来源：国泰君安证券研究2020-06-30

目前在清洗制绒环节已有充分的国产设备方案；非晶硅镀膜、tco镀膜环节以国外供应为主，国内厂商正在加速研发；金属化环节已有国产设备厂商开始参与。

来源：北极星太阳能光伏网(独家)2020-06-27

设备企业提前卡位 国产化进程加快异质结的工艺制程共分制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备四个步骤，所涉及的主要设备为清洗制绒机、pecvd、rpd/pvd以及丝网印刷机。

来源：光伏新闻2020-06-22

异质结电池实现低成本量产的关键在于设备国产化、提高良率和产能以及降低硅片、低温银浆、tco靶材和清洗制绒化学品等成本。日本松下、上澎、晋能、福建金石和中智电力等已实现异质结电池量产。

来源：新能源沙龙 中信建投2020-06-17

工艺设备材料拆解——常规单晶铝背场电池常规p型单晶铝背场电池使用p型硅片做衬底，在槽式制绒清洗机中完成清洗制绒，在扩散炉中进行扩散制pn结，使用湿法刻蚀清洗机或等离子体刻蚀机与去psg清洗机完成刻蚀和去磷硅玻璃

来源：电新产业研究2020-06-15

hit制绒难度高于perc，对应设备为清洗制绒机，与perc的清洗制绒机不通用。...清洗制绒机：当前1000万元/台，产业化放量之后预计到600万/台以下，当前perc的清洗制绒机价格约200

来源：苏大光伏校友会2020-06-08

高登赛1gw高效异质结太阳电池项目，采用国际最先进的清洗制绒机、pecvd非晶硅镀膜机、pvd沉积导电膜机和电极印刷机，匹配自主研发的高效工艺技术路线，产品30年无光衰。

来源：老成之见2020-06-02

目前钧石能源自研产线可以支撑量产电池片平均效率达到24.2%；理想万里晖pecvd设备实现实验室转换效率25.1%；迈为股份自主研发生产pecvd与丝网印刷设备，且已具备提供hjt整线解决方案的能力；捷佳伟创已基本完成清洗制绒

来源：招商证券 雪球2020-06-01

核心生产工艺仅四步，分别对应4种专用设备：清洗制绒：去除硅片表面杂质，制作金字塔绒面，减少阳光反射。hit制绒难度高于perc，对应设备为清洗制绒机，与perc的清洗制绒机不通用。

来源：中银证券2020-05-19

25.1%；迈为股份(217.130, 8.51, 4.08%)自主研发生产pecvd与丝网印刷设备，且已具备提供 hjt整线解决方案的能力；捷佳伟创(66.890, 3.49, 5.50%)已基本完成清洗制绒

来源：电新产业研究2020-04-30

hit生产工艺仅4步，清洗制绒机和丝网印刷机尺寸调节较为容易。

来源：摩尔光伏2020-03-16

2.2硅片表面均一性对氮化硅膜色差的影响传统晶硅太阳电池的生产工艺过程分别为清洗制绒、扩散、刻蚀、pecvd、丝网印刷和烧结等步骤，其中清洗制绒工艺将严重影响硅片表面的绒面的均一性。

来源：海通证券2020-02-28

异质结电池的制备分为4 个步骤，清洗制绒、非晶硅沉积、tco 沉积和丝网印刷。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-17

从结构上来说，异质结一般以n型单晶硅片为衬底，在经过清洗制绒的n型czc-si正面依次沉积厚度为5-10nm的本征a-si:h薄膜(i-a-si:h)、p型a-si:h薄膜(p-a-si：h)，从而形成

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-02-10

主流上，hit产线共涉及四项设备：用于清洗制绒的rca、用于非晶硅薄膜沉积的pecvd、用于tco膜沉积的pvd、和用于电极金属化的丝网印刷，在这四条赛道上，中国的设备企业已经蓄势待发。...在前perc时代，设备厂商的竞争相对含蓄，合作才是四家巨头公司的主流，其中，迈为股份主做丝网印刷、帝尔激光主做激光切割、罗伯特科主做智能自动化、捷佳伟创则主要以制绒、清洗、退火、抛光等设备为主，颇有一点泾渭分明的意思

来源：女柚子之路2020-02-10

因此从工序上来讲，hit电池核心工序就4步，清洗制绒、非晶硅镀膜、沉积tco、丝网印刷，是所有电池工艺中步骤最短的。2异质结电池的优势一、效率高。...异质结电池以n型硅片做衬底，先清洗干净制作金字塔绒面，然后再两侧分别沉积本征非晶硅薄膜，起到钝化硅片两侧悬挂键的作用，然后再接着沉积掺杂非晶硅，制成pn结，pn结就是光伏电池的发电结构，由于非晶硅薄膜横向导电性不好

来源：招商证券机械团队2020-02-04

印刷和制绒相对来说变动较小，制绒这一块比perc要求更高纯净度的清洗，表面不能有一些金属离子；印刷主要是浆料需要使用低温银浆。制绒清洗设备：清洗制绒设备主要包括捷佳伟创、北方华创、yac。

来源：光大证券2020-01-20

制造工艺流程主要包括：清洗制绒、非晶硅薄膜沉积、tco膜沉积、电极金属化。

来源：电新产业研究2020-01-07

hit电池制造工序：清洗制绒非晶硅薄膜沉积tco沉积制作电极测试分档。清洗制绒：去除硅片表面杂质，制作金字塔绒面，减少阳光反射。hit电池要求制作大绒面，制绒难度高于perc。

来源：中信建投2019-12-17

设备选型稳健，后续国产化空间大设备选型方面，爱康第一条线较为稳健，仍以海外设备为主，清洗制绒、pecvd 镀膜、丝网印刷、自动化均选用海外主流供应商，仅第三道镀透明导电膜选用捷佳国产的rpd 设备。

来源：电新产业研究2019-12-16

1.3异质结电池生产工艺异质结电池生产只有四大环节，依次是清洗制绒、非晶硅沉积、tco沉积、丝印烧结，相较于perc和topcon工序大...设备端清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，唯一的难点在于pecvd，海内外众多企业都在集中攻关以提高pecvd的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。