来源：新华社2014-03-14

据了解，电池片生产线上的全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd，国内的装备企业虽有样品下线，但市场认可不高。...据了解，光伏产业链运用到的主要装备有三氯氢硅系统、多晶硅炉、单晶硅炉、多线切割机、等离子体气相沉积设备、等离子刻蚀机、制绒机、激光划切机、丝网印刷机，自动分拣机等。

来源：PV-tech2014-02-28

amtech表示，多笔订单包括扩散炉和一个用于加工更高效率太阳能电池的等离子体增强化学气相沉积(pecvd)系统。...根据该公司，这是第二笔pecvd生产订单，其有潜力翻倍该公司的服务市场。pentinga补充道：我们继续与现有和潜在的新客户讨论我们尖端技术解决方案，包括我们的离子注入系统、n型和pecvd技术。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-27

北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数量(非静态指标)列出了国内前十名光伏pecvd设备企业，仅供参考。...pecvd设备为了降低晶体硅太阳电池的效率，通常需要减少太阳电池正表面的反射，还需要对晶体硅表面进行钝化处理，以降低表面缺陷对于少数载流子的复合作用。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-24

48所太阳电池制造装备具备了"整线交钥匙"工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际着名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%...、以mocvd设备为主的光电子装备供应商，是我国最大的太阳能光伏制造装备供应商、最大的磁性材料制造装备供应商。

来源：PV-tech2013-12-17

主要的供应商正在提高他们的生产水平，并加大其资本支出，使现在成为介绍我们新沉积设备aurora pecvd特别合适的时机。...以色列电子设备供应商orbotech(nasdaq:orbk)的aurora pecvd设备，日前获得一千万美元订单，标志着该公司进军光伏设备市场。

来源：PV-Tech每日光伏新闻2013-12-13

该公司还将从储备中向美国nexolon出货，为其先进的电池生产线提供扩散和pecvd系统。然而，amtech认为直至2014年九月才开始确认这些系统的收入。

来源：《光伏产业观察》杂志 王梓2013-11-05

hcpv芯片的生产过程如下，首先利用mocvd技术在4英寸锗衬底上外延砷化镓和铟镓磷形成３结电池片的材料，然后在外延片上利用光刻、pecvd、蒸镀等技术，制备减反膜以及主要成份为银的金属电极，再经划片清洗等工艺

来源：红网2013-07-31

该公司先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：研华（中国）公司2013-05-28

为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种cvd称为等离子体增强化学气相沉积(pecvd)。...项目实施系统架构图 研华pecvd系统解决方案架构图客户现场图片总结研华在针对设备与产线自动化的解决方案中，通过研华嵌入式平台进行数据的整合和运行，研华开放式的硬件平台支持各种流行系统，同时针对客户需求对系统进行剪裁

来源：同花顺2013-04-22

2月中旬，一种薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在上海张江理想能源设备公司正式下线。...所谓两头小，指的是上游多晶硅材料产量不足需要进口，上游硅片产能不足，供货紧张;下游光伏发电系统基数小、增长快、安装量较小;中间大指的是太阳电池和光伏组件产能较大，大量出口。

来源：EnergyTrend2013-04-15

目前我们研发改造的pecvd设备已经被杭州一家电池厂订购，作为hit高线电池扩产使用。...陆川： 正泰集团在电气集成系统领域有自身的优势，可以提供完整的太阳能系统解决方案。目前正泰自己开发的电站，对正泰集团系统产品的应用最高可以达到90%内配。记者： 正泰在品牌经营上有什么特殊的策略吗?

来源：北极星太阳能光伏网2013-02-26

同时光伏生产中涉及到氯碱化工、精馏、还原、单晶生长设备、多晶生长设备、石墨、碳纤维、陶瓷、特种钢、细钢线、环氧树脂胶、碳化硅、聚乙二醇、半导体工艺中扩散、pecvd、丝网印刷、精密测量仪器、激光切割、铝合金...浙江昱辉光能科技有限公司 质量经理2008-2010 嘉兴明通光能科技有限公司 总工程师2010-2011 安阳凤凰光伏科技有限公司 cto(首席技术官)兼研究院副院长主要业绩：1、开发出世界领先的直拉单晶(cz)炉节能热系统

来源：上海市经信委2012-12-12

自主研发成功非晶微晶双结薄膜太阳能电池商用关键设备lpcvd和pecvd、压力容器、蒸发器、堆内构件、控制棒驱动机构、核电主泵、u型管、核电大锻件、核级泵阀、3.6兆瓦大型海上风机和关键零部件、2000

来源：上海市经信委2012-11-22

自主研发成功非晶微晶双结薄膜太阳能电池商用关键设备lpcvd和pecvd、压力容器、蒸发器、堆内构件、控制棒驱动机构、核电主泵、u型管、核电大锻件、核级泵阀、3.6兆瓦大型海上风机和关键零部件、2000

来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

涉及光伏的主要产品包括：单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、pecvd、制绒清洗机、去psg清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。...同时，七星电子研发的ssp8471a管式pecvd为单管产能全球最高设备，电池片转换效率高，属于世界先进水平。该设备具有独特的射频引入方式，且全自动运行并预留倒片接口。

来源：欧瑞康2012-11-16

这种先进性得益于各种创新技术，例如用于非晶和微晶硅吸收层最优化的等离子体增强化学气相沉积技术(pecvd)设备和工艺，以及使用更环保更有效的清洁技术的氟气(f2)的kai反应腔，该技术清洁反应腔的速率更高...ims研究院预计，中国在2012年下半年会安装4吉瓦的光伏系统，这意味着全年的总装机容量将达到5吉瓦。中国发改委最近宣布将大幅调高2015年的光伏装机目标，以刺激中国光伏市场的快速增长。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-31

曙海公司是专业从事设计、生产、销售硅薄膜太阳电池生产线和整套工艺及其核心专有设备等离子强化型化学气相薄膜沉积pecvd系统和磁控溅射系统pvd的高科技企业。...创益于二零零六年扩大年产能至5兆瓦，并开始为太阳能户用系统及其它太阳能离网应用生产标准光伏组件，并于二零零八年十月前将年产能逐步提高至45兆瓦。

来源：中国太阳能光伏网2012-10-22

所以oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时，将其开发重点集中在pecvd设备超高频电源与反应器装置的开发。...据孙海燕博士介绍，非晶工艺和非晶微晶工艺的主要区别在于pecvd工艺，后者在镀膜的过程中需要40mh的超高频，以获得高沉积速率、高均匀性以及低损伤。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-30

目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积(lpcvd)和等离子增强化学气相沉积(pecvd)工艺。此外，液相外延法(lppe)和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-04

电池以p型fz2si作为衬底,正面制作随机金字塔绒面,并通过pecvd沉积双层sinx薄膜,以起到减反射和表面钝化作用。电池背面利用局部激光烧蚀技术,烧蚀成高低不同、呈叉指状交叉排列的两片区域。...概括了目前国际上研究较多的几种背接触硅太阳电池,对其结构特点、制造技术及发展概况作了系统介绍,并在此基础上提出了需要改进的问题及未来的发展方向。