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多晶硅还原反应的影响因素

2012-07-31 13:25来源:北极星太阳能光伏网(独家)关键词:多晶硅硅棒光伏收藏点赞

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恒海化工在进料量控制过程中也是采用SiHCl3流量与时间对应进行控制,但是在控制过程中SiHCl3的进料量不是固定的等量增加,而是根据硅棒的不同生长时间进行相应的进料量调整,即SiHCl3的进料量与时间不是正比关系,如图15所示。

图15 TCS与时间的关系

6、硅芯

硅芯既是多晶硅沉积的地方,又要作为发热体为反应提供所需的温度。在早期的多晶硅生产中,常采用金属钽丝和钼丝作为载体。用金属丝作载体,最终需要分离多晶硅与载体,金属载体与多晶硅存在接触污染,必须除去多晶硅产品的受污染层,使多晶硅损耗量较大。现在的多晶硅生产普遍采用多晶硅制成的硅芯作为载体,硅芯本身纯度很高,避免了对产品的污染,生产结束后也成为多晶硅产品的一部分,不需再进行分。

通过实际生产总结得出硅芯的电阻率不能过高也不能过低,过高过低都会不宜击穿,一般的电阻在10~200Ω·cm(基磷)。拉制的硅芯规格一般为直径9~11mm ,长2.0~2.8 m,表面光滑。对于切割的方硅芯,各企业视实际设备及生产状况进行确定。

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