来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-31

曙海公司是专业从事设计、生产、销售硅薄膜太阳电池生产线和整套工艺及其核心专有设备等离子强化型化学气相薄膜沉积pecvd系统和磁控溅射系统pvd的高科技企业。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-30

公司产品非晶硅薄膜电池组件，主要的生产技术包括：使用lpcvd沉积前透明氧化物电极与背接触电极;使用pecvd技术沉积非晶硅薄膜;通过p1、p2与p3激光划刻技术把非晶硅电池分成串接的子电池。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-10-24

高纯硅烷气还是生产高纯多晶硅（11n）的原料；用硅烷热分解（cvd）法生产的高纯多晶硅广泛应用于半导体行业。...该负责人还向记者透露：同时依托上市公司精功科技强大的装备设计制造能力，精功新材料与精功科技正在联合开发硅烷cvd炉和新型硅烷流化床。相信在不久的将来，精功会再为中国的光伏行业献上一份厚礼。

来源：中国太阳能光伏网2012-10-22

所以oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时，将其开发重点集中在pecvd设备超高频电源与反应器装置的开发。...据孙海燕博士介绍，非晶工艺和非晶微晶工艺的主要区别在于pecvd工艺，后者在镀膜的过程中需要40mh的超高频，以获得高沉积速率、高均匀性以及低损伤。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-10-09

今年三安在高倍聚光光伏芯片上的产能是30mw～50mw(一台mocvd 在做)，明年将达到200mw，2015 年前将投资80 亿元于高倍聚光光伏，产能要达到1gw。平效率达到36~40%正态分布。

来源：挖贝网2012-10-08

早在上市之 初，曾被誉为中国光伏设备第一品牌的天龙光电，在外界看来有着众多着眼于未来的储备项目，比如多晶炉、mocvd，比如蓝宝石炉等。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-09-07

装备方面有连续式间接hf-pecvd、管式直接lf-pecvd。(作者：和海一样的新能源)

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术(rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术 (rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-21

oeco 电池 h=21.1%oeco结构示意图如图8所示，电池的表面由许多排列整齐的方形沟槽组成，浅发射极n+位于硅片的上表面，在其上有一极薄的氧化隧道层，al电极倾斜蒸镀于沟槽的侧面，然后利用pecvd...前表面化学制绒使用液态源pocl3进行磷扩散制作n+发射极打开背面接触真空蒸镀al作为背电极前表面低温热氧化形成氧化隧道层前表面无需掩膜直接倾斜蒸镀al作为面电极使用导电胶将各个面电极连接起来采用pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-14

1997年，日本三洋公司推出了一种商业化的高效电池设计和制造方法，电池制作过程大致如下：利用pecvd在表面织构化后的n型 cz-si片的正面沉积很薄的本征-si:h层和p型-si:h层，然后在硅片的背面沉积薄的本征

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-08

细看，才发现，原来3月20日的主要是cvd反补贴：政府对企业生产行为的财务支持;而5月17日的主要是ad反倾销：低于市场合理价位。

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-03

现在由centrotherm和roth & rau(现在为meyer burger的分公司)主导的c-si pecvd工具市场在2011年达到了8.8亿美元。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-30

目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积(lpcvd)和等离子增强化学气相沉积(pecvd)工艺。此外，液相外延法(lppe)和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。

来源：新产业2012-07-20

2011年5月，富士康子公司奇力光电在佛山南海投资led外延芯片，计划3年内引入50台mocvd(led外延片生产设备)，今年将正式投产。

来源：PV-Tech2012-07-18

现在由centrotherm和roth&rau(现在为meyerburger的分公司)主导的c-sipecvd工具市场在2011年达到了8.8亿美元。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-16

公司主要产品有：多晶硅生产设备和服务gt 提供操作高效和低成本的 cvd 反应器所需的全套多晶硅生产设备，以及生产高质量多晶硅所需的相关工程服务。我们基于西门子技术的 sdr?

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-07-13

我们要强调不同国家之间做贸易的时候要合作，要谈判，但是如果没有这些基本原则遵守的话，美国对太阳能电池双反进行调查了，中国就会对他们贸易壁垒进行调查，中国也会对多晶硅进行ad和cvd方面的调查，所以中国也会对多晶硅进行反倾销的调查

来源：工控网2012-07-02

但是，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd仍然依赖进口。目前国内光伏电池注流建线方案为国产和进口设备混搭，基本以国产为主。设备投资方面，一条25mw的标准生产线需34006000万元。...但它的自动化程度(自动装卸片)不如进口设备(进口设备如德国centrotherm公司产品，售价是国产设备的三倍左右)，平板型pecvd目前国内已有企业生产，有待进一步验证;第三，国产丝网印刷机(只有手动

来源：OFweek太阳能光伏网2012-06-28

在做出初步反补贴税(cvd)裁决三个月后，据报道，美国商务部(doc)已经提高中国太阳能光伏生产商的反补贴税率，中国太阳能光伏生产商向美国出口太阳能电池将须缴纳更高的反补贴税。