来源：北极星太阳能光伏网(独家)2020-06-27

设备企业提前卡位 国产化进程加快异质结的工艺制程共分制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备四个步骤，所涉及的主要设备为清洗制绒机、pecvd、rpd/pvd以及丝网印刷机。...日前神州光伏发布了milkyway plus+异质结新品，在g1大硅片的基础上，该组件效率为21.4%。前不久，山煤集团宣布其10gw异质结电池项目正在履行相关审批程序。

来源：中国光伏行业协会CPIA2020-06-22

电池片设备主要包括制绒、扩散炉、在线湿法刻蚀机、背钝化、pecvd、激光开槽、丝网印刷机以及测试分选设备。...、制绒机、扩散炉、管式pecvd、印刷机、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测及自动化设备等已有不同程度的出口。

来源：光伏新闻2020-06-22

异质结电池实现低成本量产的关键在于设备国产化、提高良率和产能以及降低硅片、低温银浆、tco靶材和清洗制绒化学品等成本。日本松下、上澎、晋能、福建金石和中智电力等已实现异质结电池量产。...异质结电池具有能量转换效率高、简单的低温制造工艺、薄硅片应用、温度系数和ctm低、可双面发电等一系列优势。

来源：新能源沙龙 中信建投2020-06-17

工艺设备材料拆解——常规单晶铝背场电池常规p型单晶铝背场电池使用p型硅片做衬底，在槽式制绒清洗机中完成清洗制绒，在扩散炉中进行扩散制pn结，使用湿法刻蚀清洗机或等离子体刻蚀机与去psg清洗机完成刻蚀和去磷硅玻璃

来源：电新产业研究2020-06-15

（来源：微信公众号“电新产业研究”）核心生产工艺仅四步，分别对应4种专用设备：清洗制绒：去除硅片表面杂质，制作金字塔绒面，减少阳光反射。...hit电池结构:n型硅片+正反面各 3 层膜。hit电池以 n 型单晶硅片作衬底，正反面依次沉积本征非晶硅薄膜、掺杂非晶硅薄膜、金属氧化物导电层tco，再通过丝网印刷制作正负电极，呈双面对称结构。

来源：招商证券 雪球2020-06-01

核心生产工艺仅四步，分别对应4种专用设备：清洗制绒：去除硅片表面杂质，制作金字塔绒面，减少阳光反射。hit制绒难度高于perc，对应设备为清洗制绒机，与perc的清洗制绒机不通用。

来源：摩尔光伏2020-05-29

（来源：微信公众号“摩尔光伏”）

来源：光伏测试网2020-05-27

hjt电池的生产流程包括制绒、非晶硅薄膜沉积、tco（透明氧化物导电薄膜）沉积、丝网印刷四步。对各个环节的设备国产化状况进行分析。①hjt的制绒和丝网印刷与 perc技术相差不当。...而从制绒和印刷来看，单台设备的价值量与perc的设备价值量接近，其中丝网印刷略高。hjt设备市场空间大。

来源：光伏技术2020-05-26

4.7 碱抛光技术因涉及到链式设备与槽式设备，如出现部分异常情况，调整规则、方法和目前的常规单晶perc制绒工序与刻蚀工序方法相似。...首先在链式设备中进行背面酸洗，硅片在常温经过背面酸洗设备，酸槽中hf浓度3％～20％，用于去除扩散后硅片背面及边缘psg。

来源：中银证券2020-05-19

25.1%；迈为股份(217.130, 8.51, 4.08%)自主研发生产pecvd与丝网印刷设备，且已具备提供 hjt整线解决方案的能力；捷佳伟创(66.890, 3.49, 5.50%)已基本完成清洗制绒...此外hjt电池本身的提效可提升电池的成本空间，而硅成本则有望受益于后续n型硅片的持续减薄。

来源：光伏們2020-05-19

pecvd 及沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜（tco）的helia pvd 设备来说，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤如下：01、制绒清洗机...：电池正反面制绒 02、等离子体增强化学气相（pecvd）沉积正面本征非晶硅薄膜（ i-a-si:h）和 n型非晶硅薄膜（ n-a-si:h），沉积反面沉积本征非晶硅膜（ i-a-si:h ）和p型非晶硅薄膜

