来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-08-24

gw异质结量产设备，专为最低运营成本而设计异质结工艺制程较短，共分为制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备四个步骤，主要生产设备有清洗制绒机、pecvd、rpd/pvd以及丝网印刷机。

来源：老成之见2020-08-17

其他主设备：国内企业积极入局，国产化全面推进：在非晶硅镀膜之外，tco镀膜、清洗制绒、丝网印刷等其他主工艺设备亦呈现国内企业积极入局、设备国产化全面推进的良好局面，在清洗制绒环节部分企业已推出具备性价比优势的产品

来源：中国光伏行业协会CPIA2020-07-22

在光伏生产设备方面，目前，我国在硅料生产、硅片加工、电池片生产、组件生产、环保处理、净化工程，以及相关的光伏检测、模拟器等各类生产设备方面，绝大部分已经实现国产化供应，部分产品如湿法清洗设备、制绒设备、

来源：国泰君安证券研究2020-06-30

目前在清洗制绒环节已有充分的国产设备方案；非晶硅镀膜、tco镀膜环节以国外供应为主，国内厂商正在加速研发；金属化环节已有国产设备厂商开始参与。

来源：北极星太阳能光伏网(独家)2020-06-27

设备企业提前卡位 国产化进程加快异质结的工艺制程共分制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备四个步骤，所涉及的主要设备为清洗制绒机、pecvd、rpd/pvd以及丝网印刷机。

来源：中国光伏行业协会CPIA2020-06-22

从技术发展情况看，目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如湿法清洗设备

来源：光伏新闻2020-06-22

异质结电池实现低成本量产的关键在于设备国产化、提高良率和产能以及降低硅片、低温银浆、tco靶材和清洗制绒化学品等成本。日本松下、上澎、晋能、福建金石和中智电力等已实现异质结电池量产。

来源：新能源沙龙 中信建投2020-06-17

工艺设备材料拆解——常规单晶铝背场电池常规p型单晶铝背场电池使用p型硅片做衬底，在槽式制绒清洗机中完成清洗制绒，在扩散炉中进行扩散制pn结，使用湿法刻蚀清洗机或等离子体刻蚀机与去psg清洗机完成刻蚀和去磷硅玻璃

来源：电新产业研究2020-06-15

（来源：微信公众号“电新产业研究”）核心生产工艺仅四步，分别对应4种专用设备：清洗制绒：去除硅片表面杂质，制作金字塔绒面，减少阳光反射。

来源：招商证券 雪球2020-06-01

核心生产工艺仅四步，分别对应4种专用设备：清洗制绒：去除硅片表面杂质，制作金字塔绒面，减少阳光反射。hit制绒难度高于perc，对应设备为清洗制绒机，与perc的清洗制绒机不通用。

来源：中银证券2020-05-19

pecvd与丝网印刷设备，且已具备提供 hjt整线解决方案的能力；捷佳伟创(66.890, 3.49, 5.50%)已基本完成清洗制绒、rpd镀膜、丝网印刷等设备的研发并进入工艺验证阶段。

来源：光伏們2020-05-19

，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤如下：01、制绒清洗机 ：电池正反面制绒 02、等离子体增强化学气相（pecvd）沉积正面本征非晶硅薄膜

来源：电新产业研究2020-04-30

从半导体产业发展经验来看，硅片尺寸做大有利于降低成本。hit是板式工艺，更容易兼容大硅片。hit生产工艺仅4步，清洗制绒机和丝网印刷机尺寸调节较为容易。

来源：摩尔光伏2020-04-29

hjt电池的一大优势在于工艺步骤相对简单，如图2，总共分为四个步骤：制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备。...图2 hjt电池工艺流程图hjt电池的制备工艺步骤简单，且工艺温度低，可避免高温工艺对硅片的损伤，并有效降低排放，但是工艺难度大，且产线与传统电池不兼容，设备资产投资较大。

来源：北极星太阳能光伏网2020-03-19

1、浙江爱康光电科技有限公司5gw高效异质结（hjt）光伏电池及叠瓦组件项目（湖州长兴）项目概况：总用地430亩，新建建筑面积41万平方米；购置hjt专用硅片清洗机、pecvd、rpd、丝网印刷系统、叠瓦组件封装系统生产及辅助设备

来源：摩尔光伏2020-03-16

2.2硅片表面均一性对氮化硅膜色差的影响传统晶硅太阳电池的生产工艺过程分别为清洗制绒、扩散、刻蚀、pecvd、丝网印刷和烧结等步骤，其中清洗制绒工艺将严重影响硅片表面的绒面的均一性。

来源：海通证券2020-02-28

异质结电池的制备分为4 个步骤，清洗制绒、非晶硅沉积、tco 沉积和丝网印刷。...得益于硅片薄片化降低硅片成本，银浆用量减少及国产化降低浆料成本，单机生产设备产能提高以及国产化降低折旧成本，我们认为未来异质结电池的成本有望持续降低。锡业股份：打造全球最大的铟产业基地。

来源：太平洋证券2020-02-20

重点推荐晶盛机电（晶体生长及加工设备）、捷佳伟创（氧化炉、沉积炉、pecvd、hjt 制绒清洗、rpe 及丝网印刷设备）、迈为股份（丝网印刷设备、hjt 整线解决方案）、上机数控（硅片加工设备）、帝尔激光

来源：太阳能杂志2020-02-20

由于黑硅制绒已经使用sc1 去除金属污染，因此背面抛光及清洗采用槽式设备依次经过koh+h2o2 → koh+ps30→di→hcl+h2o2(sc2)→di→hcl+hf→di→加热di → n2 烘干

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-17

从结构上来说，异质结一般以n型单晶硅片为衬底，在经过清洗制绒的n型czc-si正面依次沉积厚度为5-10nm的本征a-si:h薄膜(i-a-si:h)、p型a-si:h薄膜(p-a-si：h)，从而形成