来源：北极星太阳能光伏网（独家)2016-03-02

这些专利申请主要是与正银的配方有关，涉及刻蚀剂的配方和制造工艺，有机载体的配方和制作工艺等。

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。

来源：价值中国2015-09-07

反应离子刻蚀技术（rie）是最有发展前景的技术，它首先在硅片表面形成一层mask（掩膜）再显影出表面织构模型，然后再利用反应离子刻蚀方法制备表面织构。...京瓷产业化17.2％~17.7％的多晶硅电池就是采用等离子刻蚀工艺的一个成功典范。2.2发射区扩散pn结特性决定了太阳能电池的性能！

来源：中国投资2015-04-03

2014年，国内光伏制造设备水平仍处于快速提升阶段，在晶体硅太阳能电池生产线的十几种主要设备中，8种以上国产设备已在国内生产线中居主导地位，其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平

来源：Solarzoom2014-09-05

原材料（多晶硅片、单晶硅片、铝框架、接线盒等）；③产成品（太阳能电池组件、低瓦值组件、多（单）晶硅电池片等）；④高效太阳能电池及组件技术改造项目涉及的在建机器设备，印刷设备、减反射膜制造设备、分选设备、湿刻蚀绝缘机

来源：中国光伏测试网2014-07-15

组件的生产是经过电池片的生产，包括硅锭，线切割，硅片清洗，扩散制结，等离子刻蚀，去磷硅玻璃，减反射膜制备，丝网印刷，烧结，检测分级，这期间由于通过单片功率测试和删选，隐裂的几率比较小。

来源：中国能源报2014-07-02

2013年又研制出的一批新的晶硅太阳能电池设备(在线湿法刻蚀设备、减压扩散炉、ald原子层沉积al2o3钝化膜设备、超细栅印刷设备、全自动太阳能电池测试分选机等)，2014年这批新设备将进入市场，这不仅使太阳能电池片生产线的产能和转换效率得到明显的提高

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2014-06-27

薄膜电池组件清洗玻璃或其他基底，不需要酸碱刻蚀，用的都是少量的有机清洗剂，不仅没有酸碱的污染，而且是真空镀膜，光伏材料和电池组件制造同时在一个车间内完成，所以薄膜电池在这方面基本上没有污染。

来源：PV-Tech2014-05-20

扫描电镜(sem)显示，等离子体表面刻蚀和活化显著增加了pet与涂层之间的相容性，使它们之间得到十分紧密而强有力的整合。...背板以pet为基材，经等离子体表面刻蚀和活化后，双面涂以特殊研制的反应性功能氟碳涂料，经热固化后得到具有聚氨酯结构的膜胶一体化背板。

来源：TestPV2014-05-09

用三氯氧磷扩散性能更好natcore共向光伏制造商运送了五批黑硅刻蚀的硅片，其中两批用作受控对照产品，另三批用作测试。

来源：湖南省政府门户网站2014-04-14

2001年，48所凭借在半导体装备领域的深厚积淀，推出高温扩散炉和等离子体刻蚀机，以光伏装备作为推动企业进入市场的突破口，在创新开拓的道路上迈出了第一步。

来源：新华社2014-03-14

据了解，光伏产业链运用到的主要装备有三氯氢硅系统、多晶硅炉、单晶硅炉、多线切割机、等离子体气相沉积设备、等离子刻蚀机、制绒机、激光划切机、丝网印刷机，自动分拣机等。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-31

目前，多晶硅绒面技术主要有机械刻槽、激光刻槽、等离子刻蚀(rie)和各向同性酸腐蚀。在硅片表面织构的制作过程中，可能会引入机械应力和损伤，在后处理中形成缺陷。...目前公司主营产品有：显影清洗设备、蚀刻脱膜设备、中间水洗设备、pet卷材清洗设备、单片制程清洗设备、玻璃减薄设备、二次强化设备、盖板玻璃清洗设备、背抛光刻蚀清洗设备、单(多)晶制绒设备、全自动spm超声清洗设备

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-27

48所太阳电池制造装备具备了"整线交钥匙"工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际着名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-24

48所太阳电池制造装备具备了"整线交钥匙"工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际着名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%

来源：河北新闻网2013-12-10

可就在这个时候，因研发博秀的需要，晶澳要从德国进口一套湿法刻蚀机，报价6000万元。这对于手头正紧的公司来说，是笔不小的开支。带着忐忑的心情，他们把报告打上去了，没想到第二天董事会就批准了。靳

来源：新华网2013-12-02

实际就是通过化学溶剂刻蚀，在原有的硅太阳能电池的微米孔状结构上再生成许多纳米尺寸的小孔。

来源：科技日报2013-08-29

目前，我国的光伏产品主要是技术相对成熟的硅太阳能电池，尽管其光电转换效率很高，但由于在生产及后处理中需要对硅材料进行提纯与刻蚀，不仅工艺复杂、高耗能，而且会产生大量废液，严重污染生态环境。

来源：红网2013-07-31

该公司先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：PV-Tech2013-06-14

在已有的研究基础上，林昌健教授课题组首次报道了通过简单的水热法结合后续的化学刻蚀，在透明导电玻璃基底表面构筑结合力强、膜厚达~20m的高比表面积、多孔状单晶金红石tio2纳米棒阵列膜，并在染料敏化太阳能电池应用中取得了