来源：PV-Tech2012-06-01

此外，amtech还表示，由子公司tempresssystems推出的管型pecvd产品可以帮助针对太阳能市场的子公司将规模扩大一倍。...本月早些时候中国上海举办的第六届国际太阳能行业和光伏展览会议(6thinternationalsolarindustryandphotovoltaicexhibitionandconference)上，其新型离子注入机和pecvd

来源：中国电子报2012-05-29

近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：北极星太阳能光伏2012-05-25

在太阳能电池的一般生产工艺中，经过扩散制结，等离子刻蚀去周边和pecvd制减反膜，下一工艺主要是形成良好的电极接触，而这正是通过丝网印刷和烧结两道工艺共同完成的。...太阳能印刷线是针对硅太阳电池生产线新研制的集自动上料，自动印刷，自动传输，自动烘干和自动传输的流水线式印刷烘干系统(如图7.4)。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

6.3pecvd的结构、主要性能指标和特点6.3.1pecvd的结构pecvd主要由工艺管及电阻加热炉、净化推舟系统、气路系统、电气控制系统、计算机控制系统、真空系统6大部分组成，其设备构成示意图如图6.2

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-18

三、oltsolar晶体硅太阳能电池的pecvd新系统oltsolar展出了一款用于生产晶体硅太阳能电池的pecvd新系统。...参展人员络绎不绝，表示了对这个系统的浓厚兴趣。

来源：ne21.com2012-05-15

太阳能电池就是以tco薄膜为衬底生长的，用等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）生长的太阳能电池层也称为有效层。有效层包括两个pin串联的双结结构。...其中pin膜的沉积是利用pecvd技术在非硅衬底上制备晶粒较小的多晶硅薄膜的一种方法。该薄膜是一种p-i-n结构，主要特点是在p层和n层之间有一层较厚的多晶硅的本征层（i层）。

来源：中国能源报2012-05-04

在生产装备方面，晶体硅电池用的高档设备仍需进口，如高纯多晶硅生产的氢化炉、四氯化硅闭环回收装置、大尺寸(如450kg以上)铸锭炉、多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机、全自动电池焊接机等。...在光伏系统方面，大型并网光伏电站特别是光热电站、智能电网、光伏直流并网系统等光伏大规模利用的一些关键设备及并网技术方面与国外有较大的差距，有些甚至是处于空白状态。

来源：中国能源报2012-05-03

在生产装备方面，晶体硅电池用的高档设备仍需进口，如高纯多晶硅生产的氢化炉、四氯化硅闭环回收装置、大尺寸(如450kg以上)铸锭炉、多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机、全自动电池焊接机等。...在光伏系统方面，大型并网光伏电站特别是光热电站、智能电网、光伏直流并网系统等光伏大规模利用的一些关键设备及并网技术方面与国外有较大的差距，有些甚至是处于空白状态。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-23

烧结就是把印刷到硅片上的电极在高温下烧结成电池片,最终使电极和硅片本身形成欧姆接触,从而提高电池片的开路电压和填充因子2个关键因素参数,使电极的接触具有电阻特性,达到生产高转效率电池片的目的.烧结过程中有利于pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

一、机理分析1.1气体的输运在cvd系统中，气体的流动处于黏滞流的状态。气体的输运过程对薄膜的沉积速度、薄膜厚度的均匀性、反应物的利用效率等都有重要的影响。...气体在cvd系统中发生两种宏观流动，一是外部压力造成的压力梯度使气体从压力高的地方向压力低的地方流动，即气体的强制对流。二是气体温度的不均匀性引起的高温气体上升、低温气体下降的流动，即气体的自然对流。

来源：光伏制造2012-04-09

目前，在中国微波法pecvd系统占据市场的主流，而管式pecvd系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法pecvd系统还没有进入中国市场。

来源：仪表网2012-03-27

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

si500d等离子沉积系统是icp-pecvd设备，用于在基片上沉积 siox, sioxny或 siny薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。...sentech icp-pecvd设备的安装，由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成，由sentech和东方集成共同承担售后保修，具有标志性的历史意义。

来源：PV-Tech2012-01-17

48所作为唯一跻身光伏装备制造业全球十强的中国企业，在光伏装备领域具有雄厚的综合实力，在光伏装备研发方面突破了高温烧结、pecvd压力控制系统、丝网印刷机压力自适应系统等8项关键技术，取得重大科技成果6

来源：北极星太阳能光伏网2012-01-11

薄膜光伏电池中最具发展潜力的是非晶硅薄膜光伏电池，非晶硅材料是由气相淀积形成的，目前已被普遍采用的方法是等离子增强型化学气相淀积(pecvd)法。...除电池本身的结构设计、分析检测需要大量专业人员外，化学气相淀积、真空溅射、激光刻线等特殊工艺以及包括多种特殊气体、高纯水、净化空调系统等在内的厂务支持系统，都需要大量有专业知识背景和实际操作经验的员工。

来源：光明日报2012-01-04

集团还自主创新开发了全自动槽式多晶植绒设备,高方阻软着陆扩散炉,大尺寸高均匀性pecvd,高分辨率全自动印刷机等核心设备,拥有多项技术专利和完全自主知识产权,2010年被国际权威审计机构德勤评为,中国高科...吉阳集团董事长孙良欣介绍说,集团自行设计制造的全自动追日系统,可以提高发电量30%。

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-21

pecvd等薄膜电池生产设备的研制、生产，将光伏生产设备成本降低30%。...在未来3-5年内，进一步支持大尺寸、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式pecvd，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和

来源：《光伏信息报》2011-11-14

其产品从宏观上涵盖了原生多晶硅料生产设备、硅片加工设备、晶体硅电池生产设备等，具体包括全自动硅芯/硅棒清洗设备、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备、等离子体刻蚀机、pecvd

来源：PV-Tech2011-11-10

莱宝光电表示系统和等离子体增强化学气相沉积(pecvd)共同运作使工具有相同的可扩展过程室布局，此外还提供薄膜电池和三结电池连接处的串联电池以及个体层。...我们利用该系统的可扩展性进一步优化层压太阳能电池，用创新的硅合金开发三结太阳能电池。

来源：PV-Tech2011-11-07

)订购的一款用于晶体硅太阳能电池的arc系统喷涂工具。...这个工具的关键是pecvd光电直读光谱仪。光电直读光谱仪能够更好的控制薄膜的组织和高速处理的沉积物密度。该工具的理念是基于静态内联生产结合内基底板传导以及静态过程的优点。