登录注册
请使用微信扫一扫
关注公众号完成登录
我要投稿
3.离子铣
离子铣是近年来发展较快的一种离子剥离技术。单一的离子铣并没有刻蚀物的化学反应发生,因为在其中使用了惰性气体如氨气。这是一个纯粹的机械过程,有时将其称为类似喷砂的微机械过程,刻蚀过程的物理特性完全和溅射类似。离子铣和高压等离子体相比有两个重要的先进性、定向性和实用性。刻蚀的定向性是由于离子束中的离子是通过一个强垂直电场来加速的,反应室的压力很低故原子间的碰撞是不可能的,结果当原子碰撞半导体材料表面时原子速度是近乎完全垂直的。对所有材料都可做到各向异性刻蚀,因为它是非化学性的。离子铣的第二个优点是它可以用来刻蚀包括化合物和合金的许多种原料。靶的刻蚀速率因为材料不同而造成的变化不超过3倍,因此离子铣广泛应用于制作YBaCuO、InAl-GaAs及其他三元物和四元物的系统中。
4.聚焦离子束刻蚀
亚微米聚焦离子束微细加工包括物理溅射刻蚀(简称溅射刻蚀)、化学增强刻蚀、淀积、注入等方面。其中最容易实现的是物理溅射刻蚀,它可应用于光刻模板的修理、多层电路的剖面观察、集成光电子器件中光学元件的微细加工。自从聚焦离子束首次用于制作微细结构以来,它已发展成为半导体制作技术中的一个可靠工具。综上所述,干法刻蚀是太阳电池制作过程中用到的基本工艺过程之一,利用干法刻蚀可去除不需要的材料层或者形成台阶,且具有各向异性刻蚀、刻蚀速率高、选择性好等优点。
5.2典型的刻蚀清洗设备
通过前面的介绍,对刻蚀的基本原理应该有了初步的认识,下面将介绍两种典型的刻蚀清洗设备,并对其使用方法和使用中的注意事项进行简单介绍。
5.2.1电感耦合(ICP)高密度等离子体刻蚀机
1.主要用途
ICP高密度等离子体刻蚀机是一种刻蚀速率高、加工精度高、损伤小的新一代先进刻蚀机。它是“九五”国家重点科技攻关项目“高密度等离子体刻蚀技术的研究”的成果。它由一组大功率的射频激励电源通过感应耦合在反应室内产生高密度等离子体,然后由另一组功率较小的偏压电源引导离子垂直于被刻蚀物体运动,从而达到各向异性和高速低损伤刻蚀的目的。
该机采用分子泵机组抽真空,能避免油沾污、在低气压下刻蚀,从而获得深亚微米图形、减少片子表面的聚合物淀积。该机为实验室用机型,适用于科研和小规模生产。用F基气体,可刻蚀Si、Poly-Si、SiC、Si3N4、SiO2、W、WSi、Mo、MoSi、Ta和TaSi等。用O2气还可去胶。
2.设备的基本结构及工作方法
图5.4所示为ICP高密度等离子体刻蚀机的光伏设备工作原理示意图。刻蚀气体在基片的上方被引入等离子体源腔室,其流量由流量控制阀来控制,控制阀可以自动快速地调节气体流量。设备配有通过自动匹配网络控制的两套独立的射频电源,其第一套射频电源通过电感耦合的方式使刻蚀气体辉光放电,产生高密度的等离子体(Ar等离子体密度>10-11个/cm3),在第二套射频电源作用下产生对基片的定向物理溅射轰击。两套电源可以独立自动控制,所以等离子体密度和轰击离子的能量可以单独调控。刻蚀腔壁上装配有永久磁铁,磁铁产生的磁场使等离子体在腔室侧壁上的损耗降低,并且变得更加均匀稳定。高效率的涡轮分子泵和前级泵可以迅速地把废气和挥发性刻蚀产物抽走,保持腔室内所需要的低工作气压。工作气压在气体流量一定的情况下,可以通过一个抽速控制阀,在一定范围内进行调节。基片温控系统可以对基片的温度进行控制,满足不同基片温度下刻蚀的需要,另一套温控系统可以对腔室的侧壁温度进行控制。基片和等离子体源的距离可以在一定范围内调节。双腔室的结构以及自动送片装置使得反应刻蚀腔室不直接暴露在大气压下,避免了水汽等有害气体进入刻蚀腔。
图5.4ICP高密度等离子体刻蚀机外形及刻蚀设备工作原理示意图
ICP刻蚀设备用分立的射频电源控制等离子体密度和离子轰击能量,为优化刻蚀工艺参数创造了条件;高效率的电感耦合等离子体产生模式可以获得高密度的活性粒子,为得到高刻蚀速率奠定了基础。设备可以在低气压下维持稳定的辉光放电,这保证了离子轰击的方向性和刻蚀的均匀性,这些对于大面积亚微米陡直刻蚀十分有利。通过自动匹配网络调控射频电源和对抽速以及流量的自动控制,可以实现刻蚀过程的自动化控制。
