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5.注意事项
(1)该设备操作人员必须经过高频设备操作技术学习。
(2)高频电源实际使用功率不能超过800W。
(3)工艺调整必须由工艺技术人员调整。
(4)本设备的高频地线必须独立接地,不允许与其他设备共地线。
(5)使用本设备必须严格遵守操作顺序。
(6)检修时严禁带电操作。定期检查设备地线,确保设备安全接地。长期停放时应注意防潮,拆除电源进线。
(7)机械泵启动时若没有正常启动,不要强行开泵,以免加速造成机械泵损坏。解决办法:a.检查更换泵油的周期是否符合规定;b.用手拉动机械泵传动皮带,使泵体转轴活动,并按标识的方向旋转1~2圈,然后再开泵;c.若仍无法正常启动,则应立即检查泵体,并进行清洗。
(8)根据实际工作情况,石英管需要定期(累计工作时间达720小时)进行旋转,每次旋转约60度,旋转3次后可将石英管倒置,再次进行旋转操作,以延长石英管使用寿命。
(9)电感线圈接线位置非专业人员不得调整接线位置。射频电源匹配参数只能做微调,非工艺人员或设备维修人员不得更改匹配参数。
(10)设备停机时应保持反应室处于真空状态。
(11)设备处于辉光工艺状态时不得用手触摸反应室上盖及电感线圈,以免发生意外。
(12)非专业人员不得进行手动工艺。
6.设备的维护与保养
(1)工作场地必须保持清洁、干燥,设备上及设备周围不得放置无关物品,特别是易燃、易爆物品。
(2)长期停放时应注意防潮,拆除电源进线。
(3)设备停机、过夜也要保持反应室内应是真空状态。
(4)累计生产50小时后,更换泵油;累计生产15~20天需拆开泵体清洗;累计生产100小时后,清洗反应室;累计工作720小时,旋转石英管。
(5)因太阳能行业的刻蚀对油泵具有酸性腐蚀,因此,油泵的使用寿命相对比正常使用要短,大约半年到一年左右。
(6)定期检查设备地线,确保设备安全接地。(作者罗玉峰、张发云、廖卫兵)
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