来源：pv-magazine2015-01-07

amtech表示solaytecald工具将与tempresspecvd程序进行组合一并推出。amtech还将继续与rena合作推出其湿化学技术。amtech sytems总部位于亚利桑那州的坦佩。

来源：光伏资讯2014-12-12

硅片切割后，进入电池片生产阶段，此时除了前期对于硅片的清洗制绒外需要各类酸碱和纯水辅料外，扩散还需要用到三氯氧磷气体，pecvd要用到硅烷气体，电极加工要用到银浆和铝浆，这些辅材的消耗量甚至不亚于主原料硅的价值

来源：PV-Tech2014-11-24

现阶段，solaytec的ald氧化铝比竞争技术，如pecvdalox少消耗4-5。

来源：世纪新能源网2014-11-24

，他也说中国的装备制造其实也已经走到了世界前列，不知不觉，因为中国体量最大，吨位决定地位，就是60%制造业都在中国，这个装备不可能自己没有进步，也是现在过来了，过去我们只有层压机、模拟仪、扩散炉，现在pecvd

来源：PV-Tech2014-11-18

梅耶博格与ethlausanne合作开发一种低温(200c)pecvd工艺，为了沉积硅片双面所需的非晶硅层，降低能源成本，使薄膜硅片得以加工，并且在正面接触使用相当少的银。

来源：Solarzoom2014-09-30

晶体硅太阳能电池背钝化的方法钝化是制造太阳能电池的一个重要工艺，目前商业化的太阳能电池的前表面钝化都采用pecvd沉积si3n4膜钝化或热氧化生长sio2+pecvd沉积si3n4膜，且效果良好，不需要太多的改进

来源：pv-tech2014-07-31

材料专家akzonobel正在与新加坡太阳能研究所(seris)在新加坡国立大学合作，旨在为氧化铝钝化层工艺提供更低成本的原子层沉积(ald)与等离子体增强化学气相沉积(pecvd)前体。

来源：实密国际贸易(上海）有限公司2014-07-16

实密国际贸易(上海）有限公司紧跟市场未来发展趋势，引入archers的pecvdhjt生产工艺关键设备，据悉此pecvd设备镀非晶硅层膜后的开路电压voc730mv,为客户开拓了宽广的制程窗口,加上客户自行印刷与模块封装等后制程

来源：北极星太阳能光伏网2014-05-22

此外，vcs 1200系统使得pecvd层可以实现单面沉积，而不会出现另一面也有边缘沉积的情况。manz的高性能pecvd工艺技术保障了最佳的加工再现性，以及业界最高的太阳能电池效率和均匀性。

来源：PV-Tech2014-05-09

amtech表示，第一季度光伏相关新订单为1360万美元，包括二月签订的对于其pecvd设备的生产订单。总订单储备达3100万美元，其太阳能部门储备总计达2050万美元。...此外，二月我们从一家全球技术领导者手中获得我们pecvd产品的第二个生产订单，表明其性能价值。我们的半导体或led业务继续增值，并且在2014财年前六个月较去年同期大幅改进，订单增长85%。

来源：PV-Tech2014-05-09

amtech表示，第一季度光伏相关新订单为1360万美元，包括二月签订的对于其pecvd设备的生产订单。...amtech表示，第一季度光伏相关新订单为1360万美元，包括二月签订的对于其pecvd设备的生产订单。总订单储备达3100万美元，其太阳能部门储备总计达2050万美元。

来源：湖南省政府门户网站2014-04-14

为了提升光伏装备的核心竞争力，48所组织科研团队奋起直追，先后成功研发了清洗机、pecvd、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，其中全自动太阳能电池测试分选设备填补了国内空白，并成功打破该设备关键技术长期由西方少数公司垄断的历史

来源：新华社2014-03-14

据了解，电池片生产线上的全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd，国内的装备企业虽有样品下线，但市场认可不高。

来源：PV-tech2014-02-28

科尔维尔指出，amtech赢得pecvd订单主要考虑该公司过去产生的收入主要来自n型和p型硅片或电池扩散炉设备的销售。因此，尽管预测为时尚早，光伏行业pecvd设备的局面可能将发生改变。...根据该公司，这是第二笔pecvd生产订单，其有潜力翻倍该公司的服务市场。pentinga补充道：我们继续与现有和潜在的新客户讨论我们尖端技术解决方案，包括我们的离子注入系统、n型和pecvd技术。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-30

北极星太阳能光伏网总结了12月27日要闻回顾，北极星编辑推荐(二十七)：十大光伏pecvd设备企业、2013中国光伏市场总览、欧盟双反逼迫中企寻找新大陆 光伏电站将再掀淘金热等，详情如下：北极星编辑推荐...(二十七)：十大光伏pecvd设备企业2013中国光伏市场总览2013年那些名震天下的光伏企业负翁们欧盟双反逼迫中企寻找新大陆 光伏电站将再掀淘金热金太阳功遂身退 分布式发电将大展拳脚太阳能光伏贸易战：

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-27

北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数量(非静态指标)列出了国内前十名光伏pecvd设备企业，仅供参考。...pecvd设备为了降低晶体硅太阳电池的效率，通常需要减少太阳电池正表面的反射，还需要对晶体硅表面进行钝化处理，以降低表面缺陷对于少数载流子的复合作用。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-24

48所太阳电池制造装备具备了"整线交钥匙"工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际着名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%...制造、总装、测试等系统平台，是我国主要以集成电路、半导体照明、太阳能光伏、磁性材料、新型储能材料、特种传感器和soi材料等技术为主的骨干科研生产机构，是我国唯一以离子注入机为主的微电子装备供应商、以mocvd

来源：OFweek太阳能光伏网2013-12-19

此外，tempress还带来了管式pecvd设备， 因而tempress现在拥有管式pecvd、扩散炉和离子注入机的独特产品组合 ，hansscholing介绍道。

来源：北极星太阳能光伏网(独家）2013-12-19

hds320系列柔性密闭扩散炉和hpe400系列pecvd，以第三代设备为基础，在性能、外观、可靠性、新工艺适应性等方面全面得以提升，引领国产设备进入全新的第四代。

来源：PV-tech2013-12-17

主要的供应商正在提高他们的生产水平，并加大其资本支出，使现在成为介绍我们新沉积设备aurora pecvd特别合适的时机。...以色列电子设备供应商orbotech(nasdaq:orbk)的aurora pecvd设备，日前获得一千万美元订单，标志着该公司进军光伏设备市场。