来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

涉及光伏的主要产品包括：单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、pecvd、制绒清洗机、去psg清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。...七星电子应用在超大规模集成电路硅片制程的铜互连工艺阶段的300mm 65nm铜互连清洗设备，其设备技术指标已达到国际同类产品先进水平。

来源：世纪新能源网2012-11-01

利用不足100微米的金刚线，提高切割速度，降低线损和硅片厚度。在电池表面等离子制绒，延长入射光光程，并通过内表面反射减少反射损失，提高转换效率。...降低硅片厚度是减少硅材料消耗、降低晶硅太阳电池成本的有效技术措施，是光伏技术进步的重要方面。

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-30

较窄的正面电极可以减少阳光的遮挡并减少与硅片的接触面积。减少遮挡这一点很容易理解;而减少接触主要是因为任何与硅的直接接触会导致较高的表面复合速率，使少子寿命减少。...② 激光制绒，以达到均匀性最好的表面倒金字塔形貌。钝化背发射极(降低复合速率，延长少子寿命)、背面点接触(减少与硅基接触，降低复合速率)这些，都是已经运用非常广的技术。

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-29

目前较为先进的制绒技术是反应等离子蚀刻技术(rie)，该技术的优点是和晶硅的晶向无关，适用于较薄的硅片，通常使用sf6/o2混合气体，在蚀刻过程中，f自由基对硅进行化学蚀刻形成可挥发的sif4，o自由基形成

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-21

图 ：德国 isfh 的 oeco 电池 h=21.1%oeco结构示意图如图8所示，电池的表面由许多排列整齐的方形沟槽组成，浅发射极n+位于硅片的上表面，在其上有一极薄的氧化隧道层，al电极倾斜蒸镀于沟槽的侧面...电池的制作具体过程为：前表面机械开槽化学腐蚀清洗背面掩膜(扩散)前表面化学制绒使用液态源pocl3进行磷扩散制作n+发射极打开背面接触真空蒸镀al作为背电极前表面低温热氧化形成氧化隧道层前表面无需掩膜直接倾斜蒸镀

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-20

激光刻槽埋栅电池的大致工艺流程为：硅片-清洗制绒-淡磷扩散-热氧化钝化-开槽-槽区浓磷扩散-背面蒸铝-烧背场-化学镀埋栅-背面电极-减反射膜-去边烧结-测试。(作者：和海一样的新能源)...图 7 ：新南威尔士大学 激光刻槽埋栅电池 h =19.8%这种电池既保留了高效电池的特点，又省去了高效电池制作中的一些复杂的工艺，很适合利用低成本、大面积的硅片进行大规模生产。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-17

一般mwt每块硅片需要钻约200个通孔。mwt电池的制作流程大致为：硅片-激光打孔-清洗制绒-发射极扩散-去psg-沉积sin-印刷正面电极-印刷背面电极-印刷背电场-烧结-激光隔绝-测试。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-10

目前较为先进的制绒技术是反应等离子蚀刻技术(rie)，该技术的优点是和晶硅的晶向无关，适用于较薄的硅片，通常使用sf6/o2混合气体，在蚀刻过程中，f自由基对硅进行化学蚀刻形成可挥发的sif4，o自由基形成

来源：SolarF2012-07-30

(多)晶硅片等高性能、低成本的太阳能光伏产品。...曾参与创办无锡尚德、南京中电以及河北晶澳等企业，开发了精确二次对准技术、新绒面制绒技术、非接触式印刷技术以及多种新型结构光伏电池，其领衔的研发团队已获得美国发明专利37项。

来源：时代周报2012-07-27

今年1月4日凌晨，向日葵因电气设备短路发生特大火灾，太阳能电池清洗制绒车间内多台生产设备受损严重，有5台设备基本全损，价值计2000多万元。...公告显示，向日葵年产200mw太阳能电池生产线增资第二期项目(年产100mw太阳能电池及组件)已于2011年5月进入试生产阶段，目前已全面投产;年产1.6亿片8英寸太阳能多晶硅片生产项目已于2011年四季度进入试产

来源：时代周报2012-07-26

今年1月4日凌晨，向日葵因电气设备短路发生特大火灾，太阳能电池清洗制绒车间内多台生产设备受损严重，有5台设备基本全损，价值计2000多万元。...公告显示，向日葵年产200mw太阳能电池生产线增资第二期项目(年产100mw太阳能电池及组件)已于2011年5月进入试生产阶段，目前已全面投产;年产1.6亿片8英寸太阳能多晶硅片生产项目已于2011年四季度进入试产

来源：时代周报2012-07-12

今年1月4日凌晨，向日葵因电气设备短路发生特大火灾，太阳能电池清洗制绒车间内多台生产设备受损严重，有5台设备基本全损，价值计2000多万元。...公告显示，向日葵年产200mw太阳能电池生产线增资第二期项目(年产100mw太阳能电池及组件)已于2011年5月进入试生产阶段，目前已全面投产;年产1.6亿片8英寸太阳能多晶硅片生产项目已于2011年四季度进入试产

来源：环球光伏网2012-07-10

dc-8300冷却液能够实现更高质量的硅碇和硅片切割;enlight?清洗、制绒、成像和金属化一体化解决方案，可改进太阳能光伏电池的制造性能;adcote?和mor-free?...导热油能够收集、传输并储存热量，适用于太阳能热发电应用(csp)，同时为光伏级多晶硅提纯确保优异的高低温稳定性;聚二醇醚硅片切削液和enlight?

来源：工控网2012-07-02

目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、光伏组件的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机...我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去psg设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显;国产

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-06-29

曾参与创办无锡尚德、南京中电以及河北晶澳等企业，开发了精确二次对准技术、新绒面制绒技术、非接触式印刷技术以及多种新型结构电池，其领衔的研发团队已获得美国发明专利37项。...(多)晶硅片等高性能、低成本的太阳能光伏产品。

来源：solarzoom2012-06-11

所用硅片为5英寸n型cz片，晶向为(100)，电阻率0.5～3cm，厚度约200~220m。制绒之前先采用rca法清洗硅片，用以确保制绒的均匀性。最后用1%的hf溶液去除硅片表面的氧化层。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-30

三洋双面hit电池结构图晶硅/非晶硅异质结结构：增加开路电压，提高转换效率光伏技术：hit电池工艺制程1.硅片清洗制绒2.正面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和p型非晶硅薄膜3.背面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和

来源：PV-Tech2012-05-25

图1昱晶推出的准单晶电池效率已经突破18%昱晶能源科技(主导)与昱成光能公司联合向台湾经济部申请类单晶硅片与高效铜电极工艺太阳电池计划。...希望凭借高效铜电镀电极技术取代现有的网印银浆技术，并采用纳米制绒技术，优化减反射层，降低类单晶电池的反射率。昱晶在申请中表示该计划成功后将大幅降低生产成本，预计铜电极太阳能电池的效率可达18.5%。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

每片硅片间不均匀性误差在5%之内，同一批硅片间...概述前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-21

４．适合大尺寸、薄硅片工艺、节约硅材料。（作者罗玉峰、张发云、廖卫兵）...本文主要介绍光伏制造清洗制绒设备的运行条件、保养与维护、技术发展。