特别声明:北极星转载其他网站内容,出于传递更多信息而非盈利之目的,同时并不代表赞成其观点或证实其描述,内容仅供参考。版权归原作者所有,若有侵权,请联系我们删除。
凡来源注明北极星*网的内容为北极星原创,转载需获授权。
11月21日,湖北省科技成果转化“轻骑兵行动”鄂州专场暨智慧城市与智能建造科技成果转化对接活动在市莲花山人工智能展示馆举行,4家重点企业通过路演的方式介绍各自主营业务并发表需求,现场气氛热烈。据了解,湖北省科技成果转化“轻骑兵”是一支覆盖全省的科技服务人才队伍,包含高校院所专家、科技
盛雄激光90W绿光皮秒BC电池大光斑刻蚀设备重磅发布随着市场需求的发展,2020年国家关于“碳达峰”“碳中和”一系列要求提出后,太阳能光伏迎来了历史机遇期,光伏PERC电池大扩产,激光设备需求爆发式的增长。国家十四五规划中提出大力发展光伏、锂电等清洁能源,激光加工技术被广泛应用于已有PERC电池
制绒的目的是在硅片表面形成绒面面,以减少电池片的反射率,绒面凹凸不平可以增加二次反射,改变光程及入射方式。(来源:微信公众号“摩尔光伏”)扩散是为电池片制造心脏,是为电池片制造P-N结,POCl3是当前磷扩散用较多的选择。POCl3为液态磷源,液态磷源扩散具有生产效率较高、稳定性好、制得PN结
1.1常规刻蚀酸抛设备使用HF/HNO3混合溶液,要达到PERC电池的要求的0.3g以上的减重,平整度抛光度才能满足要求,药耗量增加,成本增加2-3倍。1.2高浓度的含氮、含氟元素排放给废水处理造成极大地负担,光伏电池制造公司环保压力日益增大,使用碱刻蚀抛光是未来的一种趋势。1.3采用无机碱(KOH/NaOH)在
刻蚀目的由于在扩散过程中,即使采用背靠背的单面扩散方式,硅片的所有表面(包括边缘)都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面,而造成短路,此短路通道等效于降低并联电阻。(来源:微信公众号“摩尔光伏”)经过刻蚀工序,硅片边缘带有的磷将
扩散过后的下一个工序是刻蚀,由于扩散采用背靠背扩散,硅片的边缘没有遮挡也被扩散上磷(边缘导通状态),太阳能电池PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面,而造成短路,太阳能电池片会因此失效。同时此短路通道等效于降低并联电阻。另外由于在扩散过程中氧的通入,硅
Schmid选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬,来自中国的一家主要生产商。可见,成功的制造工艺能激励生产商增加订单。据悉,Schmid集团的选择性发射极技术通过自身出色的运行情况已经证明其为目前市场上最有效的工艺技术。在竞争更高效率的商战中,更多的电池生产商依赖于湿化学工艺;由Schmid湿法机器订单越来越多可见一斑。无论是扩展生产线还是升级现有生产线,Schmid的选择性发射极技术将继续其成功之道。升级现有的生产线,选择工艺技术首要考虑的是此项技术能否取得效益。采访中,我们了解到:Schmid的湿化
成功的制造工艺激励生产商增加订单Schmid集团的选择性发射极技术通过自身出色的运行情况证明其为市场上最有效的工艺技术。在竞争更高效率的战争中,更多的电池生产商依赖于湿化学工艺;由Schmid湿法机器订单越来越多可见一斑。无论是扩展生产线还是升级现有生产线,Schmid的选择性发射极技术继续其成功之道。Schmid选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬,来自一家中国的主要生产商。升级现有的生产线,选择工艺技术首要考虑的是此项技术能否取得效益。Schmid的湿化学工艺以最小的成本为客户提高明显地竞争优势。以
