来源：北极星太阳能光伏网2023-06-28

249,988.80 万元（含本数），扣除发 行费用后的净额拟投资于以下项目：本募投项目的产品应用领域为光伏行业，主要产品为 hjt 电池 4 道工序中的核心 设备、光伏组件及光伏自动化设备，具体包括制绒清洗机、pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2023-06-25

合同标的为topcon电池设备，包括但不限于ald设备、peald设备、pecvd设备、管式扩散氧化退火炉等。设备交付时间为2023年7月10日开始到货，60天完成设备全部到货。

来源：北极星太阳能光伏网2023-06-14

topcon电池设备，包括但不限于ald设备、peald设备、pecvd设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等，设备交付时间为2023年6月30日，第一台设备进厂，后续按照双方约定陆续交付。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2023-06-05

正猛攻组件市场的通威太阳能，在 topcon 技术路线方面，基于自主研发成功的行业首条大尺寸 pecvd poly 技术产线，全面推出 tnc 电池产品，预计2023年下半年产能将达到 25gw。

来源：英孚康2023-05-30

目前已经实现包括生长炉、泛线切类设备、清洗机、扩散炉、刻蚀机、pecvd、电池片自动化设备、串焊机、层压机等设备的全面覆盖。

来源：集微网2023-05-19

而与普通pid温控器不同，半导体生产设备中许多环节，比如扩散、氧化、刻蚀、pecvd等过程使用的串级温控器需要高端复杂调节算法，以此来应对半导体设备中温度控制滞后较大且扰动多等问题。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2023-04-27

在n型赛道上，通威是业内最早一批投入gw级 hjt和topcon中试线的企业，2022年，基于自主研发成功的行业首条大尺寸 pecvd poly 技术产线，通威推出 tnc电池；hjt技术方面，通威建立了行业首条

来源：一道新能2023-04-17

经标委会委员充分讨论，由北方华创牵头、一道新能等单位参编的semi标准“管式pecvd用石墨舟材料技术指南”成功立项，通过标准支撑，助推光伏行业长期健康可持续发展。

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-10

为了进一步延展嘉拓智能产品线，在协同公司材料设备需求的同时服务光伏领域客户，嘉拓智能通过控股子公司东莞嘉拓日晟智能科技有限公司发起设立无锡嘉拓，生产光伏电池片关键工艺设备，主要包括：离子注入机、管式pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-06

中国电科四十八所产品业务涵盖新能源光伏设备包括扩散炉、pecvd、电池片分选机、硅片分选机等；光伏产品涉及单多晶组件、柔性组件等。

来源：中来股份2023-03-29

由于市场上lpcvd/pecvd技术存在绕镀，需要额外的环节进行绕镀去除，绕镀去除的不确定性会增加漏电、黑边等不良风险。

来源：北极星太阳能光伏网2023-03-27

最重要的是，双异质结hdt2.0技术的研发是在金石能源自主pecvd、pvd设备上进行，从hdt1.0技术升级到双异质结hdt2.0技术几乎没有障碍，而金石能源已推出大腔室单线1gw产能异质结电池产线，

来源：InfoLink2023-03-24

虽然lpcvd路线技术成熟以及钝化效果极佳，但是产能低以及较高的石英件成本让行业并未放弃pecvd路线的研究，随着通威和天合pecvd路线在效率和良率上的不断突破，叠加pecvd产能高导致的潜在成本优势

来源：北极星太阳能光伏网2023-03-21

正面氮化硅、pecvd 背面氮化硅等电池设备及光伏组件设备。...正面氮化硅、pecvd背面氮化硅等电池设备及光伏组件设备，预计签订合同总额共计9929万元(人民币)。

来源：北极星太阳能光伏网2023-01-12

1月12日，金辰股份发布公告称，公司非公开发行a股股票募集资金金额不超过100,000万元（含100,000万元），将主要用于“金辰智能制造华东基地项目”及“高效电池片pvd设备产业化项目”，募集资金投资项目主要围绕公司主营业务展开

来源：明阳集团2023-01-10

通过大片化、薄片化、半片化制程，结合创新i-in-p pecvd工艺路线，集成整线mes智能系统，进一步提升了太阳能电池的转换效率、良率、产能，同时降低了生产成本。

来源：北极星太阳能光伏网2022-11-29

pecvd设备项目”的实施主体、实施地点并延期。...（二）光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目延期的情况及原因结合目前公司“光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目”的实际 建设情况和投资进度，在募集资金投资用途及规模不变的情况下

来源：集邦新能源网2022-10-28

主要分歧在隧穿层及多晶硅镀膜工艺上有所区别，目前的主流工艺是lpcvd+磷扩；pecvd工艺优势明显，目前正处于产业化验证期；pvd法主要是中来在布局，peald主要是通威、微导在主导。

来源：金石能源2022-09-28

，并重点介绍了金石能源大腔室pecvd设备对于加速异质结（gw级）规模产业化的重要作用与意义。...经测算，金石能源7.0 pecvd设备与常规的600mw机型相比，设备能耗可省30%，特气耗量省25%，占地面积省17%，产线利用率高，厂房基建及厂务投资减少15%。

来源：北极星太阳能光伏网2022-09-24

据了解，pecvd设备是异质结电池生产线中价值最高的设备，实现pecvd设备降本增效有助于加速异质结规模产业化应用。...经测算，金石能源7.0 pecvd设备与常规的600mw机型相比，设备能耗可省30%，特气耗量省25%，占地面积省17%，产线利用率高，厂房基建及厂务投资减少15%。