来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

图6.1pecvd的结构示意图6.2pecvd的工作原理和特点目前太阳能光伏市场上用的pecvd设备，国外的主要有德国centrotherm和日本岛津的镀膜设备;国内的主要有生产型管式pecvd，接下来就该管式

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-18

三、oltsolar晶体硅太阳能电池的pecvd新系统oltsolar展出了一款用于生产晶体硅太阳能电池的pecvd新系统。

来源：ne21.com2012-05-15

太阳能电池就是以tco薄膜为衬底生长的，用等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）生长的太阳能电池层也称为有效层。有效层包括两个pin串联的双结结构。...其中pin膜的沉积是利用pecvd技术在非硅衬底上制备晶粒较小的多晶硅薄膜的一种方法。该薄膜是一种p-i-n结构，主要特点是在p层和n层之间有一层较厚的多晶硅的本征层（i层）。

来源：中国能源报2012-05-04

在生产装备方面，晶体硅电池用的高档设备仍需进口，如高纯多晶硅生产的氢化炉、四氯化硅闭环回收装置、大尺寸(如450kg以上)铸锭炉、多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机、全自动电池焊接机等。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-04

原始硅片未清洗干净，表面有有机油污污染或清洗液残留等造成的硅片表面沾污，在制绒过程中，会出现异常图7硅片表面因为有油污等存在，制绒后未能长出金字塔结构的绒面图8由于原始硅片手指印和有误的存在，在制绒过程中无法去除，在pecvd

来源：中国能源报2012-05-03

在生产装备方面，晶体硅电池用的高档设备仍需进口，如高纯多晶硅生产的氢化炉、四氯化硅闭环回收装置、大尺寸(如450kg以上)铸锭炉、多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机、全自动电池焊接机等。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-27

目前，普遍采用的等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）沉积本征及掺杂的a-si:h膜，同时热丝化学气相沉积法（hwcvd）制备a-si:h法也被认为很有前景。...pecvd的缺点表现在两个方面，一是它的不稳定性，二是电子和离子的辐射会对所沉积的薄膜构成化学结构上的损伤。等离子体作为准中性气体，它的状态容易被外部条件的改变而发生变化。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-25

4结论利用centrotherm管式pecvd在多晶硅上生长出双层氮化硅，底层高折射...1引言等离子增强气相沉积(pecvd)制备氢化非晶氮化硅(sinx：h)已经成为工业太阳电池的标准工艺中一道工序。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-23

烧结就是把印刷到硅片上的电极在高温下烧结成电池片,最终使电极和硅片本身形成欧姆接触,从而提高电池片的开路电压和填充因子2个关键因素参数,使电极的接触具有电阻特性,达到生产高转效率电池片的目的.烧结过程中有利于pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

1.2pecvd过程中的微观过程（1）气体分子与等离子体中的电子发生碰撞，产生出活性基团和离子。其中，形成离子的几率要低得多，因为分子离化过程所需的能量较高。（2）活性基团可以直接扩散到衬底表面。...氮化硅膜作为晶体硅太阳能电池减反射钝化膜是目前太阳能电池制备的主流，然而由于用pecvd来制备的氮化硅膜，是以sixnyhz方式来表达的，其中的x,y,z的数值直接影响了膜的光学性能和对晶体硅太阳电池表面和体内的钝化作用

来源：光伏制造2012-04-09

二pecvd技术的分类用来制备sinx膜的方法有很多种，包括：化学气相沉积法（cvd法）、等离子增强化学气相沉积（pecvd法）、低压化学气相沉积法（lpcvd法）。在目前产业上常用的是pecvd法。

来源：仪表网2012-03-27

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

si500d等离子沉积系统是icp-pecvd设备，用于在基片上沉积 siox, sioxny或 siny薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。...sentech icp-pecvd设备的安装，由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成，由sentech和东方集成共同承担售后保修，具有标志性的历史意义。

来源：九江新闻网2012-03-15

超日公司于2010年在深交所上市，超日电池片生产工艺以及太阳能电池组件上已取得了多项技术突破，尤其是清洗工艺中的表面织构化技术、扩散工艺中的均匀发射极制备技术、等离子体边缘刻蚀最优化技术处于国内领先水平;pecvd

来源：solarzoom2012-03-14

(2)非晶硅层的制备方法hit电池的非晶硅层通常用等离子增强化学气相沉积(pecvd)技术进行制备。...与pecvd相比，hwcvd产生的等离子能量较低，能有效避免离子的轰击，同时可产生用于预处理硅片表面的低能原子氢，制备过程中的粉尘较少，不易使a-si：h薄层短路。

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。

来源：中国电子报2012-02-24

此外,全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器等在行业获得广泛应用。...等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-22

芦忠新：其实影响产品性能的，不只是pecvd，当然跟pvcpd设备肯定是有直接的关系。我个人认为目前薄膜电池最主要的是在理论上的突破。目前薄膜电池的发电率也在不断地攀升。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

但是，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd仍然依赖进口。目前国内光伏电池注流建线方案为国产和进口设备混搭，基本以国产为主。设备投资方面，一条25mw的标准生产线需34006000万元。...但它的自动化程度(自动装卸片)不如进口设备(进口设备如德国centrotherm公司产品，售价是国产设备的三倍左右)，平板型pecvd目前国内已有企业生产，有待进一步验证；第三，国产丝网印刷机(只有手动