3月14日,北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾(2025年3月10日-3月14日)。政策篇重磅!财政部印发《清洁能源发展专项资金管理办法》日前,财政部下发《关于印发《清洁能源发展专项资金管理办法》的通知,要求规范和加强清洁能源发展专项资金管理,提高资金使用效益。专项资金支持范围包括清洁能源重点
3月11日,在欧洲西北部最大的太阳能贸易展——2025荷兰太阳能光伏展上,爱旭宣布正式启动第三代黑洞系列“满屏”组件的全球量产交付。继2024年Intersolar展首次亮相后,“满屏”组件将面向全球户用及工商业市场正式量产上市。爱旭始终以极限光电转换效率为创新原点,致力于通过革新性技术持续为客户创
北极星太阳能光伏网获悉,3月6日,国能哈密集成创新新能源有限公司正式注册成立,注册资本10亿元,法定代表人赵建宁,公司位于新疆维吾尔自治区哈密市,经营范围包括风力发电技术服务、太阳能发电技术服务、新兴能源技术研发、储能技术服务、电气设备修理等。天眼查资料显示,国能哈密集成创新新能源有
3月9日,华能新能源公司完成发电量2.0189亿千瓦时,首次突破2亿千瓦时大关!今年以来,华能新能源公司坚持量价统筹,通过大力参与跨区交易缓解弃电,紧盯增量项目并网投产,持续提升存量设备发电效率和可利用率,根据功率预测科学部署抢发电量措施,实现稳价增量。截至3月9日,年累计完成发电量93.34亿
2月26日,中冶京诚与新疆恒泰绿能金属铸造有限公司举行《太阳能光伏发电制氢气在氢基竖炉加工金属球团(120万吨/年)绿色高纯精密铸件项目》签约仪式。中冶京诚党委副书记、冶金公司党委书记、总经理李铁,新疆恒泰董事长李闽峰出席签约仪式。仪式上,阿克陶县相关部门及领导表示对双方的合作高度关注
2024年,工商业分布式光伏新增装机88.63GW,同比增长68%;2060年底,工商业潜在光伏装机规模约2010GW。无论是当下开发速度亦或未来开发潜力,工商业分布式光伏无疑成为兵家必争之地。然而,随着政策的不断调整,工商业分布式光伏市场也进入新一轮竞赛。当然,制胜的关键仍然是商业模式的创新。时下讨论
3月7日,北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾(2025年3月3日-3月7日)。政策篇重磅!国家能源局圈定2025年重点工作2月28日,国家能源局召开全国可再生能源电力开发建设月度(2月)调度视频会。国家能源局党组成员、副局长万劲松出席会议并讲话。会议指出,2025年是“十四五”收官之年,也是谋划“十五
3月5日,第二十届中国(济南)国际太阳能利用大会暨第四届中国(山东)新能源与储能应用博览会在山东国际会展中心拉开帷幕。作为一家全球领先的全场景光伏和储能解决方案提供商,首航携户用、工商业、地面电站光储系统解决方案精彩亮相,与来自全球的与会者共襄新能源前沿科技盛宴,共探新能源场景应用
3月5日-7日,2025第20届中国(济南)国际太阳能利用大会暨综合能源展览会(下称“济南国际太阳能展”)在山东济南隆重开幕,华为智能光伏携全场景解决方案重磅亮相,凭借高价值解决方案及旗舰产品,成为本届展会焦点。济南国际太阳能展华为展台重磅亮相,华为成为全场“人气之王”由山东省能源局、济南
欧洲光伏协会(SolarPowerEurope,SPE)宣布启动国际太阳能制造倡议(InternationalSolarManufacturingInitiative,ISMI),旨在推动欧洲光伏产品在全球市场的需求,并增强产业竞争力。该倡议得到了8家欧洲制造商的支持,涵盖设备、组件、支架系统、逆变器及系统连接解决方案等多个领域。目前已参与ISMI的企
3月5日,在第二十届中国(济南)国际太阳能利用大会暨展览会上,TCLSolar新品牌推荐BC新品发布会隆重举行,全新形象首次亮相国内市场,超高价值BC组件直击效率巅峰,为分布式应用场景带来更优解决方案。品牌形象全面升级三大革新赋能分布式光伏作为重塑全球能源格局的黄金赛道,正以年均25%的复合增长
