来源：普达特科技2023-05-30

同时，普达特还基于半导体清洗设备向cvd设备延伸，公司目前已展开针对逻辑/存储等应用的设备设计，预计2023年第四季度完成cvd设备样机的生产与调试，至2024年时实现对标顶级厂商的设备量产。

来源：集微网2023-05-19

而与普通pid温控器不同，半导体生产设备中许多环节，比如扩散、氧化、刻蚀、pecvd等过程使用的串级温控器需要高端复杂调节算法，以此来应对半导体设备中温度控制滞后较大且扰动多等问题。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2023-04-27

在n型赛道上，通威是业内最早一批投入gw级 hjt和topcon中试线的企业，2022年，基于自主研发成功的行业首条大尺寸 pecvd poly 技术产线，通威推出 tnc电池；hjt技术方面，通威建立了行业首条

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-24

该项目在集合异质结电池生产工艺特性的基础上，择优性价比更高的210规格硅片、cvd搭载双面微晶设备、pvd采用更高性能靶材材料与之匹配，为成功实现转化效率突破25%提供更优工艺基础。

来源：一道新能2023-04-17

经标委会委员充分讨论，由北方华创牵头、一道新能等单位参编的semi标准“管式pecvd用石墨舟材料技术指南”成功立项，通过标准支撑，助推光伏行业长期健康可持续发展。

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-10

、热丝cvd、ald、扩散设备等。...为了进一步延展嘉拓智能产品线，在协同公司材料设备需求的同时服务光伏领域客户，嘉拓智能通过控股子公司东莞嘉拓日晟智能科技有限公司发起设立无锡嘉拓，生产光伏电池片关键工艺设备，主要包括：离子注入机、管式pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-06

中国电科四十八所产品业务涵盖新能源光伏设备包括扩散炉、pecvd、电池片分选机、硅片分选机等；光伏产品涉及单多晶组件、柔性组件等。

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-03

公司成功研发第四代半导体材料mpcvd法金刚石晶体生长设备，并建设基于大尺寸和高产能的研发试验线，持续推动产业创新。

来源：北极星太阳能光伏网2023-03-30

主要生产低压硼扩散炉、topcon激光掺硼设备、lpcvd设备等，低压硼扩散炉、topcon激光掺硼设备用于光伏电池生产领域。

来源：中来股份2023-03-29

由于市场上lpcvd/pecvd技术存在绕镀，需要额外的环节进行绕镀去除，绕镀去除的不确定性会增加漏电、黑边等不良风险。

来源：北极星太阳能光伏网2023-03-27

最重要的是，双异质结hdt2.0技术的研发是在金石能源自主pecvd、pvd设备上进行，从hdt1.0技术升级到双异质结hdt2.0技术几乎没有障碍，而金石能源已推出大腔室单线1gw产能异质结电池产线，

来源：InfoLink2023-03-24

目前lpcvd路线正试图从单槽单插升级到单槽双插从而实现产能翻倍，预估lpcvd和pecvd的主流路线之争将长期存在。...虽然lpcvd路线技术成熟以及钝化效果极佳，但是产能低以及较高的石英件成本让行业并未放弃pecvd路线的研究，随着通威和天合pecvd路线在效率和良率上的不断突破，叠加pecvd产能高导致的潜在成本优势

来源：北极星太阳能光伏网2023-03-21

正面氮化硅、pecvd 背面氮化硅等电池设备及光伏组件设备。...正面氮化硅、pecvd背面氮化硅等电池设备及光伏组件设备，预计签订合同总额共计9929万元(人民币)。

来源：北极星太阳能光伏网2023-03-02

公告显示，通过本次募投项目，公司将可以实现hjtpvd设备的研发及产业化，并将之与公司的电池自动化设备、丝网印刷技术、hjtpecvd设备配套组成hjt整线核心设备，公司不同设备与技术之间可以形成协同效益

来源：北极星太阳能光伏网2023-01-12

1月12日，金辰股份发布公告称，公司非公开发行a股股票募集资金金额不超过100,000万元（含100,000万元），将主要用于“金辰智能制造华东基地项目”及“高效电池片pvd设备产业化项目”，募集资金投资项目主要围绕公司主营业务展开

来源：明阳集团2023-01-10

通过大片化、薄片化、半片化制程，结合创新i-in-p pecvd工艺路线，集成整线mes智能系统，进一步提升了太阳能电池的转换效率、良率、产能，同时降低了生产成本。

来源：正泰新能Astronergy2022-12-12

正泰新能作为topcon领域的领跑者，针对topcon产品开发及产业化，选择成熟的lpcvd方案，推出的astro n系列组件产品采用正泰新能自研n型topcon高效双面电池，实现高功率、高组件效率、高可靠

来源：北极星太阳能光伏网2022-11-29

pecvd设备项目”的实施主体、实施地点并延期。...（二）光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目延期的情况及原因结合目前公司“光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目”的实际 建设情况和投资进度，在募集资金投资用途及规模不变的情况下

来源：集邦新能源网2022-10-28

主要分歧在隧穿层及多晶硅镀膜工艺上有所区别，目前的主流工艺是lpcvd+磷扩；pecvd工艺优势明显，目前正处于产业化验证期；pvd法主要是中来在布局，peald主要是通威、微导在主导。

来源：金石能源2022-09-28

，并重点介绍了金石能源大腔室pecvd设备对于加速异质结（gw级）规模产业化的重要作用与意义。...经测算，金石能源7.0 pecvd设备与常规的600mw机型相比，设备能耗可省30%，特气耗量省25%，占地面积省17%，产线利用率高，厂房基建及厂务投资减少15%。