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5.注意事项
(1)该设备操作人员必须经过高频设备操作技术学习。
(2)高频电源实际使用功率不能超过800W。
(3)工艺调整必须由工艺技术人员调整。
(4)本设备的高频地线必须独立接地,不允许与其他设备共地线。
(5)使用本设备必须严格遵守操作顺序。
(6)检修时严禁带电操作。定期检查设备地线,确保设备安全接地。长期停放时应注意防潮,拆除电源进线。
(7)机械泵启动时若没有正常启动,不要强行开泵,以免加速造成机械泵损坏。解决办法:a.检查更换泵油的周期是否符合规定;b.用手拉动机械泵传动皮带,使泵体转轴活动,并按标识的方向旋转1~2圈,然后再开泵;c.若仍无法正常启动,则应立即检查泵体,并进行清洗。
(8)根据实际工作情况,石英管需要定期(累计工作时间达720小时)进行旋转,每次旋转约60度,旋转3次后可将石英管倒置,再次进行旋转操作,以延长石英管使用寿命。
(9)电感线圈接线位置非专业人员不得调整接线位置。射频电源匹配参数只能做微调,非工艺人员或设备维修人员不得更改匹配参数。
(10)设备停机时应保持反应室处于真空状态。
(11)设备处于辉光工艺状态时不得用手触摸反应室上盖及电感线圈,以免发生意外。
(12)非专业人员不得进行手动工艺。
6.设备的维护与保养
(1)工作场地必须保持清洁、干燥,设备上及设备周围不得放置无关物品,特别是易燃、易爆物品。
(2)长期停放时应注意防潮,拆除电源进线。
(3)设备停机、过夜也要保持反应室内应是真空状态。
(4)累计生产50小时后,更换泵油;累计生产15~20天需拆开泵体清洗;累计生产100小时后,清洗反应室;累计工作720小时,旋转石英管。
(5)因太阳能行业的刻蚀对油泵具有酸性腐蚀,因此,油泵的使用寿命相对比正常使用要短,大约半年到一年左右。
(6)定期检查设备地线,确保设备安全接地。(作者罗玉峰、张发云、廖卫兵)
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11月21日,湖北省科技成果转化“轻骑兵行动”鄂州专场暨智慧城市与智能建造科技成果转化对接活动在市莲花山人工智能展示馆举行,4家重点企业通过路演的方式介绍各自主营业务并发表需求,现场气氛热烈。据了解,湖北省科技成果转化“轻骑兵”是一支覆盖全省的科技服务人才队伍,包含高校院所专家、科技
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1.1常规刻蚀酸抛设备使用HF/HNO3混合溶液,要达到PERC电池的要求的0.3g以上的减重,平整度抛光度才能满足要求,药耗量增加,成本增加2-3倍。1.2高浓度的含氮、含氟元素排放给废水处理造成极大地负担,光伏电池制造公司环保压力日益增大,使用碱刻蚀抛光是未来的一种趋势。1.3采用无机碱(KOH/NaOH)在
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扩散过后的下一个工序是刻蚀,由于扩散采用背靠背扩散,硅片的边缘没有遮挡也被扩散上磷(边缘导通状态),太阳能电池PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面,而造成短路,太阳能电池片会因此失效。同时此短路通道等效于降低并联电阻。另外由于在扩散过程中氧的通入,硅
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