的全功能自动生产设备,主要功能为插片、清洗、烘干、分选及片篮回收系统和远程供液系统，同时可配置全自动硅片包装机组成一条完整产线

来源：中国光伏测试网2014-07-15

组件的生产是经过电池片的生产，包括硅锭，线切割，硅片清洗，扩散制结，等离子刻蚀，去磷硅玻璃，减反射膜制备，丝网印刷，烧结，检测分级，这期间由于通过单片功率测试和删选，隐裂的几率比较小。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-31

产品信息： 半导体清洗设备；硅片腐蚀清洗机；硅片清洗甩干机；滴定台；石英管清洗机等。

来源：绿色能源2013-11-07

首先是组件层压等设备，开始国产化，并形成了诸如秦皇岛这样的产业集聚区，然后，是硅片清洗、扩散炉、丝印机、烧结机等电池片生产设备的国产化，再后来就是铸锭炉、开方机等硅片生产设备的国产化。

来源：SEMI2013-04-07

通过观察硅锭生长制造工艺，硅片切片以及硅片清洗可以明显的看出该趋势。到2020年，多晶硅和单晶硅硅锭的生长将比2010年分别增加45%和20%(见图3)。线锯产出将在如图4所示的时间内增加50%。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-11-30

水晶pv太阳能光伏电池的生产包含几个关键的步骤：首先是硅片清洗和同质化处理，然后再进行扩散，接着进行去磷硅玻璃和减反射制备，最后进行合金化处理。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-20

激光刻槽埋栅电池的大致工艺流程为：硅片-清洗制绒-淡磷扩散-热氧化钝化-开槽-槽区浓磷扩散-背面蒸铝-烧背场-化学镀埋栅-背面电极-减反射膜-去边烧结-测试。(作者：和海一样的新能源)...如图所示，发射结扩散后，用激光在前面刻出20m宽、40m深的沟槽，将槽清洗后进行浓磷扩散，然后槽内镀出金属电极。电极位于电池内部，减少了栅线的遮蔽面积，使电池效率达到19.6%。

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-18

太阳能硅片的清洗很重要，它影响电池的转换效率，如器件的性能中反向电流迅速加大及器件失效等。因此硅片的清洗很重要，下面主要介绍清洗的作用和清洗的原理。

来源：solarzoom2012-06-11

所用硅片为5英寸n型cz片，晶向为(100)，电阻率0.5～3cm，厚度约200~220m。制绒之前先采用rca法清洗硅片，用以确保制绒的均匀性。最后用1%的hf溶液去除硅片表面的氧化层。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-30

三洋双面hit电池结构图晶硅/非晶硅异质结结构：增加开路电压，提高转换效率光伏技术：hit电池工艺制程1.硅片清洗制绒2.正面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和p型非晶硅薄膜3.背面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和

来源：OFweek2012-05-24

一般的自来水和普通的蒸馏水中都含有一些杂质离子如钠离子、钾离子、镁离子、钙离子、氯离子、硫酸根离子、碳酸根离子、硅酸根离子、氨分子等杂质，而硅片的清洗过程要求高纯度的水，这样才能达到硅片清洗的要求。

来源：慧聪清洁网2012-05-07

期间，上海白猫专用化学品有限公司主管文玲娜就太阳能硅片清洗的研究应用同现场与会人员进行了全面交流与讲解！图1 上海白猫专用化学品有限公司主管文玲娜各位专家、各位同仁，大家好！...清洗这道工序在整个硅晶片生产流程中占的时间并不长，但这一步非常重要，如果片子上哪怕只有一个点没有洗干净，出现了污渍，整个硅片相当于废片，没有镶嵌到电池板上，会影响整个电池板的效率，太阳能电池厂家一直非常重视这块的效率

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

一.硅片的化学清洗工艺原理硅片经过不同工序加工后，其表面已受到严重沾污，一般讲硅片表面沾污大致可分在三类：a.有机杂质沾污：可通过有机试剂的溶解作用，结合超声波清洗技术来去除。

来源：《光伏信息报》2011-11-14

很多企业开发并生产硅片清洗设备，所以目前市面上有多种用于太阳能硅片清洗的工艺，比如超声清洗法、rca标准清洗、兆声清洗法、高压喷射法、离心喷射法、等离子清洗、气相清洗、激光束清洗等等，形成了百花齐放的势态