来源：中国新能源网2012-04-13

所谓的刻线是将30-80m大小的单个光脉冲串联起来，而在p1中采用几十纳秒脉宽(10到80ns)的脉冲来刻蚀。当加工到膜层的边缘时，材料的一部分被升华，蒸汽压力可以吹走被刻蚀的材料。...等离子刻蚀未能满足自动化要求，破损率很高。经验证的工艺：晶硅电池的选择性掺杂激光器越来越多地用于掺杂工艺，因为它能在太阳能电池上提高局部掺杂浓度得分布从而改善载流子的移动性，特别是接触栅极。

来源：中国吉林网2012-04-11

庆达新能源公司成立伊始，就以抢占光伏行业的制高点为宗旨，先后从国内外选购具有世界先进水平的生产设备，其中德国的清洗制绒和刻蚀设备、中国电子科技集团的扩散和镀减反射膜设备、日本和意大利的丝网印刷设备、美国的烧结设备

来源：PV-Tech2012-04-10

其中的难点包括：粗糙表面上的材料生长控制技术、高速纳米晶体硅沉积技术、多步顶衬刻蚀、静态及动态等离子沉积技术。

来源：PV-Tech2012-04-10

其中的难点包括：粗糙表面上的材料生长控制技术、高速纳米晶体硅沉积技术、多步顶衬刻蚀、静态及动态等离子沉积技术。

来源：solarzoom2012-03-29

新的pura湿法处理系统包含mei对太阳能电池生产关键要素唯一的工艺知识产权，包括刻蚀，清洗和干燥多晶硅。...pura融合了mei湿法处理的专业知识，使用了独特了刻蚀和清洗工艺，还有公司新的flashdry冷干燥工艺。结果是产品具有更少的杂质含量，更少的氧化，并且适度的干燥。

来源：九江新闻网2012-03-15

据悉，超日公司于2010年在深交所上市，超日电池片生产工艺以及太阳能电池组件上已取得了多项技术突破，尤其是清洗工艺中的表面织构化技术、扩散工艺中的均匀发射极制备技术、等离子体边缘刻蚀最优化技术处于国内领先水平

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。

来源：中国电子报2012-02-24

目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口...，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、光伏组件的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机...我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去psg设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显；国产

来源：PV-Tech2012-01-17

此外，48所为突破太阳能电池转化效率瓶颈，还引入离子刻蚀与离子注入工艺技术，其中离子反应刻蚀技术、离子注入掺杂技术项目获得2012年度国家863计划先进能源领域重点支持。

来源：北极星太阳能光伏网2012-01-17

同时，为了突破太阳能电池转化效率瓶颈，中电48所果断引入离子刻蚀与离子注入工艺技术，其中《离子反应刻蚀技术、离子注入掺杂技术》项目获得2012年度国家863计划先进能源领域重点支持。

来源：中国投资咨询网2011-12-21

是国内第一批申请并获得太阳能电池封装玻璃发明专利的公司之一，也是国内最早建成太阳能超白压延玻璃生产线的公司之一，同时，裕华新材公司成长后劲十足，目前已与丹麦sunarc公司签订了《技术许可协议》，sunarc公司向裕华新材授予使用其溶液刻蚀法镀膜技术的许可并提供相应技术支持

来源：千龙网2011-12-20

其中，减反射膜技术可分为喷涂法、提拉法、溶液刻蚀法等，是在超白压延玻璃上镀制减反射膜后再固化处理或通过化学的方法使超白钢化玻璃表面形成减反射层，使镀膜后的玻璃光谱透过率较原片大幅提高，从而达到提高光线透过率的目的...裕华新材于2011年10月20日与丹麦sunarc公司签订了《技术许可协议》，sunarc公司向公司授予使用其溶液刻蚀法镀膜技术的许可并提供相应技术支持，以使得公司拥有并运行5条镀膜生产线以及可能增加的额外生产线

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-25

车间规模不小，机器簇新，按照生产工艺生产电池片环节有制绒、扩散、刻蚀、丝印等工序，每一个环节需要一整套自动化设备，设备体积庞大结构复杂，工人在里面只是在维护机器的正常运转，一般不需要动手。...在生产中自动传送、机械手自动拾取、机器刻蚀、清洗是一个自动化、现代化程度很高的车间，这些工序基本是自动化完成，在密闭车间的下面，是最后的封装车间，把半成品的电池片和玻璃板用专用的薄膜在高温下压合到一起，

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-23

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，电池制造工序涉及清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。美国gtsolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-21

在未来3-5年内，进一步支持大尺寸、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式pecvd，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和

来源：《光伏信息报》2011-11-14

其产品从宏观上涵盖了原生多晶硅料生产设备、硅片加工设备、晶体硅电池生产设备等，具体包括全自动硅芯/硅棒清洗设备、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备

来源：PV-Tech2011-10-26

其中刻蚀机、磷扩散炉和电浆辅助化学气相沉积炉单机部分采用了rena、centrotherm的相关设备，其余单机部分及生产线的串联由广运机械自行规划设计。

来源：Solarbe2011-10-25

除了其中的刻蚀机、磷扩散炉与电浆辅助化学相沉积炉单机部分搭配德国rena、centrotherm等著名大厂外，其他的单机部分以及产线串联，完全由广运自行规划制造。