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5、发热体表面积
随着还原过程的进行,生成的硅不断沉积在发热体上,发热体的表面积也越来越大,反应气体分子对沉积面(发热体表表面) 的碰撞机会和数量也增大,有利于硅的沉积。当单位面积的沉积速率不变时,表面愈大则沉积的多晶硅量也愈多。因此多晶硅生产的还原反应时间越长,发热体直径越大,多晶硅的生产效率也越高。例如,发热体总长为 6米左右的还原炉,当发热体最终直径不同时,其生产能力粗略计算如下:
所以,在电器设备容量及电流足够大的情况下,尽可能延长多晶硅的生产时间,使其发热体表面积尽量大,有利于提高生产效率。
图13表明,发热体的直径随时问成正比。在生产中,进入还原炉的物料量也要随发热体直径的增大而增大,否则表面积增大了,进料量跟不上,硅的沉积速度也不会增加。进料量常用的控制方法有两种,一种是设定好供料程序表(即供料量与生产时间的关系表,如图14) ,按时间调整进料量,如在8小时处SiHC13的进料量为65kg/h,在16小时处进料量按供料表调整为90kg/h , 如此类推直至反应结束。另一种是根据硅棒直径控制进料量,比如,先测出当前硅棒的直径为60mm,然后根据硅棒直径同进料量的关系式计算出SiHC13 的进料量应该为300 kg/h,如此直到反应结束。这两种方法均可实现计算机自动控制。
图 13 发热体直径与生长时间的关系
图14 SiHC13流量与时间的关系
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北极星氢能网获悉,4月14日,在“投资中国·2025海南自由贸易港全球产业招商大会”上,上海骥翀氢能科技有限公司(简称“骥翀氢能”)与儋州市人民政府签署《骥翀氢能产业项目投资协议》。该项目依托儋州洋浦丰富的海上风电、陆地光伏资源及应用场景,协同上下游产业链企业,共同打造“绿电制绿氢-储运
北极星售电网获悉,4月17日,山东省发展和改革委员会等部门发布关于推动虚拟电厂试验示范工作高质量发展的通知(鲁发改运行〔2025〕279号),其中提到,给予符合条件的试验示范项目政策支持。对符合《虚拟电厂试验示范项目建设成效评价细则》相关要求,且定期检验合格,能够按规定参与需求侧响应的试验
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