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核心生产工艺仅四步,分别对应4种专用设备:
清洗制绒:去除硅片表面杂质,制作金字塔绒面,减少阳光反射。HIT制绒难度高于PERC,对应设备为清洗制绒机,与PERC的清洗制绒机不通用。
非晶硅沉积:在清洗好的硅片两侧沉积本征和掺杂非晶硅薄膜,两侧共4层膜(i、n、i、p),在一台机器内完成,对应设备是PECVD,和PERC的PECVD不通用。
TCO沉积:在非晶硅薄膜两侧再沉积金属氧化物导电层TCO,用于导出电流,对应设备为PVD或者RPD,两种设备产业里都有应用,PERC不需要沉积TCO。
制作电极:在TCO两侧印刷银浆制备电极,对应设备为丝网印刷机,和PERC通用。
1.2量变到质变,国产设备不断突破
海外设备较为成熟,但核心设备价格较高不具备量产经济性。
清洗制绒机:日本YAC、德国RENA和Singulus、韩国Exataq均有成熟的清洗制绒机在售,当前全球已经建成的HIT产线中,60%以上选用日本YAC的设备。
PECVD:在面板行业应用较多,美国应材、瑞士梅耶博格是海外核心供应商。
PVD/RPD:PVD海外核心供应商有德国的冯·阿登纳和Singulus,RPD核心专利在日本住友,台湾精耀、SNTEC有生产授权。
丝网印刷机:意大利Baccini,2016年被美国应材以3.3亿美元收购。
四大设备中,清洗制绒机约1000万元/台(250MW),丝网印刷机约1200万元/套(200MW),和国产设备价格基本一致,且性能基本相当,不构成产业化的障碍。PVD约3000万/台(250MW),国产设备在快速跟进,本身壁垒不高,也不是产业化的障碍。HIT量产最大的痛点在于PECVD,当前海外应材和梅耶博格的PECVD价格接近5亿元/GW,设备虽然成熟但价格太高,整线的设备投资达到7-8亿元/人民币。
高设备成本对HIT产业化的制约体现在两个方面:
第一,PERC设备投资已经可以控制在2亿以内,5-6亿的差价意味着5-6分/W的财务报表折旧成本差异,而光伏企业决策时普遍按照3年折旧,因此在管理会计报表上体现出来是15-18分/W的差距,性价比被大幅拉低。
第二,设备国产化和降本是大势所趋,且进展迅速,如果采购高成本进口设备建成量产线,很可能在运行1-2年后就面临低成本国产线的竞争,在成本上处于劣势。
国产设备商快速崛起,核心设备不断突破。
清洗制绒机:捷佳伟创已经形成供货能力,YAC也在推动设备中国本土制造。清洗制绒环节的化学反应过程较为复杂,但近年来国内已经基本摸索出来,设备制造本身壁垒并不高,核心的制绒添加剂也已经实现国产。
PECVD:钧石、理想有设备供应,迈为研发进展较快,样机在通威合肥基地已经运行半年,下半年大概率会形成供货能力,捷佳伟创、金辰股份、常州比太也在积极布局,下半年有望推送样机到电池厂做测试。PECVD是HIT设备最难的环节,也是价值量和盈利能力最强的环节,设备厂必须突破PECVD才能形成核心竞争力。
PVD:钧石、湖南宏大、红太阳已经形成供货能力,捷佳、比太等企业在积极研发。
RPD:捷佳获得日本住友授权,具备成熟供货能力。
丝网印刷机:迈为股份是全球龙头,设备十分成熟,捷佳、金辰也在布局。
PECVD的突破是关键。PECVD并不是新兴技术装备,平板显示领域早已得到成熟应用,并且已经迭代到第11代了。2019年中国光伏企业购买的应材PECVD主要是6代线,对应单机产能只有100MW左右,今年已经升级到8.7代(应材专门针对光伏产业的改动版),对应单机产能250-270MW,8.7代的推出意味着大通量的PECVD不管在理论上还是工艺上都是可行的,此前产业中存在PECVD能否做大的争论。
国内设备企业的技术攻关主要就是集中在PECVD上,主要解决成本问题。目前国内节拍最高的PECVD节拍是3600片/小时,对应单机产能170MW,仍需要进步。迈为、捷佳、金辰、比太都在按照5500-6000片的节拍进行研发,对应单机产能250-300MW,已经有很大进展。一旦彻底突破,PECVD的GW投资将从5亿下降到2.5亿。
PECVD突破将带动设备投资快速下降。当前清洗制绒机、PVD/RPD、丝网印刷机制造工艺都已经成熟,价格偏高主要是由于需求没有放量,一旦PECVD突破将1GW的PECVD投资额降低到2.5亿,GW级的HIT产线将会迅速放量,进而带动其他设备降本,2年内大概率可以看到4亿元/GW左右的整线设备价格,突破产业化的瓶颈。
清洗制绒机:当前1000万元/台,产业化放量之后预计到600万/台以下,当前PERC的清洗制绒机价格约200-300万/台,设备80%以上成本为材料,降本空间较大。当前1GW产线需要4台清洗制绒机,未来可能只需3台,1GW的价值量预计在1500万。
PECVD:进口设备价格接近5亿/GW,国产化后降低到2.5亿/GW,随着节拍的提升和原材料零部件的国产化,价格还有进一步下降空间。按6000片算1GW产线需要4台PECVD,未来8000片以上机型推出后有潜力下降到3台,1GW的价值量预计在2.4亿左右,如果供应链国产化能够大部分实现,有可能下降到2亿。
PVD:进口设备价格接近3000万元/台,国产约2200万/台,PVD技术壁垒低于PECVD。当前主流PVD节拍6000片,已经有企业推出8000片,未来1GW产线预计只需要3台PVD,价值量预计不超过6000万。
RPD:当前价格约2400万元/台,由于RPD正反面不能在一台机器内完成,因此单线需要配置两台RPD,1GW要10台,2.4亿元,成本较高。因此国内有头部企业在开发大通量的RPD和正面RPD+背面PVD的一体机,兼顾效率和成本。
印刷机固化炉等:按最先进四道印刷技术,印刷机双轨4头,当前价格约2000万元/套,1GW需要5套,对应价值量1亿元。丝网印刷机也在往大通量去做,需要银浆的可印刷性配套提升,未来1GW的配置有望下降到4套,价值量不超过8000万。
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