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太阳能硅片砂浆在线回收工艺

2013-04-19 10:43来源:世纪新能源网关键词:硅片砂浆光伏设备收藏点赞

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3 使用在线回收砂浆过程中存在的主要问题及调整措施

砂浆的质量直接影响硅片的切割质量,而使用在线回收设备回收的砂浆不可避免会存在质量波动,主要表现为砂浆中微粉含量偏高,切割能力不足,这将直接导致质量问题的产生,如硅片表面锯痕或TTV值超差。对此,主要措施为调整在线回收设备的相关参数:调整流量值、差速或主频、副频值。

参考文献

[1] 王文斌.机械设计手册[M].北京:机械工业出版社,2008

[2] 李保军.硅单晶锭多线切割中砂浆作用的研究[J].半导体技术,2007,32(6).

[3] 张楷亮,刘玉玲,张建新,等.半导体硅材料加工技术分析及相关化学品的研究[A].第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会论文集[C],深圳,2003,90-105.

[4] 刘玉玲,檀柏梅,郝国强,等.硅的切削液的分析研究[J].电子器件,ZOOL,24(2):144-159

[5] 石森森.切削中的摩擦与切削液[M].北京:中国铁道出版.1994.120-135

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