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多晶硅还原反应的影响因素

2012-07-31 13:25来源:北极星太阳能光伏网(独家)关键词:多晶硅硅棒光伏收藏点赞

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图12是将侧孔位置上移后的结果,可以看出从侧孔出的气流不再被尾气夹带出去。


图11尾气排气对中心喷嘴侧孔气流的影响

图12 侧孔上移后的流型

所以,在喷嘴上开侧孔有利于气流速度场更好的分布,但侧孔开的位置要靠上。对于安装中央圆心的喷嘴,最好不要开侧孔,以免气体被尾气直接夹带出去,对周围的喷嘴,在较上方位置开侧孔是有利的。

现在通过实际生产的摸索,一种侧孔为螺旋状的喷嘴在许多企业中开始使用。这种喷嘴喷出的物料在炉内成螺旋状上升,有利于增加硅棒顶部的物料浓度,使硅棒横梁位置生产的更好,更结实,可以降低生产后期的倒棒率。

另外,喷嘴的孔径大小也对硅棒生产影响非常大。在等同压力条件下,孔径越大,其喷射的物料高度将会逐渐降低,这样会因为物料的量少而导致硅棒上部,尤其是横梁部位生长缓慢,甚至出现裂棒。另外,孔径过大,会导致硅棒表面粗糙,出现块状颗粒,容易生成爆米花。孔径越小,其喷射的物料高度会增高,但是气流速度会加大,这样就会加大物料对硅棒的冲击,使其发生摇摆或是硅棒出现凹槽,容易出现倒棒,尤其是出现倒芯。

硅棒表面气流速度对硅沉积过程的影响非常大,不仅对多晶硅表面沉积均匀性有影响,而且对硅棒表面粘滞层厚度、对流散热、热扩散、表面Cl/Si/H比例等均有影响,所以维持硅棒表面合理的气体流速是非常重要的。

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