近日,国内权威的第三方认证机构北京鉴衡认证中心(以下简称“鉴衡认证”)发布了隆基BC二代技术Hi-MO9组件产品海南实证项目报告。■Hi-MO9组件海南实证项目数据显示,应用了BC二代技术的Hi-MO9组件,在户外正常发电量、局部遮挡发电量、立柱遮挡发电量三个核心维度全面领先TOPCon组件,累计单千瓦发
3月13日,协鑫新能源发布公告,宣布终止与承包人签订的EPC协议。公告指出,由于交易方案变动、埃塞俄比亚的许可要求以及工程建设条件尚未满足,导致无法继续进行该协议下的交易。根据终止协议,双方一致同意终止EPC协议,并确认在协议履行及终止过程中没有出现违约、损失或不利影响的情况。截至公告日
3月11日,石英股份发布澄清公告。一、传闻简述2025年03月10日上午,江苏太平洋石英股份有限公司(以下简称“公司”)关注到网络平台发布了关于公司购买甘肃新石英矿的传言,为便于投资者理解和辨别,公司作出澄清说明。二、澄清声明2025年03月06日,公司与甘肃省天水市麦积区签订了投资意向协议,非传
近日,欧盟委员会公布了《清洁工业协议国家援助框架》(CISAF)草案,并启动了公众征求意见程序。该草案将为欧盟成员国提供投资支持,助力能源转型。欧盟于今年2月正式启动《清洁工业协议》,计划投入1000亿欧元推动欧盟的能源转型。根据拟定的国家援助框架草案,欧盟成员国可获得以下支持:可再生能源与
3月11日,韶关武江龙归镇政府与韶关广发光伏发电有限公司正式签署韶关市鸿福新材料科技有限公司分布式光伏发电项目招商协议。据悉,此项目是武江区城乡融合产业园首个光伏项目,总投资3200万元人民币,计划利用鸿福新材料公司约4.72万平方米的厂房及车棚屋顶,建设总容量为5.9MW的分布式光伏发电系统。
3月14日,北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾(2025年3月10日-3月14日)。政策篇重磅!财政部印发《清洁能源发展专项资金管理办法》日前,财政部下发《关于印发《清洁能源发展专项资金管理办法》的通知,要求规范和加强清洁能源发展专项资金管理,提高资金使用效益。专项资金支持范围包括清洁能源重点
2月5日,南通市人民政府关于印发南通市推动科技服务业高质量发展实施意见的通知,通知指出,大力发展光伏、风电、高端装备等专业设备检修与运维技术服务。原文如下:各县(市、区)人民政府,市各直属园区管委会,市各委、办、局,市各直属单位:《南通市推动科技服务业高质量发展实施意见》已经市人民
3月11日,广东肇庆市高要区人民政府印发《肇庆市高要区碳达峰实施方案》。其中提到,大力推进“新能源+储能”项目建设,落实“新能源+储能”标准配置政策,2023年7月1日以后2025年以前新增并网的集中式光伏发电、陆上集中式风电,按照不低于发电装机容量的10%、时长1小时配置新型储能。2025年及以后首
3月14日,InfoLink发布最新硅料、硅片、电池组件排产情况。硅料二月硅料产出约10万吨,三月工作天数相对二月增加,新增产量预计达10.8-10.9万吨,以硅耗量2,000吨/GW折算,约合54.0-54.5GW,环比上升约6-7%,符合预期;硅料跟拉晶的需求呈现产销平衡的态势。后续须格外注意新政策规划。有市场消息指出
截至3月4日,由国网信通股份中电启明星承建的虚拟电厂运营平台已在巴中市平稳运行2个多月,完成充电站、换电站、工商业中央空调柔性负荷、公共照明等行业终端接入,总接入负荷达到5.9万千瓦,聚合可调节负荷达3.8万千瓦以上。2024年12月24日,巴中市虚拟电厂上线启动暨虚拟电厂管理中心在国网巴中供电
请使用微信扫一扫
关注公众号完成登录
姓名: | |
性别: | |
出生日期: | |
邮箱: | |
所在地区: | |
行业类别: | |
工作经验: | |
学历: | |
公司名称: | |
任职岗位: |
我们将会第一时间为您推送相关内容!