来源：晶盛机电2024-04-18

在电池环节开发了兼容bc和topcon工艺的管式pecvd、lpcvd、扩散、退火、单腔室多舟ald和舟干清洗等设备，通过创新的设计和工艺实现竞争的差异化。在组件环节强化了叠瓦组件的整线设备供应能力。...成功开发具有国际先进水平的8英寸单片式和双片式碳化硅外延生长设备，以及6-8英寸碳化硅衬底片和外延片的光学量测设备；同时公司基于产业链延伸，开发出了应用于8-12英寸晶圆及封装端的减薄设备、外延设备、lpcvd设备、ald

来源：北极星太阳能光伏网2024-03-18

根据合同约定，公司拟向该企业销售全自动ald钝化设 备及pe-poly设备，合同金额合计约5.2亿元（含税）。...公告显示，合同的签订标志着微导纳米设备产品进一步获得了光伏电池片生产领域头部厂 商的认可，有效证明了微导纳米设备产品的技术先进性和市场竞争力，对于提高公司 的市场影响力将产生积极影响。

来源：北极星太阳能光伏网2024-01-12

第三，公司技术储备丰富，覆盖pvd、ald、蒸镀等多种技术路线，产品矩阵正在不断优化和完善中。

来源：晟成光伏2023-10-17

当前，ald设备国产化市场占有量仅为2%，在这一背景下，晟成光伏积极响应国家创新发展战略，致力于提高国内ald设备的研发水平和生产能力，以满足不断增长的市场需求。...晟成光伏空间型原子层沉积量产工艺及 装备开发项目基于空间式sald的技术，研究适合于钙钛矿电池电子传输层sno2膜层以及封装阻水层al2o3膜层的原子层沉积技术，结合晟成光伏的钙钛矿电池中试线的验证测试

来源：宝馨科技2023-05-27

宝馨科技合资公司——西安宝馨光能科技有限公司与嘉兴科民电子设备技术有限公司、江苏迪塔镁克科技有限公司就钙钛矿/异质结叠层太阳电池设备采购举行签约仪式，签订了钙钛矿/异质结实验线用pvd、ald、涂布设备采购协议...此次合作，是宝馨科技与产业链多方携手，推动钙钛矿/异质结技术成功实现产业化的重要进程。

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-10

为了进一步延展嘉拓智能产品线，在协同公司材料设备需求的同时服务光伏领域客户，嘉拓智能通过控股子公司东莞嘉拓日晟智能科技有限公司发起设立无锡嘉拓，生产光伏电池片关键工艺设备，主要包括：离子注入机、管式pecvd、热丝cvd、ald

来源：北极星太阳能光伏网2022-12-23

公告显示，微导纳米在光伏新型高效电池和半导体各细分领域的产品、技术方面存在持续加强投入的需求，相关投入会对公司经营业绩造成影响。...、柔性电子的ald设备，新增年产120台ald设备的生产能力。

来源：北极星太阳能光伏网2022-12-21

、钙钛矿叠层电池制造整体解决方案；半导体领域pvd、ald镀膜设备等。...公司拥有一支技术精湛、经验丰富的技术研发团队，成员均为博士、硕士在内的高科技人才，与诸多行业龙头、知名高校、工艺专家及科研院所等建立长期战略合作关系，主要提供高效硅基电池用清洗制绒设备、真空镀膜设备；钙钛矿电池组件

来源：南京大学2022-05-27

为了克服上述互连结构中的离子扩散难题，团队巧妙地采用原子层沉积（ald）制备致密的sno2电子传输层（ald-sno2），该ald-sno2层可完美地保形沉积于子电池间的互联区域，有效阻隔了互连结构中钙钛矿与金属间的直接接触

来源：先导智能2021-04-22

此次无锡尚德与先导智能、江苏微导合作研制开发的高效topcon 光伏电池整线智能工厂采用了行业领先的基于工业互联网技术的数字化智能工厂解决方案、基于ald 原子层沉积镀膜技术、丝网印刷技术的 topcon

来源：北极星太阳能光伏网2020-10-20

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。...韩华首席技术官daniel jeong说：“晶科不遵守法律和法院的裁决，使得q-cells别无选择，只能对它采取进一步行动，因为其不尊重知识产权的价值。”

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-09-30

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。...除了专利，某组件制造商相关负责人介绍，叠瓦组件难在良品率，电池连接的可靠性至关重要，这也形成了其较高的技术门槛。由此，光伏制造企业开始寻找叠瓦替代技术，叠焊、负片间距等高密度组件封装技术相继应用而生。

来源：科创板日报2020-08-06

2014年起，理想晶延开始布局高效光伏背钝化设备开发，采用国际先进的ald（原子层沉积）技术，自主研发了氧化铝背钝化ald设备。...理想晶延成立于2013年，其是一家以 cvd（化学气相沉积）技术为核心，覆盖半导体及泛半导体领域的高端设备供应商，主要从事太阳能光伏电池、光电子、集成电路制程、封测领域的关键设备及相关辅助设备研发、制造和销售

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-06-28

据了解，微导纳米以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：资本邦2020-06-23

公司以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：光伏新闻2020-06-22

一、perc专利战如鲠在喉韩华专利的核心是ald镀氧化铝+pecvd镀氮化硅的结构，以及用此结构来生产出来的太阳能电池，该技术主要应用于perc电池中，而perc电池早已成为主流电池工艺，据不完全统计，

来源：盖世汽车网2020-04-23

表面积大unist团队利用原子层沉积（ald）将氧化铝（al2o3）层涂在硅导电带上，使硅表面钝化。...据外媒报道，韩国蔚山国家科学技术研究院（unist）的研究人员研发了一款可伸缩无色太阳能电池，转换效率可达8%，经过数十次弯曲测试后，性能仍可保持在95%左右。

来源：光伏测试网2020-02-24

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或ald设备）和激光开槽设备即可。...光伏行业本质上是一代技术、一代工艺、一代设备，新一代设备与上一代技术及工艺未必兼容。因此，在技术更迭速度很快的光伏行业，设备是其中的核心瓶颈环节。综合整条光伏产业链来看，设备端公司赚取现金的能力更强。

来源：国信证券2020-02-18

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线 上额外增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或 ald 设备）和激光开槽设备即 可。perc 核心产品为 pecvd 设备、丝网印刷等。...目前业界已经达成共识， perc 工艺已成为行业电池标配，传统主流大厂从 2017 年就开始大规模布局 perc 技术，购置设备，提升产能。

来源：光伏們2019-11-20

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致。晶科则表示，通过对韩华的诉讼和所声称的专利的初步分析，认为这些诉讼缺乏技术或法律依据。...随后在3月14日，继在美国和德国，韩华新能源又以相同的原因，向澳大利亚联邦法院对晶科、隆基提起专利侵权诉讼，称专利权利要求不限于任何特定的制造方法，例如原子层沉积（ald）或等离子体增强化学沉积（pecvd