来源：摩尔光伏2020-05-19

实验采用高佳太阳能公司的156.75 mm×156.75mm 多晶硅片作为衬底，电阻率为1～3ωcm，厚度为200±20μm。...电池制备工艺依次为：去除rena机械损伤层和酸制绒、pocl3磷源管式扩散形成p-n结、干法刻蚀、背面ald沉积a12o3钝化膜、正面管式pecvd沉积sinx 钝化膜、背面管式pecvd沉积sinx

来源：电新产业研究2020-04-30

从半导体产业发展经验来看，硅片尺寸做大有利于降低成本。hit是板式工艺，更容易兼容大硅片。hit生产工艺仅4步，清洗制绒机和丝网印刷机尺寸调节较为容易。...目前国内n型硅片供应商主要是隆基、中环、晶科，其工艺已经成熟，硅片环节的切换难度相对较低。硅片尺寸分歧较大，大硅片主要是新产线在兼容。传统电池产线使用m2硅片，明年主流预计是同尺寸但不带倒角的g1。

来源：摩尔光伏2020-04-29

hjt电池的一大优势在于工艺步骤相对简单，如图2，总共分为四个步骤：制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备。...1.2.1降低成本的途径在降低成本方面，三洋主要从以下几个方面做改进：（1）提高效率，这是目前所有太阳电池研究者所追求的目标；（2）采用薄硅片替代厚硅片直接降低原材料的消耗量而降低成本；（3）改善太阳电池的温度系数

来源：光伏盒子2020-04-21

由于存在先天劣势，即使多晶硅片叠加perc技术和黑硅（即制绒工艺）的多晶电池产品，仍然无法与单晶perc电池竞争。...单晶硅片的价格仍在快速下降，而多晶硅片的价格下降空间已经极为有限，两者的价格差已经越来越接近。由于多晶硅片效率远不及单晶硅片，生产多晶产品的经济性已经变得越来越差。

来源：晋能科技2020-04-01

为了改善这一问题，晋能科技已从导电银浆、ito靶材、制绒添加剂等方面展开降本工作。此外，晋能科技还通过优化硅片、制绒、清洗、金属化等工艺流程，使产品效率和良率均得到稳步提高。

来源：摩尔光伏2020-03-26

，“电池在制绒、镀膜过程中是否存在不均匀的状况发生，使得电池片效率略为下降？”等问题存疑之际，爱旭已宣布投入的新电池厂均为210电池的产能，预计到2020年底，产能达到22gw。...协鑫也实现了鑫单晶210mm尺寸的硅片的制造。电池是实现从硅片到组件的中间产品，电池成本决定着组件这一光伏系统的主要设备的成本。

来源：北极星太阳能光伏网2020-03-19

项目总占地面积约100亩，新建厂房及辅助用房建筑面积61000平方米，拟优选和引进国外先进的单晶制绒、扩散、湿刻蚀、激光刻蚀、烧结等生产设备，优选国内背钝化、pecvd、退火、丝网印刷、测试等关键设备。...1、浙江爱康光电科技有限公司5gw高效异质结（hjt）光伏电池及叠瓦组件项目（湖州长兴）项目概况：总用地430亩，新建建筑面积41万平方米；购置hjt专用硅片清洗机、pecvd、rpd、丝网印刷系统、叠瓦组件封装系统生产及辅助设备

来源：摩尔光伏2020-03-19

（来源：微信公众号“摩尔光伏”）1、引言晶硅太阳能电池在制造过程中通常采用制绒、扩散、刻蚀、pecvd、印刷、烧结几道工序，由于一些机械应力、热应力及人为等不稳定因素的存在，会不可避免的造成硅片的一些隐性缺陷如污染

来源：摩尔光伏2020-03-16

2.2硅片表面均一性对氮化硅膜色差的影响传统晶硅太阳电池的生产工艺过程分别为清洗制绒、扩散、刻蚀、pecvd、丝网印刷和烧结等步骤，其中清洗制绒工艺将严重影响硅片表面的绒面的均一性。