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图11尾气排气对中心喷嘴侧孔气流的影响
图12 侧孔上移后的流型
所以,在喷嘴上开侧孔有利于气流速度场更好的分布,但侧孔开的位置要靠上。对于安装中央圆心的喷嘴,最好不要开侧孔,以免气体被尾气直接夹带出去,对周围的喷嘴,在较上方位置开侧孔是有利的。
现在通过实际生产的摸索,一种侧孔为螺旋状的喷嘴在许多企业中开始使用。这种喷嘴喷出的物料在炉内成螺旋状上升,有利于增加硅棒顶部的物料浓度,使硅棒横梁位置生产的更好,更结实,可以降低生产后期的倒棒率。
另外,喷嘴的孔径大小也对硅棒生产影响非常大。在等同压力条件下,孔径越大,其喷射的物料高度将会逐渐降低,这样会因为物料的量少而导致硅棒上部,尤其是横梁部位生长缓慢,甚至出现裂棒。另外,孔径过大,会导致硅棒表面粗糙,出现块状颗粒,容易生成爆米花。孔径越小,其喷射的物料高度会增高,但是气流速度会加大,这样就会加大物料对硅棒的冲击,使其发生摇摆或是硅棒出现凹槽,容易出现倒棒,尤其是出现倒芯。
硅棒表面气流速度对硅沉积过程的影响非常大,不仅对多晶硅表面沉积均匀性有影响,而且对硅棒表面粘滞层厚度、对流散热、热扩散、表面Cl/Si/H比例等均有影响,所以维持硅棒表面合理的气体流速是非常重要的。
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多晶硅本周N型复投料主流成交价格为37.5元/KG,N型致密料的主流成交价格为35.0元/KG;N型#颗粒硅主流成交价格为34.0元/KG。交易状况:本周成交量偏向低迷,在需求进入真空期的情况下,拉晶厂谨慎采购,观察到个别小厂以低于均价1-2元/KG出货,但体量较小,报价偏离度较高,暂无明显影响。库存动态:库
硅料价格本周了解多晶硅市场陆续订单成交,但当前拉晶环节自身仍有一定量体的硅料库存,整体采购节奏仍较慢,目前仅有部分小单落定,本周前期新单小部分成交仍是贴近每公斤36-37元人民币。国产颗粒硅当期签单执行交付状况相对较好,主流价格区间落在每公斤35-36元人民币。海外硅料厂家发货仍受波动影响
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