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北极星编辑推荐(二十二):十大扩散炉企业

2013-12-19 08:49来源:北极星太阳能光伏网(独家)关键词:扩散炉太阳能电池片北极星编辑推荐收藏点赞

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7、青岛华旗科技有限公司

青岛华旗科技有限公司(青岛精诚华旗微电子设备有限公司,建于1993年),为专业半导体工艺设备及先进材料专用设备研发制造厂家。致力于为半导体集成IC电路分立器件、MEMS、太阳能电池、半导体照明LED及磁性材料厂家提供先进的专用设备,工艺涵盖化合物半导体晶体生长(及提纯、合成等)、外延、薄膜淀积(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化扩散(包括退火合金含工艺及快速退火工艺等)、真空烧结等工艺。半导体工艺设备覆盖三代半导体材料--硅、砷化镓、氮化镓等,高性能磁性材料真空设备(钐钴、钕铁硼等)。同时承担了部分国家863项目(如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等)及相关的国家重点项目等。

主要产品:氧化扩散炉系列、LPCVD系统、PECVD系统、HVPE系统、MOCVD系统、RTP快速热处理、气瓶柜、半导体尾气(废)处理SCRUBBER,真空热处理炉、链式炉系列、扩散炉体系列等。

投稿与新闻线索:陈女士 微信/手机:13693626116 邮箱:chenchen#bjxmail.com(请将#改成@)

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