来源：solarzoom2012-06-11

此外，当气压过高时，氢等离子体的刻蚀变得更加活跃，使得sih2结构的基团增多，sih2基团的增多意味着有更多的晶界和微孔，它们都是类似于悬挂键的有效复合中心。因此少子寿命降低。

来源：中国电子报2012-05-29

近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案...2001年，中国电科48所与无锡尚德太阳能科技股份有限公司合作开发太阳能光伏专用装备--刻蚀机与扩散炉，中国电科48所正式进军光伏领域，标志着我国太阳能电池专用装备进入了自主研发阶段;2006年，在国家高性能晶体硅太阳能电池生产成套技术研究项目的支持下

来源：北极星太阳能光伏2012-05-25

在太阳能电池的一般生产工艺中，经过扩散制结，等离子刻蚀去周边和pecvd制减反膜，下一工艺主要是形成良好的电极接触，而这正是通过丝网印刷和烧结两道工艺共同完成的。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

概述前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-23

2.干法刻蚀干法刻蚀是把材料的被刻蚀表面暴露于等离子体中，等离子体通过光刻胶中开出的窗口与材料发生物理或化学的反应，从而去掉暴露的材料。干法刻蚀又可分为物理性刻蚀与化学性刻蚀。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-22

本次调查所指称的晶体硅太阳能光伏电池指使用硅片厚度大于20微米，使用任意工艺形成有p-n结，接受但不仅限于以下工艺处理：清洗、刻蚀、镀膜、金属化及其他导电技术。

来源：北极星太阳能光伏（独家）2012-05-14

目前，多晶硅绒面技术主要有机械刻槽、激光刻槽、等离子刻蚀（ｒｉｅ）和各向同性酸腐蚀。...等离子刻蚀制备出硅片表面陷光效果是非常好的，但它需要相对复杂的处理工序和昂贵的加工系统。在硅片表面织构的制作过程中，可能会引入机械应力和损伤，在后处理中形成缺陷。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-08

由于温度较高的情况下，溶液在制绒槽时会不稳定，所以一般不宜长时间超过10℃，当前补液能保证刻蚀速率不下降，那么无需调高刻蚀溶液的温度。

来源：Solarbe2012-05-04

激光刻蚀之薄也创下了纪录。这不仅增加了组件的活动范围，也显著提高了组件的工作效率。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-25

所以适当调节湿法刻蚀工艺，在保证刻蚀深度的情况下，尽量减小边缘刻蚀宽度，从而在一定程度上可以减少高漏电电池比例。...２.２．３湿法刻蚀工艺湿法刻蚀造成电池暗电流偏高的个重要原因是刻蚀边缘较大，ｐｎ结遭到破坏，导致镀膜印刷烧结后漏电。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-24

而边缘发亮的黑片我们称之为非短路黑片，这种电池片大多产生于单面扩散工艺或是湿法刻蚀工艺，单面扩散放反导致在背面镀膜印刷，造成是pn结反，也就是我们通常所说的n型片，这种电池片会造成iv测试曲线呈现台阶，

来源：中国新能源网2012-04-13

所谓的刻线是将30-80m大小的单个光脉冲串联起来，而在p1中采用几十纳秒脉宽(10到80ns)的脉冲来刻蚀。当加工到膜层的边缘时，材料的一部分被升华，蒸汽压力可以吹走被刻蚀的材料。...等离子刻蚀未能满足自动化要求，破损率很高。经验证的工艺：晶硅电池的选择性掺杂激光器越来越多地用于掺杂工艺，因为它能在太阳能电池上提高局部掺杂浓度得分布从而改善载流子的移动性，特别是接触栅极。

来源：中国吉林网2012-04-11

庆达新能源公司成立伊始，就以抢占光伏行业的制高点为宗旨，先后从国内外选购具有世界先进水平的生产设备，其中德国的清洗制绒和刻蚀设备、中国电子科技集团的扩散和镀减反射膜设备、日本和意大利的丝网印刷设备、美国的烧结设备

来源：PV-Tech2012-04-10

其中的难点包括：粗糙表面上的材料生长控制技术、高速纳米晶体硅沉积技术、多步顶衬刻蚀、静态及动态等离子沉积技术。

来源：PV-Tech2012-04-10

其中的难点包括：粗糙表面上的材料生长控制技术、高速纳米晶体硅沉积技术、多步顶衬刻蚀、静态及动态等离子沉积技术。

来源：solarzoom2012-03-29

新的pura湿法处理系统包含mei对太阳能电池生产关键要素唯一的工艺知识产权，包括刻蚀，清洗和干燥多晶硅。...pura融合了mei湿法处理的专业知识，使用了独特了刻蚀和清洗工艺，还有公司新的flashdry冷干燥工艺。结果是产品具有更少的杂质含量，更少的氧化，并且适度的干燥。

来源：九江新闻网2012-03-15

据悉，超日公司于2010年在深交所上市，超日电池片生产工艺以及太阳能电池组件上已取得了多项技术突破，尤其是清洗工艺中的表面织构化技术、扩散工艺中的均匀发射极制备技术、等离子体边缘刻蚀最优化技术处于国内领先水平

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。

来源：中国电子报2012-02-24

目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口...，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大