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太阳能光伏刻蚀清洗设备

2012-05-23 15:43来源:北极星太阳能光伏网关键词:刻蚀太阳能光伏收藏点赞

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3.主要技术指标

(1)刻蚀介质掺杂硅、氮化硅

(2)刻蚀部位5英寸,6英寸方片周边

(3)装片量300片/批

(4)射频电源13.56MHz,100~1000W连续可调

(5)气路系统手动,1路浮子流量计,2路质量流量计

(6)抽气系统2X-15机械泵,工作压力自动控制

(7)刻蚀速率Si3N450nm/min掺杂硅200nm/min

(8)批间时间25min

(9)电源3N,380V,50Hz,5kW

(10)周边刻蚀不均匀性±5%

4.使用方法

(1)在工艺开始前设定好功率值、流量值以及各步的时间,以后只要待刻蚀硅片的膜厚不变,各参数值不必重新设置。如果想改变某些工艺参数,如压力、流量和功率值,则必须按上述步骤重新调整后才能进行自动工艺。

(2)“手动”操作只限用于设备的调试与维修,工艺过程在自动状态下完成。在自动状态下,只需按下“运行”按钮即可自动执行整个工艺过程,待有蜂鸣声提示时,关闭“运行”按钮;重复按“运行”按钮即可连续进行工艺。整个过程操作简单、方便,能够适应于生产线的需求。

(3)开机前,首先将电源和气源打开;关机前,先关气源,将反应室抽成真空状态后再关电源。

(4)工艺控制器的各参数一经调好,不得轻易改变,否则将造成工艺不稳定,控制不准确。

(5)在刻蚀完成后,有蜂鸣器提示,可开盖取片。整个工艺流程框图如图5.7所示:

图5.7等离子体刻蚀机工艺流程图

投稿与新闻线索:陈女士 微信/手机:13693626116 邮箱:chenchen#bjxmail.com(请将#改成@)

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