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多晶硅冷氢化生产工艺探讨(上)

2012-07-05 15:16来源:北极星太阳能光伏网关键词:冷氢化多晶硅太阳能收藏点赞

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二、冷氢化工艺原理:

目前国内的冷氢化技术主要分为两种,一种就是传统意义上的由H2、硅粉、STC作为原料在催化剂的作用下及中温高压条件下生产TCS的冷氢化技术,其反应原理如下:

另一种是在传统冷氢化技术上引入回收HCl生产TCS的方法,即氯氢化技术。其整合了三氯氢硅合成和冷氢化两者的特点,可看作是传统冷氢化工艺的衍生和优化,将回首HCl得到充分的利用。其反应原理如下:

不论是传统的冷氢化生产技术还是改良后的氯氢化技术,其主要生产工艺流程和设备基本是相同的。

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