来源：摩尔光伏2017-11-02

再经过管式pecvd制作氮化硅减反射膜,pecvd过程中分别采用传统双层膜工艺和本文设计的三层膜工艺各做一组实验,采用sentech的se400测试监控氮化硅膜的折射率以及厚度。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-25

本文侧重于双层氮化硅减反膜多晶太阳电池的工业研制，并借助sentech公司的se400adv、varian的cary5000研究了双层氮化硅对多晶电池电性能的影响。...2实验156156cm、电阻率0.5-3p型多晶硅片经历制绒、扩散和去磷硅玻璃后，centrotherm管式pecvd(40khz)制备sinx：h薄膜，采用sentech的se400测试监控氮化硅在633nm

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

sentech icp-pecvd设备的安装，由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成，由sentech和东方集成共同承担售后保修，具有标志性的历史意义。...2012年3月，东方集成在上海某研究所成功安装了sentech si500d等离子体沉积系统。

来源：21IC电子网2011-08-10

测试设备用：sentech生产se-400adv的激光偏振仪；semilab生产的wt-2000的少子寿命测试仪。